JPH02148U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02148U JPH02148U JP7874488U JP7874488U JPH02148U JP H02148 U JPH02148 U JP H02148U JP 7874488 U JP7874488 U JP 7874488U JP 7874488 U JP7874488 U JP 7874488U JP H02148 U JPH02148 U JP H02148U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion species
- plane electrode
- insulating film
- metal film
- detection device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の第１の実施例の説明図、第
２図はイオンビームが照射される位置に対する透
過したビーム量より測定された電流値の関係図、
第３図は電流値に対するマス値の相関図、第４図
は第２の実施例の説明図、第５図は各面電極に対
する電流値の関係図である。 １…イオン種センサ、２…電流計、３…金属膜
、４…絶縁膜、５…面電極。
２図はイオンビームが照射される位置に対する透
過したビーム量より測定された電流値の関係図、
第３図は電流値に対するマス値の相関図、第４図
は第２の実施例の説明図、第５図は各面電極に対
する電流値の関係図である。 １…イオン種センサ、２…電流計、３…金属膜
、４…絶縁膜、５…面電極。
Claims (1)
- 面電極の片面に設けた絶縁膜の表面に厚さが変
化した金属膜を設けたイオン種センサと、前記面
電極に接続された電流計とを備えたイオン種検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7874488U JPH02148U (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7874488U JPH02148U (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02148U true JPH02148U (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=31303645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7874488U Pending JPH02148U (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02148U (ja) |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP7874488U patent/JPH02148U/ja active Pending