JPS639024A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は磁気記録再生が磁性膜の膜面に対して垂直方向
に行なわれる垂直磁気記録媒体の製造方法に関する。

以下余日 〈従来の技術〉 近年、磁気記録の高密度化の研究、開発に伴ない従来か
ら普及されている磁気記録再生は磁性膜の膜面に対して
面内方向に磁化される長手（面内）磁気記録媒体と異な
り、高密度記録が容易に可能である磁気記録再生は磁性
膜の膜面に対して垂直方向に磁化される垂直磁気記録媒
体が用いられている。

従来の垂直磁気記録媒体の製造方法は真空槽内において
長尺の高分子基板（以下基板と記す）を搬送させながら
真空蒸着法、ス・ぐツタリング法などによシ基板面上に
Ｃｏ　−Ｃｒ合金などの磁化容易軸が膜面て対して垂直
方向を向く垂直磁化膜を連続して形成させる方法が多く
用いられていた。このようにして製造された長尺の垂直
磁気記録媒体は打ち抜き装置を用いてドーナツ形に加工
され、フロッピーディスクとして記録再生装置に用いら
れている。

また最近、フロッピーディスクの記録再生特性を向上さ
せる目的で、基板を断続して搬送させつつ真空蒸着法、
スパッタリング法などを用いて。

基板面上に断続して垂直磁化膜を形成する製造方法が用
いられている。

〈発明が解決しようとする問題点〉 記録再生特性の良い垂直磁気記録媒体を得るには基板が
平坦な状態で垂直磁化膜を形成する必要がある。従来の
製造方法では基板が絶えず移動しているために基板の長
手方向には張力を加えることができるが幅方向には困難
であった。したがって基板の走行中に、波状のうねシが
生じたシ、垂直磁化膜が形成されるときに発生する熱に
よって基板が膨張しうねシが生ずる欠点があらた。

また垂直磁化膜を継続して形成する製造方法では基板を
停止させた状態で垂直磁化膜を形成するため、基板の幅
方向に張力を働かせる手段は第７図に示すように、蝶番
４を利用したチャッキング機構３にて、第８図のように
基板２の両端を基板固定部６で固定した後チャッキング
機構３が基板２の幅方向に移動することにより、張力を
加える方法が多く用いられている。また第１０図のよう
に基板２の長手方向には、基板２の搬送機構３が第　図
に示し如き１巻き出しロール７から巻き出され１巻き取
りロール８に巻き取られる構造で巻き出しロール７に基
板２の移動方向とは逆方向によシ常時張力が加えられて
いる。したがって基板２の長手方向と幅方向に張力を加
えることによシ。

基板２を平滑にすることができる。しかし第９図のよう
に両端を固定しているチャッキング機構３の基板固定部
６が接触する基板２の領域には長手方向の張力が働かな
い状態が生じた。したがって垂直磁化膜１０が形成され
るときに発生する熱によって生ずる基板２の膨張は幅方
向には補われるが、長手方向には補われないためにうね
シやしわが生じた。

垂直磁化膜１０が形成されるときに生じたうねりやしわ
は張力を除いても、解消されないため。

垂直磁気記録媒体に残る。これを７０ツピーデイスクに
加工して記録再生装置に用いた場合、うねシやしわによ
ってフロッピーディスクと配備再生へ、ドとの接触圧力
が変動し、記録再生特性が著るしく悪ろくなる欠点があ
った。

く問題点を解決するだめの手段〉 本発明はこれらの欠点を除去するために、長尺の高分子
基板の長手方向及び幅方向に張力が働くようにしたもの
で、うねりやしわのないフラットな垂直磁気記録媒体の
製造方法を提供することを目的とする。即ち本発明は移
動している長尺の高分子基板２上に磁化容易軸が膜面に
対して垂直方向となる垂直磁化膜を真空蒸着またはスパ
ッタリングによって形成させる垂直磁気記録媒体の製造
方法において、前記基板２の幅方向の両端を両面よシ耐
熱性で、ガス放出量が少ない弾性材質板１にて挟持し張
力を加えて固定する垂直磁気記録媒体の製造方法を提案
するものである。

