JPS58115305A - 歪ゲ−ジ - Google Patents
歪ゲ−ジInfo
- Publication number
- JPS58115305A JPS58115305A JP21193581A JP21193581A JPS58115305A JP S58115305 A JPS58115305 A JP S58115305A JP 21193581 A JP21193581 A JP 21193581A JP 21193581 A JP21193581 A JP 21193581A JP S58115305 A JPS58115305 A JP S58115305A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- measured
- pressure gauge
- pressure
- inflective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/16—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
- G01B7/18—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は圧力計等に使用される歪ゲージに関するもの
である。
である。
圧力計には差動シランス式や歪ゲージ式等があゐが、後
者のものは金属箔の抵抗体を絶縁物フィルムに貼付け、
接着剤を使用して被測定物に固定していた。そのためこ
のものは、接着１歇が多くかか）、経年的な接着信頼性
が低く、しかも−被測定物とストレインゲージ間に接着
剤の層が形成−されるので被測定物の歪が、ストレイン
ゲージに１００ ％伝達されないで精度低下の原因とな
るといつえ欠点があうた。
者のものは金属箔の抵抗体を絶縁物フィルムに貼付け、
接着剤を使用して被測定物に固定していた。そのためこ
のものは、接着１歇が多くかか）、経年的な接着信頼性
が低く、しかも−被測定物とストレインゲージ間に接着
剤の層が形成−されるので被測定物の歪が、ストレイン
ゲージに１００ ％伝達されないで精度低下の原因とな
るといつえ欠点があうた。
したがって、この発明の目的は、信頼性を薯保し一度を
向上することかでする歪ゲージを提供することである。
向上することかでする歪ゲージを提供することである。
この発明の第１の５ｊ！施例を適用し九圧力計を第１図
ないし第４図に示す。す表わち、この圧力計は、基１［
１にダイヤフラム２の下片３の中央突部４が固定される
とともに、板ばね５の基端部が基板１の固定部６に取付
ねじ７によって固定され、内部を真空または低圧にし九
ダイヤフラム２の上片８の突起９に１１ばねｉの自由端
部の孔１Ｇを嵌込み、突起９の先端にビン１１を通して
係合し板ばね５のばね作用で上片８を引上げる。板ば煽
の基端部の上下表面にはそれぞれ２１ｍずつ歪ゲージ１
２１〜１２ｄが構成され、これらはそれぞれまず板ばね
５の表面にシリコン等の絶縁物を蒸着し、その絶縁物の
表面に歪抵抗素材である金属材料または半導体材料を希
望パターンに蒸着して歪抵抗体を形成し、さらにその表
＠ Ｋ １１８’縁物を蒸着している。これらの歪ゲー
ジ１２ａ〜１２１は第４図のようにブリッジに接続され
、抵抗Ｒ工、Ｒ３の歪ゲーＶ１２ｍ 、 １２ｂは板ば
ねの上面に形成され、抵抗Ｒ２゜Ｒ４の歪ゲージ１２ｃ
、 １２ｄは下＃ＪＫ形成されてあＬ入力端子１３
、１３’に一定電圧の久方電圧＠１が入力される。１４
、１４’は出方端子である。
ないし第４図に示す。す表わち、この圧力計は、基１［
１にダイヤフラム２の下片３の中央突部４が固定される
とともに、板ばね５の基端部が基板１の固定部６に取付
ねじ７によって固定され、内部を真空または低圧にし九
ダイヤフラム２の上片８の突起９に１１ばねｉの自由端
部の孔１Ｇを嵌込み、突起９の先端にビン１１を通して
係合し板ばね５のばね作用で上片８を引上げる。板ば煽
の基端部の上下表面にはそれぞれ２１ｍずつ歪ゲージ１
２１〜１２ｄが構成され、これらはそれぞれまず板ばね
５の表面にシリコン等の絶縁物を蒸着し、その絶縁物の
表面に歪抵抗素材である金属材料または半導体材料を希
望パターンに蒸着して歪抵抗体を形成し、さらにその表
＠ Ｋ １１８’縁物を蒸着している。これらの歪ゲー
ジ１２ａ〜１２１は第４図のようにブリッジに接続され
、抵抗Ｒ工、Ｒ３の歪ゲーＶ１２ｍ 、 １２ｂは板ば
ねの上面に形成され、抵抗Ｒ２゜Ｒ４の歪ゲージ１２ｃ
、 １２ｄは下＃ＪＫ形成されてあＬ入力端子１３
、１３’に一定電圧の久方電圧＠１が入力される。１４
、１４’は出方端子である。
この圧力計は、絶対圧を測定するもので外気圧が変動す
石と板ばね５のばね作用でダイヤ７ツム意の上片８が上
