JPS6398165A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6398165A JPS6398165A JP24395386A JP24395386A JPS6398165A JP S6398165 A JPS6398165 A JP S6398165A JP 24395386 A JP24395386 A JP 24395386A JP 24395386 A JP24395386 A JP 24395386A JP S6398165 A JPS6398165 A JP S6398165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output mirror
- tube
- mirror
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- -1 deposits Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ装置に関し、特に、レーザ発振器の出力
鏡の内外にレーザ媒質ガス又は空気を吹きつけることに
よりレーザ発振器の長寿命化を図ったレーザ装置に関す
る。
鏡の内外にレーザ媒質ガス又は空気を吹きつけることに
よりレーザ発振器の長寿命化を図ったレーザ装置に関す
る。
レーザ装置は基本的には放電管とそのの両端にある２枚
の鏡で構成されており、通常一方は全反射鏡であり、他
方は半透過鏡（出力鏡）である。
の鏡で構成されており、通常一方は全反射鏡であり、他
方は半透過鏡（出力鏡）である。
そして、出力鏡はレーザ装置単体として、又は空間伝送
をする際、この出力鏡が直接空気に触れている場合が多
く、内側はレーザ媒質ガスに触れている。
をする際、この出力鏡が直接空気に触れている場合が多
く、内側はレーザ媒質ガスに触れている。
しかし、出力鏡の内側ガス密閉型でもガス置換型でもレ
ーザ媒質ガスの付着物、微粒子、浮遊物等の汚染物質に
よって常時汚染される状態にあり、時間経過と共に起こ
る自然劣化を早め、さらにレーザ発振によって付着がさ
らに加速されていく。
ーザ媒質ガスの付着物、微粒子、浮遊物等の汚染物質に
よって常時汚染される状態にあり、時間経過と共に起こ
る自然劣化を早め、さらにレーザ発振によって付着がさ
らに加速されていく。
そして、特別の保護対策もされないまま、出力鏡交換寿
命として出力鏡を交換している。
命として出力鏡を交換している。
更に、一般に冷却装置を有しないので出力鏡の熱膨張等
によって出力特性及び集光特性に変動をもたらすことが
あり、さらにはガス温度の上昇によって光吸収による発
振効率の低下を生じる場合もある。
によって出力特性及び集光特性に変動をもたらすことが
あり、さらにはガス温度の上昇によって光吸収による発
振効率の低下を生じる場合もある。
本発明の目的は上記問題点を解決し、レーザ発振器の出
力鏡の内外にレーザ媒質ガス又は空気を吹きつけること
によりレーザ発振器の長寿命化を図ったレーザ装置を提
供することにある。
力鏡の内外にレーザ媒質ガス又は空気を吹きつけること
によりレーザ発振器の長寿命化を図ったレーザ装置を提
供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１図（ａ
）及び（ｂ）に示すように、 レーザ管（６）の出力鏡（１）の外側に空気を吹きつけ
る管（５）を有し、内側にレーザ媒質ガスを吹きつける
管（３）を有することを特徴とするレーザ装置を、 採用した。
）及び（ｂ）に示すように、 レーザ管（６）の出力鏡（１）の外側に空気を吹きつけ
る管（５）を有し、内側にレーザ媒質ガスを吹きつける
管（３）を有することを特徴とするレーザ装置を、 採用した。
〔作用〕
レーザ媒質ガス及び空気を吹きつけることにより、出力
鏡の汚染を防止し、さらにその冷却効果によって放電及
びレーザ発振器による光吸収に起因する共振器の効率低
下を防ぐ作用を果たす。
鏡の汚染を防止し、さらにその冷却効果によって放電及
びレーザ発振器による光吸収に起因する共振器の効率低
下を防ぐ作用を果たす。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（ａ）に本発明の一実施例の部分断面図を示し、
第１図（ｂ）に部分正面図を示す。図において、ｌは出
力鏡であり、レーザ光の一部を出力し、一部を反射して
レーザ光の増幅作用をおこなわせる。２は出力鏡１を保
持する出力鏡ホルダーである。このホルダーは出力鏡１
の位置を調整できるようになっているが、その詳細は省
略する。
第１図（ｂ）に部分正面図を示す。図において、ｌは出
力鏡であり、レーザ光の一部を出力し、一部を反射して
レーザ光の増幅作用をおこなわせる。２は出力鏡１を保
持する出力鏡ホルダーである。このホルダーは出力鏡１
の位置を調整できるようになっているが、その詳細は省
略する。
３は内側ガス入口であり、レーザ媒質ガスを出力鏡１に
吹きつける。４は外側ガス入口であり、空気を導入する
。５は円板状ガス噴射ノズルであり、濾過された空気を
円板の内周部から出力鏡１に噴射させる構造を有する。
吹きつける。４は外側ガス入口であり、空気を導入する
。５は円板状ガス噴射ノズルであり、濾過された空気を
円板の内周部から出力鏡１に噴射させる構造を有する。
特に、吹きつけ面積を大きくするために、上下から取り
入れたガス路を互いに反対側に迂回させて、左右の方向
から吹きつけるようにしている。吹きつけ口は厚さが小
さく幅が広いノズル状の構造をもち、出力鏡外周を包囲
している。６はレーザ管であり、図示されていない左の
