JPS61115203U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61115203U JPS61115203U JP19939084U JP19939084U JPS61115203U JP S61115203 U JPS61115203 U JP S61115203U JP 19939084 U JP19939084 U JP 19939084U JP 19939084 U JP19939084 U JP 19939084U JP S61115203 U JPS61115203 U JP S61115203U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- control circuit
- controlled object
- temperature sensors
- sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図はこの考案の一実施例のブロツク図、第
２図はその動作説明図、第３図は従来例のブロツ
ク図である。 １…制御回路、２…電力調整器、３…電気炉（
制御対象）、４…第１温度センサ、５…故障検出
回路、６…第２温度センサ、１５…切換スイツチ
。
２図はその動作説明図、第３図は従来例のブロツ
ク図である。 １…制御回路、２…電力調整器、３…電気炉（
制御対象）、４…第１温度センサ、５…故障検出
回路、６…第２温度センサ、１５…切換スイツチ
。
Claims (1)
- 制御対象と、この制御対象に供給する電力を加
減する電力調整器と、前記制御対象の温度を検出
する第１および第２の温度センサと、これら第１
および第２の温度センサの出力に基づいて前記電
力調整器を制御し前記制御対象の温度を所定値に
保つ制御回路と、前記第１および第２の温度セン
サと前記制御回路との間に介在して前記第１およ
び第２の温度センサのいずれか一方の信号を前記
制御回路へ送る切換スイツチと、前記第１および
第２の温度センサの一方の故障を検出し前記切換
スイツチを他方の温度センサに切換える故障検出
回路とを備えた温度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19939084U JPS61115203U (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19939084U JPS61115203U (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61115203U true JPS61115203U (ja) | 1986-07-21 |
Family
ID=30759268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19939084U Pending JPS61115203U (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61115203U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010045340A (ja) * | 2009-07-10 | 2010-02-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法及び温度制御装置 |
| JP2012016089A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Fujikura Ltd | 電力制御システム及び電力制御方法 |
| JP2022502649A (ja) * | 2018-09-28 | 2022-01-11 | ローズマウント インコーポレイテッド | 非侵襲的プロセス流体温度指示 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4729631U (ja) * | 1971-04-17 | 1972-12-04 |
-
1984
- 1984-12-29 JP JP19939084U patent/JPS61115203U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4729631U (ja) * | 1971-04-17 | 1972-12-04 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010045340A (ja) * | 2009-07-10 | 2010-02-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法及び温度制御装置 |
| JP2012016089A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Fujikura Ltd | 電力制御システム及び電力制御方法 |
| JP2022502649A (ja) * | 2018-09-28 | 2022-01-11 | ローズマウント インコーポレイテッド | 非侵襲的プロセス流体温度指示 |