JPS62287425A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS62287425A JPS62287425A JP13033586A JP13033586A JPS62287425A JP S62287425 A JPS62287425 A JP S62287425A JP 13033586 A JP13033586 A JP 13033586A JP 13033586 A JP13033586 A JP 13033586A JP S62287425 A JPS62287425 A JP S62287425A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は可撓性高分子基板上に垂直磁化膜にスパッタリ
ングや真空蒸着を行なう垂直磁気記録媒体の製造方法に
関する。
ングや真空蒸着を行なう垂直磁気記録媒体の製造方法に
関する。
〈従来の技術〉
磁気記録の高密度化につれて高密度磁気記録の実現の最
も有望な手段として垂直磁気記録方式が行なわれている
。垂直磁気記録方式は第３図に示すように可撓性高分子
基板材料１に垂直磁気記録男性を行なう磁気記録層２が
両面あるいは片面に形成されており、この磁気記録層２
をスパッタリングや真空蓋３着などを用いて磁性薄膜に
形成したものが、飛躍的に磁気記録密度の高密度化を実
現する媒体として各方面で使用されている。
も有望な手段として垂直磁気記録方式が行なわれている
。垂直磁気記録方式は第３図に示すように可撓性高分子
基板材料１に垂直磁気記録男性を行なう磁気記録層２が
両面あるいは片面に形成されており、この磁気記録層２
をスパッタリングや真空蓋３着などを用いて磁性薄膜に
形成したものが、飛躍的に磁気記録密度の高密度化を実
現する媒体として各方面で使用されている。
この垂直磁気記録媒体を製造する方法は第４図にしめす
ように、原反ロール３より巻き出された可撓性長尺基板
材料４（以後長尺基板と省略する。）がガイドロール５
を経て幅方向テンション機！１１６に送られて停止する
。この時長尺基板４は原反ロール３と巻取ロール７によ
ってガイドロール５を介して長尺方向にテンションが加
えられるとともに、静止した長尺基板４は幅方向テンシ
ョン機構６によって幅方向にテンションが加えられる。
ように、原反ロール３より巻き出された可撓性長尺基板
材料４（以後長尺基板と省略する。）がガイドロール５
を経て幅方向テンション機！１１６に送られて停止する
。この時長尺基板４は原反ロール３と巻取ロール７によ
ってガイドロール５を介して長尺方向にテンションが加
えられるとともに、静止した長尺基板４は幅方向テンシ
ョン機構６によって幅方向にテンションが加えられる。
このようにして長尺方向ならびに幅方向にテンションが
加えられた状態で、長尺基板を挟むように対向して設け
られたターグットよりのスパッタリングや真空蒸着など
により第５図に示すように長尺基板４上の両面あるいは
片面または両面同時、あるいは片面づつ磁気記録層８が
形成され垂直磁気記録媒体９が製造される。
加えられた状態で、長尺基板を挟むように対向して設け
られたターグットよりのスパッタリングや真空蒸着など
により第５図に示すように長尺基板４上の両面あるいは
片面または両面同時、あるいは片面づつ磁気記録層８が
形成され垂直磁気記録媒体９が製造される。
しかし磁気記録層２が形成されＺ間、長尺基板４には、
材質等の諸条件により、長尺方向および幅方向に適度な
強さの一定のテンションが加えつづけられている。
材質等の諸条件により、長尺方向および幅方向に適度な
強さの一定のテンションが加えつづけられている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
従来長尺基板４の長尺方向および幅方向のテンションは
第４図示すように長尺方向ではガイドロール５を介して
原反ロール３と巻取ロール７とにより、また幅方向には
幅方向テンション機構６により、磁性膜を形成する部分
