JPS6417408U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の測定原理の立面図、第２図は距
離計算の説明図、第３図は光スポツトの平面図、
第４図は反射光量の分布状態の説明図、第５図は
誤計測の説明図である。第６図は光スポツトを移
動させる場合の説明図、第７図は光ビームを散乱
光として移動させる場合の説明図、第８図は本考
案の基本的な実施例の立面図、第９図は光の屈折
状態の説明図、第１０図は他の実施例の立面図、
第１１図および第１２図は光ビームを移動させる
他の実施例の立面図、第１３図および第１４図は
光ビームを散乱させながら、移動させる他の実施
例の立面図である。 １……計測用の光ビーム、２……半導体レーザ
、３……集光レンズ、４……金属表面などの被測
定面、５……光スポツト、６……反射光ビーム、
７……受光レンズ、８……位置センサー、９……
平行平面ガラス、１０……振動機構、１１……連
動軸、１２……フイルター演算回路、１３……反
射鏡、１４……楔形レンズ、１５……乳白ガラス
、１６……投射レンズ、１７……回転機構。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 発光装置から発射される光ビームを集光光
   学系により被測定面上に微細な光スポツトとして
   結像させ、被測定面の変位にともなう光スポツト
   の移動量を位置センサーにより計測して、被測定
   面の変位に応じたアナログ信号を出力する計測装
   置において、光ビームの光路途中に運動光学機構
   をおき、これを通過する光ビームを変化または散
   乱させることによつて、被測定面に結像する光ス
   ポツトの形状や光量分布を変化させ、これを計測
   することにより被測定面の変化に応じた信号を出
   力させることを特徴とする計測用光ビームの照射
   機構。 (2) 前記光ビームをレーザ発振装置から発射す
   るレーザ光線とし、このレーザ光線を計測の走査
   方向および投光受光線による面に対して直角に微
   小振動させることを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲第１項記載の計測用光ビームの照射機構。 (3) 前記運動光学機構を平行平面ガラスと振動
   機構とで構成し、平行平面ガラスの光線方向に入
   射する光ビームに対して振動させることにより、
   被測定面上の光スポツトに微小の振動を与えるこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項ま
   たは第２項記載の計測用光ビームの照射機構。 (4) 前記運動光学機構を散乱光発生板と平行平
   面ガラスと、これの振動機構とで構成し、このガ
   ラスを回転振動させることにより、被測定面上の
   光スポツトに微小振動を与え、かつ光スポツトか
   らの反射光を散乱光線とすることを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項、または第２項記載
   の計測用光ビームの照射機構。 (5) 前記運動光学機構を楔形レンズと、これを
   回転させる回転機構とで構成し、楔形レンズを回
   転させることにより、この楔形レンズを通過する
   光ビームを円周に沿つて移動させることにより、
   被測定面上の光スポツトに変化を与えることを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１項、または
   第２項記載の計測用光ビームの照射機構。 (6) 運動光学機構を楔形レンズと散乱光発生板
   と、これを回転させる回転機構とで構成し、前記
   レンズを回転させて被測定面上の光スポツトを旋
   回させ、かつ乱反射の状態にすることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項、または第２項
   記載の計測用光ビームの照射機構。 (7) 光スポツトの検出センサーとして受光素子
   を用いるとともに、受光レンズと受光素子との中
   間に振動光学系を介在させ、反射光ビームを振動
   させ、かつこの振動方向を光スポツトの像検出方
   向に一致させることを特徴とする実用新案登録請
   求の範囲第１項、第２項、第３項、第４項、第５
   項または第６項記載の計測用光ビームの照射機構
   。