く作用〉 弾性材質板を用いることにより基板固定部と高分子基板
の密着力を増大し、かつ長手方向の張力が高分子基板に
伝達されるようになる。更に弾性材質板を数個の短ざく
状に分離することにより長手方向の張力が有効に高分子
基板に伝達される。また弾性材質板の側面を金属平板で
固定することにより高分子基板の幅方向に働く張力が有
効に伝わるようになる。

〈実施例〉 本発明による垂直磁気記録媒体の製造方法を図面を用い
て説明する。第１図は第７図に示すようなチャ、キング
３の基板固定部６に弾性材質板１を取り付けた断面図で
ある。弾性材質板１は真空槽内で用いられるため、シリ
コーンゴム、フッ素コ゛ムなどのようにガスの放出が少
なく耐熱性に優れているものが用いられる。この弾性材
質板１が基板２の両端を固定すると、長手方向の張力を
弾性材質板１に固定された範囲の基板２に伝達すること
ができるが９弾性材質板１の長手方向には弾性力が強い
ため基板２の長手方向の張力が減少されて伝達される。

また第３図のように２弾性材質板１をいくつかに分割す
ることによシ長手方向の弾性力を弱くシ、第４図のよう
に矢印Ｂ　Ｂ’で示す基板２の長手方向に張力を有効に
伝達することができる。

また弾性材質板１が基板の幅方向に張力が加わるとき第
５図のように弾性力が弱いために基板２の幅方向に矢印
Ｃの張力が有効に加わらない状態が生じる。そのため第
６図に示すように９弾性材質１の前部に基板２に接触し
ない程度に金属平板５を設置することによシ基板２０幅
方向に適当な張力を加えられることができる。したがっ
てチャッキング機構３の基板固定部６にいくつかに分割
された弾性材質板１を設置し、更に前方に金属子板５を
設置することによシ、基板２には長手方向と幅方向に効
率よく張力を加えることができる。

〈発明の効果〉 以上述述べたように本発明により、長尺の高分子基板の
長手方向と幅方向に張力を有効に働かせることができ、
うねりやしわのない垂直磁気記録媒体が製造できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による垂直磁気記録媒体の製造方法に用
いられる基板に張力を加えるチャッキング機構の側面図
、第２図は第１図のチャッキング機構の先端部分の正面
図、第３図は第２図におけ先端部分の弾性材質板の構造
の他の例を示す先端部分の正面図、第４図は第３図が作
動するとき弾性材質板の変形を示す先端部分の正面図、
第５図は第４図に示した弾性材質板の一個の変形を示す
正面図、第６図は本発明の弾性材質板の変形を防止する
更に他の実施例を示す正面図、第７図は従来の製造方法
において基板に張力を加えるチャッキング機構の側面図
、第８図は第７図のチャッキング機構で基板を挟んだ状
態を示す側面図、第９図は第８図の平面図、第１０図は
一般の垂直磁気記録媒体の製造法の基板の走行機構の概
要を示す構造略図である。 図において に弾性材質板、２：基板、３：チャッキング機構、５：
金属平板、゛６：基板固定部、７：巻き出しロール、８
：巻き取シロール、９ニガイドロール、１０：垂直磁化
膜。 第１図 ソ 弗２図 弗３図 第４図 ど 午５図 ２′ 第６区

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、移動している長尺の高分子基板２上に磁化容易軸が
   膜面に対して垂直方向となる垂直磁化膜を真空蒸着また
   はスパッタリングによって形成させる垂直磁気記録媒体
   の製造方法において、前記基板２の幅方向の両端を両面
   より耐熱性で、ガス放出量が少ない弾性材質板１にて挟
   持し張力を加えて固定する垂直磁気記録媒体の製造方法
   。