よりはるかにはなれたところで行なわれていた。したが
って第６図に示すように、長尺方向および幅方向のテン
ション１０が印加された長尺基板４に長尺基板４を狭む
ようにして設けられたターケ゛ノド１１ａ、および１１
ｂによシ磁気記録層８を形成する際にターケ。
第４図示すように長尺方向ではガイドロール５を介して
原反ロール３と巻取ロール７とにより、また幅方向には
幅方向テンション機構６により、磁性膜を形成する部分
よりはるかにはなれたところで行なわれていた。したが
って第６図に示すように、長尺方向および幅方向のテン
ション１０が印加された長尺基板４に長尺基板４を狭む
ようにして設けられたターケ゛ノド１１ａ、および１１
ｂによシ磁気記録層８を形成する際にターケ。
ットｌｌａ、ｌｌｂから飛び出した原子１２や電子１３
．さらにはターゲットｌｌａ、ｌｌｂ近傍のプラズマ１
４などによシ長尺基板４が蓄熱し。
．さらにはターゲットｌｌａ、ｌｌｂ近傍のプラズマ１
４などによシ長尺基板４が蓄熱し。
熱膨張する。この熱膨張する部分は長尺基板４の一部分
であるだめに長尺方向および幅方向のテンション１０は
熱膨張を受けない部分によりおさえられる。したがって
長尺基板４の熱膨張をしだ部分にはテンション１０が加
わらずにうねりを生じその上に磁気記録層８が形成され
る。このようにして製造された垂直磁気記録媒体は、そ
の表面にうねりかのこり、垂直磁気記録再生を行なった
時に第７図に示すようにその記録再生波形に再生出力の
モジュレーションの悪化などを生じ垂直磁気記録媒体の
品質を著しく悪化させる。したがってこのように製造さ
れた磁気記録媒体を用いて記録再生を行なうと、第７図
に示すようにその出力波形に大きなモ・クユレーション
ひずみを生ずる欠点がある。
であるだめに長尺方向および幅方向のテンション１０は
熱膨張を受けない部分によりおさえられる。したがって
長尺基板４の熱膨張をしだ部分にはテンション１０が加
わらずにうねりを生じその上に磁気記録層８が形成され
る。このようにして製造された垂直磁気記録媒体は、そ
の表面にうねりかのこり、垂直磁気記録再生を行なった
時に第７図に示すようにその記録再生波形に再生出力の
モジュレーションの悪化などを生じ垂直磁気記録媒体の
品質を著しく悪化させる。したがってこのように製造さ
れた磁気記録媒体を用いて記録再生を行なうと、第７図
に示すようにその出力波形に大きなモ・クユレーション
ひずみを生ずる欠点がある。
〈問題点を解決するだめの手段〉
本発明は従来のかかる欠点を除き、真空槽内において長
尺および幅方向の両方向にテンションが加えられて搬送
される長尺基板４上に真空蒸着またはスパッタリングに
よって長尺基板４の膜面に対して垂直に記録再生される
磁気容易軸を有する磁気記録層８を形成する垂直磁気記
録媒体の製造方法において、長尺基板４の片面または両
面よシリング状の枠を圧接して磁気記録層を形成させる
垂直磁気記録媒体の製造方法を提案する。
尺および幅方向の両方向にテンションが加えられて搬送
される長尺基板４上に真空蒸着またはスパッタリングに
よって長尺基板４の膜面に対して垂直に記録再生される
磁気容易軸を有する磁気記録層８を形成する垂直磁気記
録媒体の製造方法において、長尺基板４の片面または両
面よシリング状の枠を圧接して磁気記録層を形成させる
垂直磁気記録媒体の製造方法を提案する。
く作用〉
長尺基板４は枠１６によって押接されてスノセツタされ
た磁気記録層８は蓄熱されて生ずる熱膨張は枠によって
押しつけられうねりが生じない。 ゛〈実施例〉 本発明を第１図に示す概要図によシ説明する。
た磁気記録層８は蓄熱されて生ずる熱膨張は枠によって
押しつけられうねりが生じない。 ゛〈実施例〉 本発明を第１図に示す概要図によシ説明する。
本発明は、従来の製造方法と同じく長尺基板４に長尺方
向および幅方向のテンション１０が印加されたのちに長
尺基板４が押し付けられる円形の枠１６を設ける。
向および幅方向のテンション１０が印加されたのちに長
尺基板４が押し付けられる円形の枠１６を設ける。
したがって磁気記録層８を長尺基板４上に形成する際に