ほうで、レーザ媒質ガスが循環している。
入れたガス路を互いに反対側に迂回させて、左右の方向
から吹きつけるようにしている。吹きつけ口は厚さが小
さく幅が広いノズル状の構造をもち、出力鏡外周を包囲
している。６はレーザ管であり、図示されていない左の
ほうで、レーザ媒質ガスが循環している。
従って、内側ガス入口がなければ、出力鏡１の左側の部
分でレーザ媒質ガスが淀み、出力鏡１の汚染と温度上昇
を生じるのであり、内側ガス入口からのレーザ媒質ガス
を噴射することにより、出力鏡ｌの汚染と温度上昇を防
止している。
分でレーザ媒質ガスが淀み、出力鏡１の汚染と温度上昇
を生じるのであり、内側ガス入口からのレーザ媒質ガス
を噴射することにより、出力鏡ｌの汚染と温度上昇を防
止している。
このように、出力鏡１の内部をレーザ媒質ガスで噴射し
、外部を濾過された空気で噴射することにより、出力鏡
１の汚染を防ぎ、温度上昇を防止するのである。
、外部を濾過された空気で噴射することにより、出力鏡
１の汚染を防ぎ、温度上昇を防止するのである。
上記の実施例では、内側にレーザ媒質ガスを噴射する内
側ガス入口を設け、外側に濾過した空気を噴射する外側
ガス入口と円板状ガス噴射ノズルを設けたが、内側にレ
ーザ媒質ガスを噴射する内側ガス入口のみを設けたり、
又外側に濾過した空気を噴射する外側ガス入口と円板状
ガス噴射ノズルのみを設けることにより、汚染防止の一
部達成と、出力鏡の冷却を果たすこともできる。
側ガス入口を設け、外側に濾過した空気を噴射する外側
ガス入口と円板状ガス噴射ノズルを設けたが、内側にレ
ーザ媒質ガスを噴射する内側ガス入口のみを設けたり、
又外側に濾過した空気を噴射する外側ガス入口と円板状
ガス噴射ノズルのみを設けることにより、汚染防止の一
部達成と、出力鏡の冷却を果たすこともできる。
以上説明したように本発明では、内側にレーザ媒質ガス
を噴射する内側ガス入口を設け、外側に濾過した空気を
噴射する外側ガス入口と円板状ガス噴射ノズルを設けた
ので、出力鏡の汚染防止と温度上昇を防ぐ効果を有し、
これによって出力効率の上昇と出力鏡の長寿命かを確保
することができる。
を噴射する内側ガス入口を設け、外側に濾過した空気を
噴射する外側ガス入口と円板状ガス噴射ノズルを設けた
ので、出力鏡の汚染防止と温度上昇を防ぐ効果を有し、
これによって出力効率の上昇と出力鏡の長寿命かを確保
することができる。
第１図（ａ）は本発明の一実施例の部分断面図、第１図
（ｂ）は本発明の一実施例の部分正面図である。 １−・−・・・出力鏡 ２−−−−−〜−−出力鏡ホルダー ３−−−−−−・内側ガス入口 ４・−・−外側ガス入口 ５−・−・・−円板状ガスノズル ６−・−・−レーザ管 特許出願人 ファナソク株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 （Ｑ） 第１ｒ （ｂ） 洞
（ｂ）は本発明の一実施例の部分正面図である。 １−・−・・・出力鏡 ２−−−−−〜−−出力鏡ホルダー ３−−−−−−・内側ガス入口 ４・−・−外側ガス入口 ５−・−・・−円板状ガスノズル ６−・−・−レーザ管 特許出願人 ファナソク株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 （Ｑ） 第１ｒ （ｂ） 洞
Claims (4)
- （１）レーザ管の出力鏡の外側に空気を吹きつける管を
有し、内側にレーザ媒質ガスを吹きつける管を有するこ
とを特徴とするレーザ装置。 - （２）前記出力鏡の外側に空気を吹きつける管は円板状
ガス噴射ノズルであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のレーザ装置。 - （３）前記出力鏡の外側に空気を吹きつける管のみを有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレー
ザ装置。 - （４）前記出力鏡の内側に該出力鏡にレーザ媒質ガスを
吹きつける管のみを有することを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24395386A JPS6398165A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24395386A JPS6398165A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6398165A true JPS6398165A (ja) | 1988-04-28 |
Family
ID=17111493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24395386A Pending JPS6398165A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6398165A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5856993A (en) * | 1994-08-24 | 1999-01-05 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Gas laser oscillator |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56112895A (en) * | 1980-02-12 | 1981-09-05 | Toshiba Corp | Freezing device |
