JPS6414167U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6414167U JPS6414167U JP10896187U JP10896187U JPS6414167U JP S6414167 U JPS6414167 U JP S6414167U JP 10896187 U JP10896187 U JP 10896187U JP 10896187 U JP10896187 U JP 10896187U JP S6414167 U JPS6414167 U JP S6414167U
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- JP
- Japan
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- quartz ampoule
- group
- vapor pressure
- detected temperature
- change
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003708 ampul Substances 0.000 claims description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る石英アンプル
の外形制御システムの構成図、第２図は従来の制
御システムの構成図、第３図は石英アンプル外形
の変化量検出部の一例を示す構成図、第４図は本
発明の制御システム例を用いた場合の石英アンプ
ル外形変化特性図、第５図は従来の制御システム
を用いた場合の石英アンプル外形変化特性図、第
６図は結晶成長回数（石英アンプル再利用回数）
に対する石英アンプル外形履歴を示す説明図であ
る。 図中、１は石英アンプル、１０はＶ族蒸気圧制
御用電気炉（Ｖ族蒸気圧制御部）、１１は増幅器
（制御回路）、ａは設定温度、ｂは見かけの検出
温度である。
の外形制御システムの構成図、第２図は従来の制
御システムの構成図、第３図は石英アンプル外形
の変化量検出部の一例を示す構成図、第４図は本
発明の制御システム例を用いた場合の石英アンプ
ル外形変化特性図、第５図は従来の制御システム
を用いた場合の石英アンプル外形変化特性図、第
６図は結晶成長回数（石英アンプル再利用回数）
に対する石英アンプル外形履歴を示す説明図であ
る。 図中、１は石英アンプル、１０はＶ族蒸気圧制
御用電気炉（Ｖ族蒸気圧制御部）、１１は増幅器
（制御回路）、ａは設定温度、ｂは見かけの検出
温度である。
Claims (1)
- Ｖ族蒸気圧制御部の検出温度に、石英アンプル
内のＶ族蒸気圧変動に伴う石英アンプル外形の変
化量をフイードバツクして見かけの検出温度を得
て、この見かけの検出温度と設定温度との偏差に
応じて上記Ｖ族蒸気圧制御部の温度を調整するこ
とにより石英アンプル内のＶ族蒸気圧を制御して
石英アンプルの外形を制御するシステムにおいて
、Ｖ族蒸気圧制御部の検出温度に石英アンプルの
外形変化量をフイードバツクする前段に上記外形
変化量をＰＩＤ制御する制御回路を挿入したこと
を特徴とする石英アンプルの外形制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10896187U JPS6414167U (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10896187U JPS6414167U (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6414167U true JPS6414167U (ja) | 1989-01-25 |
Family
ID=31344778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10896187U Pending JPS6414167U (ja) | 1987-07-17 | 1987-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6414167U (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6041035A (ja) * | 1983-08-16 | 1985-03-04 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Ｘ線用ハロゲン化銀写真感光材料 |
| JPS61156303A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-16 | Toshiba Corp | プロセス制御装置 |
| JPS6247719A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-03-02 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空容器の圧力制御装置 |
| JPS62108792A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 化合物半導体の製造方法 |
| JPS62108794A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 化合物半導体の製造方法 |
-
1987
- 1987-07-17 JP JP10896187U patent/JPS6414167U/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6041035A (ja) * | 1983-08-16 | 1985-03-04 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Ｘ線用ハロゲン化銀写真感光材料 |
| JPS61156303A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-16 | Toshiba Corp | プロセス制御装置 |
| JPS6247719A (ja) * | 1985-08-27 | 1987-03-02 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空容器の圧力制御装置 |
| JPS62108792A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 化合物半導体の製造方法 |
| JPS62108794A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 化合物半導体の製造方法 |