JP2516704Y2 - 共焦点用光スキャナ - Google Patents
共焦点用光スキャナInfo
- Publication number
- JP2516704Y2 JP2516704Y2 JP3730191U JP3730191U JP2516704Y2 JP 2516704 Y2 JP2516704 Y2 JP 2516704Y2 JP 3730191 U JP3730191 U JP 3730191U JP 3730191 U JP3730191 U JP 3730191U JP 2516704 Y2 JP2516704 Y2 JP 2516704Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pinhole
- substrate
- optical scanner
- center
- pinhole substrate
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、共焦点顕微鏡などに用
いるピンホ−ル基板を走査する共焦点用光スキャナに関
し、特にピンホ−ル基板の回転時の偏心を減少させるも
のである。
いるピンホ−ル基板を走査する共焦点用光スキャナに関
し、特にピンホ−ル基板の回転時の偏心を減少させるも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図４は共焦点用光スキャナに用いるピン
ホ−ル基板の従来例、図５は本願出願人による特願平０
１−３２９１６４号『ピンホ−ル基板及びその作製方
法』による共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基板
の先行例である。図４に示すピンホ−ル基板３は、基板
３２に複数のピンホ−ル３１が螺旋状に形成されてい
る。また、図５に示すピンホ−ル基板３ａは、ピンホ−
ル３１が設けられた基板３２の入射光側に透明樹脂が球
面状に硬化して成るマイクロレンズ３３がピンホ−ル３
１の入口部分に形成されている。
ホ−ル基板の従来例、図５は本願出願人による特願平０
１−３２９１６４号『ピンホ−ル基板及びその作製方
法』による共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基板
の先行例である。図４に示すピンホ−ル基板３は、基板
３２に複数のピンホ−ル３１が螺旋状に形成されてい
る。また、図５に示すピンホ−ル基板３ａは、ピンホ−
ル３１が設けられた基板３２の入射光側に透明樹脂が球
面状に硬化して成るマイクロレンズ３３がピンホ−ル３
１の入口部分に形成されている。
【０００３】図６は図４および図５に示すピンホ−ル基
板を用いた共焦点用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用し
た一例を示す構成図である。図６において、図示しない
光源からの出射光は、偏向子１ａ、ビ−ムスプリッタ２
を通って、ピンホ−ル基板３（３ａ）に照射される。こ
の照射光の内、ピンホ−ル基板３（３ａ）に螺旋状に配
置された多数のピンホ−ル３１の幾つかを通過した光
は、１／４波長板４、対物レンズ５を経て試料６に集光
される。試料６からの反射光は、同一の光路を通って、
ピンホ−ル基板３（３ａ）のピンホ−ル３１の１つに集
光され、ピンホ−ル３１を通って、ビ−ムスプリッタ
２、偏向子１ｂを経て、接眼レンズ７を介して、試料６
の像を目で捕らえることができる。この装置では、ピン
ホ−ル基板３（３ａ）をモ−タ８で一定速度で回転させ
ており、ピンホ−ル基板３（３ａ）の回転に伴うピンホ
−ル３１の移動により、試料６への集束光点を走査して
いる。
板を用いた共焦点用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用し
た一例を示す構成図である。図６において、図示しない
光源からの出射光は、偏向子１ａ、ビ−ムスプリッタ２
を通って、ピンホ−ル基板３（３ａ）に照射される。こ
の照射光の内、ピンホ−ル基板３（３ａ）に螺旋状に配
置された多数のピンホ−ル３１の幾つかを通過した光
は、１／４波長板４、対物レンズ５を経て試料６に集光
される。試料６からの反射光は、同一の光路を通って、
ピンホ−ル基板３（３ａ）のピンホ−ル３１の１つに集
光され、ピンホ−ル３１を通って、ビ−ムスプリッタ
２、偏向子１ｂを経て、接眼レンズ７を介して、試料６
の像を目で捕らえることができる。この装置では、ピン
ホ−ル基板３（３ａ）をモ−タ８で一定速度で回転させ
ており、ピンホ−ル基板３（３ａ）の回転に伴うピンホ
−ル３１の移動により、試料６への集束光点を走査して
いる。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】この図６に示す共焦点