| JPS5820549B2 (ja) * | 1978-07-20 | 1983-04-23 | 東光株式会社 | スイツチング レギユレ−タ |
| JPS58115305A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 歪ゲ−ジ |
| JPS592447A (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-09 | Fujitsu Ltd | 自動等化器を有するデ−タ伝送システム |
| JPS6017973A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ−発振器 |
| JPS6024489B2 (ja) * | 1979-06-14 | 1985-06-13 | 富士通株式会社 | ２進乗算装置 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP24395386A patent/JPS6398165A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5820549B2 (ja) * | 1978-07-20 | 1983-04-23 | 東光株式会社 | スイツチング レギユレ−タ |
| JPS6024489B2 (ja) * | 1979-06-14 | 1985-06-13 | 富士通株式会社 | ２進乗算装置 |
| JPS56112895A (en) * | 1980-02-12 | 1981-09-05 | Toshiba Corp | Freezing device |
| JPS58115305A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 歪ゲ−ジ |
| JPS592447A (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-09 | Fujitsu Ltd | 自動等化器を有するデ−タ伝送システム |
| JPS6017973A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ−発振器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5856993A (en) * | 1994-08-24 | 1999-01-05 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Gas laser oscillator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69107988D1 (de) | Gasturbine mit modulierter Kühlluft. | |
| JPH10246103A (ja) | ガスタービン翼 | |
| FR2688098B1 (fr) | Laser de puissance a fenetre diamant non revetue. | |
| JPS6398165A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPS6026312B2 (ja) | 横方向励起気体循環形レ−ザ発振装置 | |
| JPH01289289A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JPS5843587A (ja) | 空冷型レ−ザ発振器 | |
| JPS551192A (en) | Laser oscillator | |
| DE3675497D1 (de) | Rf-erregter hochleistungsgaslaser mit transversalentladung. | |
| JPH0487636A (ja) | 紫外線照射装置 | |
| JPH0237709B2 (ja) | ||
| JPS6182490A (ja) | 外部反射鏡レ−ザ装置 | |
| US4152049A (en) | Spatial filter having aerodynamic windows | |
| JPS60121097A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPS54145492A (en) | Laser unit | |
| JPH01125883A (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JP2674312B2 (ja) | スラブ形固体レーザ装置 | |
| JPS6348142Y2 (ja) | ||
| JPH0661550A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPS6017973A (ja) | レ−ザ−発振器 | |
| RU1778839C (ru) | Газовый лазер с воздушным охлаждением | |
| JPS60182304A (ja) | ガスタ−ビンの冷却翼 | |
| JPH04313482A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2751648B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JP3475662B2 (ja) | 気体レーザ発振装置 |