JPS6419910U - - Google Patents

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JPS6419910U
JPS6419910U JP11432387U JP11432387U JPS6419910U JP S6419910 U JPS6419910 U JP S6419910U JP 11432387 U JP11432387 U JP 11432387U JP 11432387 U JP11432387 U JP 11432387U JP S6419910 U JPS6419910 U JP S6419910U
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JP
Japan
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defocus
amount
sample surface
spot light
detecting
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JP11432387U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図ないし第９図は本考案の実施例に係り、
第１図は光学顕微鏡の自動焦点合わせ装置の光学
系および電気制御系を示す概略構成図、第２図は
観察状態の説明図、第３図は透明板とスポツト光
照射位置表示枠とを示す平面図、第４図はスポツ
ト光照射位置表示枠の拡大図、第５図は位置検出
リングの平面図、第６図は位置検出リングの断面
図、第７図は一次元位置検出素子に対するスポツ
ト光の入射状態の説明図、第８図はゲイン可変型
乗算器がないとした場合の動作説明図、第９図は
ゲイン可変型乗算器を設けた場合の動作説明図で
ある。また、第１０図は従来の光学顕微鏡の自動
焦点合わせ装置の概略構成図、第１１図Ａ，Ｂは
その動作説明図である。 １…接眼レンズ、２…透明板、２ａ…スポツト
光照射位置表示枠、２ａ１…内側枠、２ａ２…外
側枠、４…半導体レーザ光源、８…対物レンズ、
９…ステージ、１０ａ…サンプル面、１３…一次
元位置検出素子（焦点ずれ量検出素子）、２０…
駆動機構、Ｐ…視野絞り位置。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 対物レンズを介してステージ上のサンプル面に
    照射され、かつサンプル面で反射した焦点ずれ量
    検出用のスポツト光を受光してサンプル面に対す
    る対物レンズの焦点ずれ量を検出する焦点ずれ量
    検出素子と、 この焦点ずれ量検出素子が検出した焦点ずれ量
    に基づいてその焦点ずれ量が無くなるまで自動的
    にステージと鏡筒とを相対的に遠近移動させる駆
    動機構 とを備えた光学顕微鏡の自動焦点合わせ装置にお
    いて、 接眼レンズの視野絞り位置に、 前記サンプル面で前記スポツト光に照射される
    区域からの反射光が通過する位置を囲むスポツト
    光照射位置表示枠を形成した透明板を配置したこ
    とを特徴とする光学顕微鏡の自動焦点合わせ装置
    。
JP11432387U 1987-07-25 1987-07-25 Pending JPS6419910U (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58217909A (ja) * 1982-05-25 1983-12-19 ヴィルト　ライツ　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング 光学器械で観察中の対象物に自動的に焦点を合わせる装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58217909A (ja) * 1982-05-25 1983-12-19 ヴィルト　ライツ　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング 光学器械で観察中の対象物に自動的に焦点を合わせる装置

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