用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、ピンホ−
ル基板３（３ａ）は、モ−タ８で一定速度で回転させ、
ピンホ−ル基板３（３ａ）の回転に伴うピンホ−ル３１
の移動により、試料６への集束光点を走査しているた
め、ピンホ−ル基板３（３ａ）の中心、即ち、ピンホ−
ルまたはマイクロレンズに対しての中心とモ−タ８によ
る回転中心とを一致させる必要がある。
用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡において、ピンホ−
ル基板３（３ａ）は、モ−タ８で一定速度で回転させ、
ピンホ−ル基板３（３ａ）の回転に伴うピンホ−ル３１
の移動により、試料６への集束光点を走査しているた
め、ピンホ−ル基板３（３ａ）の中心、即ち、ピンホ−
ルまたはマイクロレンズに対しての中心とモ−タ８によ
る回転中心とを一致させる必要がある。
【０００５】しかしながら、ピンホ−ル基板３（３ａ）
の中心は離散的なピンホ−ル３１やマイクロレンズ３３
を介して合わせなければならないため、その中心位置を
正確に求めることが困難であり、ピンホ−ル基板３（３
ａ）の中心とモ−タ８などによる回転中心とを一致させ
ることができず、回転時の偏心を招いていた。
の中心は離散的なピンホ−ル３１やマイクロレンズ３３
を介して合わせなければならないため、その中心位置を
正確に求めることが困難であり、ピンホ−ル基板３（３
ａ）の中心とモ−タ８などによる回転中心とを一致させ
ることができず、回転時の偏心を招いていた。
【０００６】本考案は上記従来技術の課題を踏まえて成
されたものであり、共焦点用光スキャナに用いるピンホ
−ル基板に、基板の中心位置を調整するための連結した
トラックを設けることにより、容易にピンホ−ル基板の
中心とモ−タなどによる回転中心を一致させ、回転時の
偏心を減少させることができる共焦点用光スキャナを提
供することを目的としたものである。
されたものであり、共焦点用光スキャナに用いるピンホ
−ル基板に、基板の中心位置を調整するための連結した
トラックを設けることにより、容易にピンホ−ル基板の
中心とモ−タなどによる回転中心を一致させ、回転時の
偏心を減少させることができる共焦点用光スキャナを提
供することを目的としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本考案の構成は、ピンホ−ル基板を回転させ、このピ
ンホ−ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する
共焦点用光スキャナにおいて、前記ピンホ−ル基板は、
複数のピンホ−ルまたはこのピンホ−ルの入射光側の入
口に形成されたマイクロレンズを備えた構成であって、
このピンホ−ル基板の入射光側の面かつ前記ピンホ−ル
またはマイクロレンズが形成された領域より内周側また
は外周側に少なくとも１本の濃淡または凸凹または屈折
率分布による連結したトラックを形成したことを特徴と
するものである。
の本考案の構成は、ピンホ−ル基板を回転させ、このピ
ンホ−ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する
共焦点用光スキャナにおいて、前記ピンホ−ル基板は、
複数のピンホ−ルまたはこのピンホ−ルの入射光側の入
口に形成されたマイクロレンズを備えた構成であって、
このピンホ−ル基板の入射光側の面かつ前記ピンホ−ル
またはマイクロレンズが形成された領域より内周側また
は外周側に少なくとも１本の濃淡または凸凹または屈折
率分布による連結したトラックを形成したことを特徴と
するものである。
【０００８】
【作用】本考案によれば、共焦点用光スキャナに用いる
ピンホ−ル基板に形成した連結したトラックにより、容
易にピンホ−ル基板の中心を求めることができ、このピ
ンホ−ル基板の中心とモ−タなどによる回転中心を合わ
せることにより、回転時の偏心を減少できる。
ピンホ−ル基板に形成した連結したトラックにより、容
易にピンホ−ル基板の中心を求めることができ、このピ
ンホ−ル基板の中心とモ−タなどによる回転中心を合わ
せることにより、回転時の偏心を減少できる。
【０００９】
【実施例】以下、本考案を図面に基づいて説明する。図
１は本考案の共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基
板の一実施例を示す構成図である。なお、図１において
図４および図５と同一要素には同一符号を付して重複す
る説明は省略する。図１において図４および図５との相
違点は、螺旋状に配置された複数のピンホ−ル３１また
はこのピンホ−ル３１の入射光側の入口に形成されたマ
イクロレンズ３３を備えたピンホ−ル基板３または３ａ
の入射光側の面かつピンホ−ル３１またはマイクロレン
ズ３３が形成された領域より外周側に１本の凸形状の連