下動作し、外気圧が高くなると上片８が下降し、外気圧
が低くなると上片８が上動すゐことになるが、いずれも
板ばね５の湾曲が変化し、これｋよって歪ゲージ１２ａ
〜１２ｄの抵抗体が伸縮して抵抗値が変化し、板ばね５
の変位に比例しえ出力電圧・。の変位が得られる。この
変位量を増幅演算処理し、アナログ−デジタル変換を行
うてデｓｔｅｗ表示させると圧力測定されることとなる
。
石と板ばね５のばね作用でダイヤ７ツム意の上片８が上
下動作し、外気圧が高くなると上片８が下降し、外気圧
が低くなると上片８が上動すゐことになるが、いずれも
板ばね５の湾曲が変化し、これｋよって歪ゲージ１２ａ
〜１２ｄの抵抗体が伸縮して抵抗値が変化し、板ばね５
の変位に比例しえ出力電圧・。の変位が得られる。この
変位量を増幅演算処理し、アナログ−デジタル変換を行
うてデｓｔｅｗ表示させると圧力測定されることとなる
。
このように構成しえため、この歪ゲージは、蒸着によ）
形成するので被測定物と抵抗体の接着が確実になル、被
測定物と抵抗体の間には、絶縁物の薄膜が有るのみで接
着剤の層が存在しないので、被測定物の伸縮が効率良く
絶縁物に伝達され、精度Ｏ向上ができる。
形成するので被測定物と抵抗体の接着が確実になル、被
測定物と抵抗体の間には、絶縁物の薄膜が有るのみで接
着剤の層が存在しないので、被測定物の伸縮が効率良く
絶縁物に伝達され、精度Ｏ向上ができる。
この発明の第２の実施例を適用した圧力計を第５図ない
し第７図に示す、すなわち、この圧力針は差圧を一定す
るものでダイヤフラム２の下片３の中央突’ｆｌ１４に
通孔１５を形成するとともに、［ばねＳ′の自由端部を
ビン１１の上＃ｉに弾接させている。この場合は、通孔
１５に連通した測定気体の圧力の変動によりダイヤフラ
ム２の突起９が上下に変位しこれを板ばね５’に伝える
。
し第７図に示す、すなわち、この圧力針は差圧を一定す
るものでダイヤフラム２の下片３の中央突’ｆｌ１４に
通孔１５を形成するとともに、［ばねＳ′の自由端部を
ビン１１の上＃ｉに弾接させている。この場合は、通孔
１５に連通した測定気体の圧力の変動によりダイヤフラ
ム２の突起９が上下に変位しこれを板ばね５’に伝える
。
この発明の第３の実施例を適用した圧力針を第８図ない
し第１０図に示す、すなわち、歪ゲージ１２の抵抗体を
板ばねでなくダイヤプラム２′の凹凸表面に直接蒸着す
るようにしている。蒸着には絶縁４ｉ［ＩＱ）蒸着が前
段階および後段階で行われることは言うまでもない。１
６は端子、１６′はリード線である。この場合はダイヤ
７ツムｂ で外気圧に耐え、その気圧変動によ如ダイヤフフム２′
が弾性膨縮してその四部および凸部の形状が変化すると
ともに表面が伸縮し゛、それが抵抗体を伸縮させ抵抗値
を変化させる。このように構成したため、前記板ばねを
省略で紮かつその誤差を省略できるのでＩＩＩＩＩＩ！
ｔがさらに向上する。、また１ｇ２の実施例に対応する
差圧用にも適用できる（第１１閣ないし第１３図）。な
おダイヤフラムは凹凸の１にい伸縮する曲面で形成され
てもよい。
し第１０図に示す、すなわち、歪ゲージ１２の抵抗体を
板ばねでなくダイヤプラム２′の凹凸表面に直接蒸着す
るようにしている。蒸着には絶縁４ｉ［ＩＱ）蒸着が前
段階および後段階で行われることは言うまでもない。１
６は端子、１６′はリード線である。この場合はダイヤ
７ツムｂ で外気圧に耐え、その気圧変動によ如ダイヤフフム２′
が弾性膨縮してその四部および凸部の形状が変化すると
ともに表面が伸縮し゛、それが抵抗体を伸縮させ抵抗値
を変化させる。このように構成したため、前記板ばねを
省略で紮かつその誤差を省略できるのでＩＩＩＩＩＩ！
ｔがさらに向上する。、また１ｇ２の実施例に対応する
差圧用にも適用できる（第１１閣ないし第１３図）。な
おダイヤフラムは凹凸の１にい伸縮する曲面で形成され
てもよい。
以上のようＫ、この発明の歪ゲージは、被測定体ｏｈｍ
に歪抵抗体を蒸着するようにした丸め、従来に比して信
頼性を高めることができしかも精度を向上できるという
効果がある。
に歪抵抗体を蒸着するようにした丸め、従来に比して信
頼性を高めることができしかも精度を向上できるという
効果がある。
第１図はこの発明の第１の実施例を適用した圧力計Ｏ平
１Ｌ第２＠ｌはその正面図、第３図はダイヤ７ツムの断
面図、第４図は回路図、第５図は第２の実施例を適用し
た圧力計の平面図、第６図はそのＨ１ｉｆ図、第７図は
ダイヤフラムの断面図、第８図は第３の実施例を適用し
た圧力針の平面図、ｗｉ９図はその正面図、第１０図は
ダイヤフラムの゛断面図、第１１図は第４の実施例を適
用した圧力計の平面図、第１２図はその正面図、第１３
図はダイヤフラムの断面図である。 ２．２′・・・ダイヤフラム（被測定体）、５．５′・
・・板はね（被測定体）−１２、１２ａ〜１２ｄ ＝歪