ターダッ） １１１Ｌ、 、 １ ｌ ｂから飛び出し
た原子１２や電子１３．さらには近傍のプラズマ１４な
どの作用によ）長尺基板４に蓄熱が生じ熱膨張を生じて
も長尺基板４は円型の枠１６によって押し付けられるた
めにうねりを生じない。そのために磁気記録層８は平滑
に保たれた円型の枠１６内の長尺基板４上に形成される
。そして１本 ：発明の製造方法により磁気記録層
８が形成された垂直磁気記録媒体で垂直磁気記録再生を
行なうと第２図に示すようにその記録再生波形のモジュ
レーションが良好となり著しく品質が向上する。
□なお本発明の実施は前述の例による停止する長尺基
板４の片面に枠１６を圧接するばかりでなく、′移動す
る長尺基板４の片面ばかりでなく両面から □も圧
接でき、且つ片面づつに磁気記録層２が形成できる。ま
だ枠１６は円形とは限らず矩形、多角形など用途て応じ
て随時変形される。
ターダッ） １１１Ｌ、 、 １ ｌ ｂから飛び出し
た原子１２や電子１３．さらには近傍のプラズマ１４な
どの作用によ）長尺基板４に蓄熱が生じ熱膨張を生じて
も長尺基板４は円型の枠１６によって押し付けられるた
めにうねりを生じない。そのために磁気記録層８は平滑
に保たれた円型の枠１６内の長尺基板４上に形成される
。そして１本 ：発明の製造方法により磁気記録層
８が形成された垂直磁気記録媒体で垂直磁気記録再生を
行なうと第２図に示すようにその記録再生波形のモジュ
レーションが良好となり著しく品質が向上する。
□なお本発明の実施は前述の例による停止する長尺基
板４の片面に枠１６を圧接するばかりでなく、′移動す
る長尺基板４の片面ばかりでなく両面から □も圧
接でき、且つ片面づつに磁気記録層２が形成できる。ま
だ枠１６は円形とは限らず矩形、多角形など用途て応じ
て随時変形される。
〈発明の効果〉
以上に述べたように本発明によれば真空蒸着またはスパ
ッタリングの際、磁気記録層２が熱で膨張することが防
止でき平坦な垂直磁気記録媒体９が得られ、これを用い
た記録再生ではモノュレーションのないよい信号が得ら
れる。
ッタリングの際、磁気記録層２が熱で膨張することが防
止でき平坦な垂直磁気記録媒体９が得られ、これを用い
た記録再生ではモノュレーションのないよい信号が得ら
れる。
第１図は本発明による垂直磁気記録媒体の製造方法を示
す概要図、第２図は本発明の製造方法によって作られた
垂直磁気媒体によって記録再生された波形図、第３図は
垂直磁気記録媒体の構造を示す縦断面図、第４図は従来
の垂直磁気記録媒体の製造方法を示す概要図、第５図は
製造された垂直磁気記録媒体よりディスクを得るときの
正面図。 第６図は従来の垂直磁気記録媒体の製造方法における正
面概要図、第７図は第６図の製造方法によって作られた
垂直磁気記録媒体によって記録再生された波形図である
。 なお １：基板材料、２：磁気記録層、３：原反ロール、４：
可撓性長尺基板材料（長尺基板）、５ニガイドロール、
６：幅方向テンション機構、８：磁気記録層、９：垂直
磁気記録媒体、７：巻取ロール、１０：テンション、ｌ
ｌａ、ｌｌｂ：ターダット、１２：原子、１３：電子、
１４：プラズマ、１５：うねり、１６：枠。 第１図 たはス・母ツタリングの際、磁気記録層２が熱で膨張す
ることが防止でき平坦な垂直磁気記録媒体９が得られ、
これを用いた記録再生ではモジュレーションのないよい
信号が得られる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明による垂直磁気記録媒体の製造方法を示
す概要図、第２図は本発明の製造方法によって作られた
垂直磁気媒体によって記録再生された波形図、第３図は
垂直磁気記録媒体の構造を示す縦断面図、第４図は従来
の垂直磁気記録媒体の製造方法を示す概要図、第５図は
製造された垂直磁気記録媒体よりディスクを得るときの
正面図第６図は従来の垂直磁気記録媒体の製造方法にお
ける正面概要図、第７図は第６図の製造方法によって作
られた垂直磁気記録媒体によって記録再生された波形図
である。 なお １：基板材料、２：磁気記録層、３：原反ロール、４：