結したトラック３４を形成した点である。
１は本考案の共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基
板の一実施例を示す構成図である。なお、図１において
図４および図５と同一要素には同一符号を付して重複す
る説明は省略する。図１において図４および図５との相
違点は、螺旋状に配置された複数のピンホ−ル３１また
はこのピンホ−ル３１の入射光側の入口に形成されたマ
イクロレンズ３３を備えたピンホ−ル基板３または３ａ
の入射光側の面かつピンホ−ル３１またはマイクロレン
ズ３３が形成された領域より外周側に１本の凸形状の連
結したトラック３４を形成した点である。
【００１０】この１本の凸形状の連結したトラック３４
は、例えば、凸形状のマイクロレンズ３３が結晶化ガラ
スにマイクロレンズ部分を遮光したマスクを密着させ、
光によってマイクロレンズ部分以外を結晶化させ、体積
収縮をおこさせることにより形成できることを利用し
て、このマスクを用いて、マイクロレンズと同芯の１本
の凸形状の連結したトラック部分を遮光することは容易
である。このようにしたマスクを用いて、１本の凸形状
の連結したトラック３４を高精度に形成することができ
る。この連結したトラック３４もマイクロレンズ３３の
中心をその中心としている。
は、例えば、凸形状のマイクロレンズ３３が結晶化ガラ
スにマイクロレンズ部分を遮光したマスクを密着させ、
光によってマイクロレンズ部分以外を結晶化させ、体積
収縮をおこさせることにより形成できることを利用し
て、このマスクを用いて、マイクロレンズと同芯の１本
の凸形状の連結したトラック部分を遮光することは容易
である。このようにしたマスクを用いて、１本の凸形状
の連結したトラック３４を高精度に形成することができ
る。この連結したトラック３４もマイクロレンズ３３の
中心をその中心としている。
【００１１】ピンホ−ル基板３ｂの中心とモ−タなどに
よる回転の中心（ピンホ−ル基板３ｂのモ−タクランプ
の中心）を一致させるには、図２に示すように、連結し
たトラック３４を顕微鏡で観察しながら、ピンホ−ル基
板３ｂを回転させ、連結したトラック３４の偏心が最少
となる位置でモ−タクランプとピンホ−ル基板３ｂを接
着やねじ止めなどにより固定すれば良い。
よる回転の中心（ピンホ−ル基板３ｂのモ−タクランプ
の中心）を一致させるには、図２に示すように、連結し
たトラック３４を顕微鏡で観察しながら、ピンホ−ル基
板３ｂを回転させ、連結したトラック３４の偏心が最少
となる位置でモ−タクランプとピンホ−ル基板３ｂを接
着やねじ止めなどにより固定すれば良い。
【００１２】ここで、図３は図１のピンホ−ル基板を用
いた本考案の共焦点用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用
した一実施例を示す構成図である。図３において、図示
しないレ−ザ光源からの出射光（レ−ザ光だけでなく、
白色光などでも良い）は、偏光ビ−ムスプリッタ２ａに
より、ピンホ−ル基板３ｂ上に平行光として入射する。
ピンホ−ル基板３ｂに入射された光は、図１において、
マイクロレンズ３３により、ピンホ−ル３１の入口に集
光される。図３に戻り、ピンホ−ル３１を通った光は、
１／４波長板４を通過後、対物レンズ５により、試料６
上に照射される。試料６からの反射光は、再びピンホ−
ル基板３ｂを通って、偏光ビ−ムスプリッタ２ａを介し
て、受光器８に入射され、モニタ９に試料６の像が表示
される。ピンホ−ル基板３ｂは、図示しないモ−タなど
により、一定速度で回転しており、ピンホ−ル基板３ｂ
の回転により、ピンホ−ル３１の像が試料６上を走査し
ている。なお、ピンホ−ル基板３ｂ上のピンホ−ル３１
の像と試料６上の光スポット（ピンホ−ルの像）が共焦
点関係にあり、レ−ザ光源からの入射光と試料６からの
反射光共に、ピンホ−ル３１を通過するため、共焦点効
果による高い分解能を得られる。また、この場合、共焦
点用光スキャナに用いるピンホ−ル基板は、基板の中心
位置を調整するための連結したトラックを設けた図１の
ものを使用している。したがって、容易にピンホ−ル基
板の中心とモ−タなどによる回転中心を一致させ、回転
時の偏心を減少させることができる。
いた本考案の共焦点用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用
した一実施例を示す構成図である。図３において、図示
しないレ−ザ光源からの出射光（レ−ザ光だけでなく、
白色光などでも良い）は、偏光ビ−ムスプリッタ２ａに
より、ピンホ−ル基板３ｂ上に平行光として入射する。
ピンホ−ル基板３ｂに入射された光は、図１において、
マイクロレンズ３３により、ピンホ−ル３１の入口に集
光される。図３に戻り、ピンホ−ル３１を通った光は、
１／４波長板４を通過後、対物レンズ５により、試料６
