JPS6398369U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6398369U JPS6398369U JP19473286U JP19473286U JPS6398369U JP S6398369 U JPS6398369 U JP S6398369U JP 19473286 U JP19473286 U JP 19473286U JP 19473286 U JP19473286 U JP 19473286U JP S6398369 U JPS6398369 U JP S6398369U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing time
- breakdown
- additional processing
- etching
- calculation means
- Prior art date
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- Pending
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- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るエツチン
グ装置を示す概略図である。第２図は、第１図の
ブレークダウン制御装置の詳細例を示すブロツク
図である。第３図は、第１図の装置におけるイオ
ンビームのビーム電流波形等を示す図である。第
４図は、１回のブレークダウンの際のビーム電流
波形等の一例を拡大して示す図である。第５図は
、この考案の背景となるエツチング装置の一例を
示す概略図である。 ２……イオン源、１６……イオンビーム、２４
……試料、３６……ブレークダウン制御装置、３
８……統括制御装置、３６１……ブレークダウン
検出手段、３６２……損失電力量演算手段、３６
３……追加処理時間演算手段、Ｉ……ビーム電流
、Ｅ……ビームエネルギー、ΔＴ……追加処理時
間。
グ装置を示す概略図である。第２図は、第１図の
ブレークダウン制御装置の詳細例を示すブロツク
図である。第３図は、第１図の装置におけるイオ
ンビームのビーム電流波形等を示す図である。第
４図は、１回のブレークダウンの際のビーム電流
波形等の一例を拡大して示す図である。第５図は
、この考案の背景となるエツチング装置の一例を
示す概略図である。 ２……イオン源、１６……イオンビーム、２４
……試料、３６……ブレークダウン制御装置、３
８……統括制御装置、３６１……ブレークダウン
検出手段、３６２……損失電力量演算手段、３６
３……追加処理時間演算手段、Ｉ……ビーム電流
、Ｅ……ビームエネルギー、ΔＴ……追加処理時
間。
Claims (1)
- 真空雰囲気中で試料にイオンビームを照射して
それをエツチングするイオン源を備えるエツチン
グ装置において、イオン源におけるブレークダウ
ンを検出するブレークダウン検出手段と、ブレー
クダウンによるイオンビームの損失電力量を演算
する損失電力量演算手段と、当該損失電力量に基
づいて追加処理時間を演算する追加処理時間演算
手段と、当該追加処理時間だけエツチング処理時
間を当初のものから延長する制御手段とを備える
ことを特徴とするエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19473286U JPS6398369U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19473286U JPS6398369U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6398369U true JPS6398369U (ja) | 1988-06-25 |
Family
ID=31151974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19473286U Pending JPS6398369U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6398369U (ja) |
-
1986
- 1986-12-18 JP JP19473286U patent/JPS6398369U/ja active Pending
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