ゲ−第２図 第３図 １を 第５１ｉ１ 第６図 第７図 第８図 第１０図 第１１図 第１３図 手続補正書（自発） 昭和５７年６ 月１５日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５６ 年特 許 願第２１１９３５号２、発明の名
称 量ゲージ ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住 所 大阪府門真市大字門真１０４８番地名 称 （
５８３）松下電工株式会社 代表者 小 林 郁 ５、補正命令の日付 昭和 年 月
日自発補正 第１図 第５ｓ
１Ｌ第２＠ｌはその正面図、第３図はダイヤ７ツムの断
面図、第４図は回路図、第５図は第２の実施例を適用し
た圧力計の平面図、第６図はそのＨ１ｉｆ図、第７図は
ダイヤフラムの断面図、第８図は第３の実施例を適用し
た圧力針の平面図、ｗｉ９図はその正面図、第１０図は
ダイヤフラムの゛断面図、第１１図は第４の実施例を適
用した圧力計の平面図、第１２図はその正面図、第１３
図はダイヤフラムの断面図である。 ２．２′・・・ダイヤフラム（被測定体）、５．５′・
・・板はね（被測定体）−１２、１２ａ〜１２ｄ ＝歪
ゲ−第２図 第３図 １を 第５１ｉ１ 第６図 第７図 第８図 第１０図 第１１図 第１３図 手続補正書（自発） 昭和５７年６ 月１５日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５６ 年特 許 願第２１１９３５号２、発明の名
称 量ゲージ ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住 所 大阪府門真市大字門真１０４８番地名 称 （
５８３）松下電工株式会社 代表者 小 林 郁 ５、補正命令の日付 昭和 年 月
日自発補正 第１図 第５ｓ
Claims (1)
- 湾自変動する被測定体と、この被測定体に蒸着膠威され
えＷ！抵抗体とを備え゛た歪ゲージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21193581A JPS58115305A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 歪ゲ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21193581A JPS58115305A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 歪ゲ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58115305A true JPS58115305A (ja) | 1983-07-09 |
Family
ID=16614112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21193581A Pending JPS58115305A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 歪ゲ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58115305A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6398165A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-28 | Fanuc Ltd | レ−ザ装置 |
| CN103573892A (zh) * | 2012-08-07 | 2014-02-12 | 奥迪股份公司 | 弹簧、特别是用于机动车的承载弹簧 |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP21193581A patent/JPS58115305A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6398165A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-28 | Fanuc Ltd | レ−ザ装置 |
| CN103573892A (zh) * | 2012-08-07 | 2014-02-12 | 奥迪股份公司 | 弹簧、特别是用于机动车的承载弹簧 |
| CN103573892B (zh) * | 2012-08-07 | 2016-09-07 | 奥迪股份公司 | 弹簧、特别是用于机动车的承载弹簧 |
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