JPH0189375U - - Google Patents
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- JPH0189375U JPH0189375U JP6305187U JP6305187U JPH0189375U JP H0189375 U JPH0189375 U JP H0189375U JP 6305187 U JP6305187 U JP 6305187U JP 6305187 U JP6305187 U JP 6305187U JP H0189375 U JPH0189375 U JP H0189375U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric constant
- thin film
- electrode portion
- detection electrode
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- Prior art date
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
第1図ないし第6図は、本考案の各種具体的実
施例を示すものであつて、第1図イは基本的実施
例に係るシート型誘電率測定用センサーの一部を
破断した平面図、第1図ロは第1図イの―線
矢視図、第1図ハは第1図イの―線矢視図、
第2図はその使用例を説明するための全体斜視図
、第3図は実験結果を表すグラフであり、また、
第4図は別の使用例を説明するための全体斜視図
、第5図イは別の実施例に係るシート型誘電率測
定用センサーの一部を破断した平面図、第5図ロ
は第5図イの―線矢視図であり、更に、第6
図はまた別の実施例に係るシート型誘電率測定用
センサーの構成およびその使用例を説明するため
の全体斜視図である。そして、第7図および第8
図は、本考案の技術的背景および従来技術の問題
点を説明するためのものであつて、第7図は原理
的な誘電率測定システムを示すブロツク回路構成
図であり、第8図は従来構成のシート型誘電率測
定用センサーの具体的構成を示し、第8図イはそ
の平面図であり、第8図ロは第8図イの―線
矢視図である。 9…絶縁性基板、11a,11b…薄膜状対向
電極、B…誘電率検出用電極部、C…絶縁性薄膜
。
施例を示すものであつて、第1図イは基本的実施
例に係るシート型誘電率測定用センサーの一部を
破断した平面図、第1図ロは第1図イの―線
矢視図、第1図ハは第1図イの―線矢視図、
第2図はその使用例を説明するための全体斜視図
、第3図は実験結果を表すグラフであり、また、
第4図は別の使用例を説明するための全体斜視図
、第5図イは別の実施例に係るシート型誘電率測
定用センサーの一部を破断した平面図、第5図ロ
は第5図イの―線矢視図であり、更に、第6
図はまた別の実施例に係るシート型誘電率測定用
センサーの構成およびその使用例を説明するため
の全体斜視図である。そして、第7図および第8
図は、本考案の技術的背景および従来技術の問題
点を説明するためのものであつて、第7図は原理
的な誘電率測定システムを示すブロツク回路構成
図であり、第8図は従来構成のシート型誘電率測
定用センサーの具体的構成を示し、第8図イはそ
の平面図であり、第8図ロは第8図イの―線
矢視図である。 9…絶縁性基板、11a,11b…薄膜状対向
電極、B…誘電率検出用電極部、C…絶縁性薄膜
。
Claims (1)
- 絶縁性基板の表面に少なくとも一対の薄膜状対
向電極から成る誘電率検出用電極部を付着形成す
ると共に、その誘電率検出用電極部の全体を、緻
密でかつ化学的に安定な絶縁性薄膜で被覆してあ
ることを特徴とするシート型誘電率測定用センサ
ー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987063051U JPH074599Y2 (ja) | 1987-04-25 | 1987-04-25 | シ−ト型誘電率測定用センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987063051U JPH074599Y2 (ja) | 1987-04-25 | 1987-04-25 | シ−ト型誘電率測定用センサ− |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0189375U true JPH0189375U (ja) | 1989-06-13 |
JPH074599Y2 JPH074599Y2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=31288584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987063051U Expired - Lifetime JPH074599Y2 (ja) | 1987-04-25 | 1987-04-25 | シ−ト型誘電率測定用センサ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH074599Y2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005069363A1 (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 合成樹脂モールドパッケージの製造方法、アルコール濃度センサ及びアルコール濃度測定装置 |
JP2008111669A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Denso Corp | 液体性状センサ |
JP2008175544A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機器の液体容器 |
JP2013541710A (ja) * | 2010-09-14 | 2013-11-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 油サンプルの取得及びその品質モニターのための方法及びデバイス |
CN108051645A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-05-18 | 宁夏钜晶源晶体科技有限公司 | 一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置及测试方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6018768A (ja) * | 1983-07-12 | 1985-01-30 | Katsuo Ebara | 非接触式電導率、誘電率同時測定センサ |
JPS6050445A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-20 | マジヤール ツドマニヨス アカデミア ケズポンテイ ヒバタラ | 容量性測定素子 |
JPS60169719A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Nippon Soken Inc | 物理量検出装置 |
-
1987
- 1987-04-25 JP JP1987063051U patent/JPH074599Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6018768A (ja) * | 1983-07-12 | 1985-01-30 | Katsuo Ebara | 非接触式電導率、誘電率同時測定センサ |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2005069363A1 (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 合成樹脂モールドパッケージの製造方法、アルコール濃度センサ及びアルコール濃度測定装置 |
JP2008111669A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Denso Corp | 液体性状センサ |
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JP2013541710A (ja) * | 2010-09-14 | 2013-11-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 油サンプルの取得及びその品質モニターのための方法及びデバイス |
CN108051645A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-05-18 | 宁夏钜晶源晶体科技有限公司 | 一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置及测试方法 |
CN108051645B (zh) * | 2017-12-26 | 2023-10-27 | 宁夏钜晶源晶体科技有限公司 | 一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置及测试方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH074599Y2 (ja) | 1995-02-01 |
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