上に照射される。試料６からの反射光は、再びピンホ−
ル基板３ｂを通って、偏光ビ−ムスプリッタ２ａを介し
て、受光器８に入射され、モニタ９に試料６の像が表示
される。ピンホ−ル基板３ｂは、図示しないモ−タなど
により、一定速度で回転しており、ピンホ−ル基板３ｂ
の回転により、ピンホ−ル３１の像が試料６上を走査し
ている。なお、ピンホ−ル基板３ｂ上のピンホ−ル３１
の像と試料６上の光スポット（ピンホ−ルの像）が共焦
点関係にあり、レ−ザ光源からの入射光と試料６からの
反射光共に、ピンホ−ル３１を通過するため、共焦点効
果による高い分解能を得られる。また、この場合、共焦
点用光スキャナに用いるピンホ−ル基板は、基板の中心
位置を調整するための連結したトラックを設けた図１の
ものを使用している。したがって、容易にピンホ−ル基
板の中心とモ−タなどによる回転中心を一致させ、回転
時の偏心を減少させることができる。
【００１３】なお、上記実施例において、螺旋状に配置
された複数のピンホ−ル３１またはこのピンホ−ル３１
の入射光側の入口に形成されたマイクロレンズ３３を備
えたピンホ−ル基板３または３ａの入射光側の面かつピ
ンホ−ル３１またはマイクロレンズ３３が形成された領
域より外周側に形成した１本の凸形状の連結したトラッ
ク３４は、ピンホ−ル３１またはマイクロレンズ３３が
形成された領域より内周側に形成しても同様の効果を得
ることができる。
された複数のピンホ−ル３１またはこのピンホ−ル３１
の入射光側の入口に形成されたマイクロレンズ３３を備
えたピンホ−ル基板３または３ａの入射光側の面かつピ
ンホ−ル３１またはマイクロレンズ３３が形成された領
域より外周側に形成した１本の凸形状の連結したトラッ
ク３４は、ピンホ−ル３１またはマイクロレンズ３３が
形成された領域より内周側に形成しても同様の効果を得
ることができる。
【００１４】又、マイクロレンズが凸形ではなく、低屈
折率の基板に高屈折率物質をド−プした屈折率分布形の
場合においても、その形成はマスクを用いるため、容易
に本考案の連結したトラックを形成できる。
折率の基板に高屈折率物質をド−プした屈折率分布形の
場合においても、その形成はマスクを用いるため、容易
に本考案の連結したトラックを形成できる。
【００１５】更に、マイクロレンズの代わりにフレネル
レンズを用いたピンホ−ル基板においては、位相形フレ
ネルレンズの場合、フレネルレンズを描画する光ビ−ム
により、容易に本考案の連結したトラックを屈折率分布
として形成できる。振幅形フレネルレンズの場合には、
フレネルレンズは金属薄膜の有無などにより形成されて
いるため、本考案の連結したトラックも濃淡の光量振幅
形として容易に形成できる。
レンズを用いたピンホ−ル基板においては、位相形フレ
ネルレンズの場合、フレネルレンズを描画する光ビ−ム
により、容易に本考案の連結したトラックを屈折率分布
として形成できる。振幅形フレネルレンズの場合には、
フレネルレンズは金属薄膜の有無などにより形成されて
いるため、本考案の連結したトラックも濃淡の光量振幅
形として容易に形成できる。
【００１６】したがって、いずれの共焦点用光スキャナ
に用いるピンホ−ル基板においても、ピンホ−ル基板の
入射光側の面かつピンホ−ル３１またはマイクロレンズ
３３が形成された領域より外周側に少なくとも１本の濃
淡または凸凹または屈折率分布による連結したトラック
３４を形成することは容易であり、容易にピンホ−ル基
板の中心を求めることができ、このピンホ−ル基板の中
心とモ−タなどによる回転中心を合わせることにより、
回転時の偏心を減少できる。
に用いるピンホ−ル基板においても、ピンホ−ル基板の
入射光側の面かつピンホ−ル３１またはマイクロレンズ
３３が形成された領域より外周側に少なくとも１本の濃
淡または凸凹または屈折率分布による連結したトラック
３４を形成することは容易であり、容易にピンホ−ル基
板の中心を求めることができ、このピンホ−ル基板の中
心とモ−タなどによる回転中心を合わせることにより、
回転時の偏心を減少できる。
【００１７】更に、ピンホ−ル基板の中心とモ−タなど
による回転中心の位置合わせは、上記実施例に示した目
視によるものだけではなく、プッシュプル方式や３ビ−
ム方式を用いてアナログ量として評価することによって
も良い。
による回転中心の位置合わせは、上記実施例に示した目
視によるものだけではなく、プッシュプル方式や３ビ−
ム方式を用いてアナログ量として評価することによって
も良い。
【００１８】
【考案の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本考案によれば、共焦点用光スキャナに用いるピ
ンホ−ル基板に基板の中心位置を調整するための連結し
たトラックを設けることにより、容易にピンホ−ル基板
の中心とモ−タなどによる回転中心を一致させることが
でき、回転時の偏心を減少させることができる共焦点用