可撓性長尺基板材料（長尺基板）、５ニガイドロール、
６：幅方向テンション機構、８：磁気記録層、９：垂直
磁気記録媒体、７：巻取ロール、１０：テンション＋
ｌ １ ａ 、 １１ ｂ ：ターダット、１２：原子
、１３：電子、１４：ブラズ第１図
す概要図、第２図は本発明の製造方法によって作られた
垂直磁気媒体によって記録再生された波形図、第３図は
垂直磁気記録媒体の構造を示す縦断面図、第４図は従来
の垂直磁気記録媒体の製造方法を示す概要図、第５図は
製造された垂直磁気記録媒体よりディスクを得るときの
正面図。 第６図は従来の垂直磁気記録媒体の製造方法における正
面概要図、第７図は第６図の製造方法によって作られた
垂直磁気記録媒体によって記録再生された波形図である
。 なお １：基板材料、２：磁気記録層、３：原反ロール、４：
可撓性長尺基板材料（長尺基板）、５ニガイドロール、
６：幅方向テンション機構、８：磁気記録層、９：垂直
磁気記録媒体、７：巻取ロール、１０：テンション、ｌ
ｌａ、ｌｌｂ：ターダット、１２：原子、１３：電子、
１４：プラズマ、１５：うねり、１６：枠。 第１図 たはス・母ツタリングの際、磁気記録層２が熱で膨張す
ることが防止でき平坦な垂直磁気記録媒体９が得られ、
これを用いた記録再生ではモジュレーションのないよい
信号が得られる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明による垂直磁気記録媒体の製造方法を示
す概要図、第２図は本発明の製造方法によって作られた
垂直磁気媒体によって記録再生された波形図、第３図は
垂直磁気記録媒体の構造を示す縦断面図、第４図は従来
の垂直磁気記録媒体の製造方法を示す概要図、第５図は
製造された垂直磁気記録媒体よりディスクを得るときの
正面図第６図は従来の垂直磁気記録媒体の製造方法にお
ける正面概要図、第７図は第６図の製造方法によって作
られた垂直磁気記録媒体によって記録再生された波形図
である。 なお １：基板材料、２：磁気記録層、３：原反ロール、４：
可撓性長尺基板材料（長尺基板）、５ニガイドロール、
６：幅方向テンション機構、８：磁気記録層、９：垂直
磁気記録媒体、７：巻取ロール、１０：テンション＋
ｌ １ ａ 、 １１ ｂ ：ターダット、１２：原子
、１３：電子、１４：ブラズ第１図
Claims (1)
- 真空槽内において長尺および幅方向の両方向にテンシ
ョンが加えられて搬送される可撓性長尺高分子基板材料
４上に真空蒸着またはスパッタリングによって膜面に対
して垂直に記録再生される磁気記録層８を形成する垂直
磁気記録媒体の製造方法において、前記可撓性長尺高分
子基板材料４の片面または両面よりリング状の枠１６を
圧接し前記磁気記録層８を形成させる垂直磁気記録媒体
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13033586A JPS62287425A (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13033586A JPS62287425A (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62287425A true JPS62287425A (ja) | 1987-12-14 |
Family
ID=15031905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13033586A Pending JPS62287425A (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62287425A (ja) |
-
1986
- 1986-06-06 JP JP13033586A patent/JPS62287425A/ja active Pending
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