JPH0378230U - - Google Patents

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JPH0378230U
JPH0378230U JP13964389U JP13964389U JPH0378230U JP H0378230 U JPH0378230 U JP H0378230U JP 13964389 U JP13964389 U JP 13964389U JP 13964389 U JP13964389 U JP 13964389U JP H0378230 U JPH0378230 U JP H0378230U
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beam diameter
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collimator
optical scanning
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す全体の構成図
、第２図は本実施例におけるビーム径測定機の詳
細を示す側面図、第３図は光軸方向のビーム径の
状態を示す説明図、第４図は本考案の他の実施例
を示す全体構成図、第５図は本考案の他の実施例
を示す一部の構成図、第６図は光学走査ユニツト
の概略図、第７図は従来のピント及び光軸調整用
測定装置の構成図である。 なお図中１０……半導体レーザ（レーザ光源）
、１１……コリメータ、１１ａ……レンズ部、１
２，１６，２６……ハーフミラー、１３，１７，
２０……集光レンズ、１４，１８，２７……フイ
ルタ、１５……微調用ＴＶカメラ、１９……粗調
用ＴＶカメラ、２１……ビーム径測定機、２８…
…粗・微調用ＴＶカメラ、２９，３０……反射ミ
ラー、３１……平行平面板である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レーザ光源が発する光を平行光線束のレー
    ザビームに変換するコリメータの光源位置出しの
    ための測定装置において、 前記コリメータから出射するレーザビームの設
    計上の光軸に対する傾きを検出する検出手段と、 前記検出手段で検出された傾きに応じてレーザ
    ビームの設計上の光軸に対する傾きを調整した後
    、集光レンズで集束されたビーム径を光軸方向の
    複数の位置で測定するビーム径測定手段と、 を備えたことを特徴とする光学走査系コリメータ
    の光源位置出し用測定装置。 (2) 前記検出手段は粗調用及び微調用の手段か
    ら構成されている請求項１記載の光学走査系コリ
    メータの光源位置出し用測定装置。 (3) 前記ビーム径測定手段でビーム径が測定さ
    れる光軸方向の複数の位置は、該ビーム径測定手
    段が光軸方向に移動することで設定される請求項
    １記載の光学走査系コリメータの光源位置出し用
    測定装置。 (4) 前記ビーム径測定手段によるビーム径の測
    定位置は集光レンズの焦点深度の両端近傍に設定
    されている請求項１又は３記載の光学走査系コリ
    メータの光源位置出し用測定装置。 (5) 前記該ビーム径測定手段でビーム径が測定
    される光軸方向の複数の位置は、ビーム径測定手
    段のレーザビーム入射側に厚さの異なる平行平面
    板を挿入することで設定される請求項１記載の光
    学走査系コリメータの光源位置出し用測定装置。 (6) 前記検出手段及びビーム径測定手段は、コ
    リメータからのレーザビームを集光レンズで集束
    して得られるビーム点像を撮像素子に入射して画
    像処理する画像処理手段から構成されている請求
    項１記載の光学走査系コリメータの光源位置出し
    用測定装置。
JP13964389U 1989-12-01 1989-12-01 Pending JPH0378230U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020071414A (ja) * 2018-11-01 2020-05-07 駿河精機株式会社 コリメート調整用測定装置及びコリメート光学系の調整方法
JP2021092563A (ja) * 2019-12-05 2021-06-17 致茂電子股▲分▼有限公司Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ． 光電子ユニット用測定装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59100835A (ja) * 1982-12-02 1984-06-11 Ricoh Co Ltd 集束性光学系の焦点距離測定方法および装置
JPS6135328A (ja) * 1984-07-27 1986-02-19 Ricoh Co Ltd レ−ザダイオ−ドユニツトの調整及び発振波長測定用光学装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59100835A (ja) * 1982-12-02 1984-06-11 Ricoh Co Ltd 集束性光学系の焦点距離測定方法および装置
JPS6135328A (ja) * 1984-07-27 1986-02-19 Ricoh Co Ltd レ−ザダイオ−ドユニツトの調整及び発振波長測定用光学装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020071414A (ja) * 2018-11-01 2020-05-07 駿河精機株式会社 コリメート調整用測定装置及びコリメート光学系の調整方法
JP2021092563A (ja) * 2019-12-05 2021-06-17 致茂電子股▲分▼有限公司Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ． 光電子ユニット用測定装置

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