光スキャナを実現できる。
うに、本考案によれば、共焦点用光スキャナに用いるピ
ンホ−ル基板に基板の中心位置を調整するための連結し
たトラックを設けることにより、容易にピンホ−ル基板
の中心とモ−タなどによる回転中心を一致させることが
でき、回転時の偏心を減少させることができる共焦点用
光スキャナを実現できる。
【図１】本考案の共焦点用光スキャナに用いるピンホ−
ル基板の一実施例を示す構成図である。
ル基板の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１のピンホ−ル基板の中心とモ−タなどによ
る回転の中心との位置合わせ動作を示す図である。
る回転の中心との位置合わせ動作を示す図である。
【図３】図１のピンホ−ル基板を用いた本考案の共焦点
用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用した一実施例を示す
構成図である。
用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用した一実施例を示す
構成図である。
【図４】共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基板の
従来例である。
従来例である。
【図５】共焦点用光スキャナに用いるピンホ−ル基板の
先行例である。
先行例である。
【図６】図４および図５に示すピンホ−ル基板を用いた
共焦点用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用した一例を示
す構成図である。
共焦点用光スキャナを共焦点顕微鏡に応用した一例を示
す構成図である。
３ｂ ピンホ−ル基板 ３１ ピンホ−ル ３２ 基板 ３３ マイクロレンズ ３４ 連結したトラック
Claims (1)
- 【請求項１】 ピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ
−ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦
点用光スキャナにおいて、前記ピンホ−ル基板は、複数
のピンホ−ルまたはこのピンホ−ルの入射光側の入口に
形成されたマイクロレンズを備えた構成であって、この
ピンホ−ル基板の入射光側の面かつ前記ピンホ−ルまた
はマイクロレンズが形成された領域より内周側または外
周側に少なくとも１本の濃淡または凸凹または屈折率分
布による連結したトラックを形成したことを特徴とする
共焦点用光スキャナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3730191U JP2516704Y2 (ja) | 1990-12-10 | 1991-05-24 | 共焦点用光スキャナ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-400288 | 1990-12-10 | ||
| JP40028890 | 1990-12-10 | ||
| JP3730191U JP2516704Y2 (ja) | 1990-12-10 | 1991-05-24 | 共焦点用光スキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0489906U JPH0489906U (ja) | 1992-08-05 |
| JP2516704Y2 true JP2516704Y2 (ja) | 1996-11-13 |
Family
ID=31948486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3730191U Expired - Lifetime JP2516704Y2 (ja) | 1990-12-10 | 1991-05-24 | 共焦点用光スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2516704Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5999121B2 (ja) * | 2014-02-17 | 2016-09-28 | 横河電機株式会社 | 共焦点光スキャナ |
-
1991
- 1991-05-24 JP JP3730191U patent/JP2516704Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0489906U (ja) | 1992-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960528 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |