JPS638417B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS638417B2 JPS638417B2 JP53049223A JP4922378A JPS638417B2 JP S638417 B2 JPS638417 B2 JP S638417B2 JP 53049223 A JP53049223 A JP 53049223A JP 4922378 A JP4922378 A JP 4922378A JP S638417 B2 JPS638417 B2 JP S638417B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection area
- mask
- light
- stage
- area mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 76
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は検査エリアの指定方式に関し、さらに
詳しくはプリント板などの表面検査やパターン検
査における検査エリアの指定方式に関するもので
ある。
詳しくはプリント板などの表面検査やパターン検
査における検査エリアの指定方式に関するもので
ある。
たとえばプリント板などの大量生産においてそ
の表面やパターンの自動検査にあたつてその被検
査試料の検査すべきエリアを限定しその限定され
た部分のみを検査する必要のあることがしばしば
である。かゝる場合従来の検査装置においては検
査エリアを座標値により規定していた。第１図に
従来の検査方式の１例を示す。第１図Ａにおいて
被検査試料１は移動台２の上に搭載されｘおよび
ｙ軸方向に移動台２を駆動手段３ｘ，３ｙにより
移動せしめその位置はｘおよびｙ座標位置検出系
ＸおよびＹにより検出される。他方において第１
図Ｂは検査エリア１ａのデータを座標値X1，X2，
Y1，Y2で示している。第１図Ａに示すｘ，ｙ座
標検出系からのデータＸおよびＹは第１図Ｂに示
す検査エリアデータとともにそれぞれ第１図Ｃに
示すコンパレータ４ａ，４ｂ；５ａ，５ｂに入力
し各データを比較しこれらの値をゲート６ａ，６
ｂ，７を介してエリアデータを検出していた。
の表面やパターンの自動検査にあたつてその被検
査試料の検査すべきエリアを限定しその限定され
た部分のみを検査する必要のあることがしばしば
である。かゝる場合従来の検査装置においては検
査エリアを座標値により規定していた。第１図に
従来の検査方式の１例を示す。第１図Ａにおいて
被検査試料１は移動台２の上に搭載されｘおよび
ｙ軸方向に移動台２を駆動手段３ｘ，３ｙにより
移動せしめその位置はｘおよびｙ座標位置検出系
ＸおよびＹにより検出される。他方において第１
図Ｂは検査エリア１ａのデータを座標値X1，X2，
Y1，Y2で示している。第１図Ａに示すｘ，ｙ座
標検出系からのデータＸおよびＹは第１図Ｂに示
す検査エリアデータとともにそれぞれ第１図Ｃに
示すコンパレータ４ａ，４ｂ；５ａ，５ｂに入力
し各データを比較しこれらの値をゲート６ａ，６
ｂ，７を介してエリアデータを検出していた。
しかしながらかゝる従来の方式においては座標
検出系やコンパレータやゲートなどはその検出分
解能や応答速度などを考慮すると高価な装置を必
要とすることになる。また検査エリアが第１図Ｂ
に示すように矩形の場合には問題ないが検査エリ
アが円形を含んだりあるいは複雑な形状になると
処理構成が大きく複雑となりまた高価になるなど
の問題がある。
検出系やコンパレータやゲートなどはその検出分
解能や応答速度などを考慮すると高価な装置を必
要とすることになる。また検査エリアが第１図Ｂ
に示すように矩形の場合には問題ないが検査エリ
アが円形を含んだりあるいは複雑な形状になると
処理構成が大きく複雑となりまた高価になるなど
の問題がある。
本発明の目的は検査エリアの形状の如何にかゝ
わらず極めて容易に検査エリアを指定することの
できる検査エリアの指定方式を提供することにあ
る。
わらず極めて容易に検査エリアを指定することの
できる検査エリアの指定方式を提供することにあ
る。
さらに本発明の目的は検査エリアをエリアマス
クで指示することにより容易に誤りなくしかも安
価に検査エリアを指定できることのできる検査エ
リアの指定方式を提供することにある。
クで指示することにより容易に誤りなくしかも安
価に検査エリアを指定できることのできる検査エ
リアの指定方式を提供することにある。
本発明によれば１つの光源と、１つの光検知器
と、試料と同一寸法の検査エリアマスクと、該検
査エリアマスクが固定され該試料を搭載したXY
ステージを有し、該光源から該光検知器への光が
該検査エリアマスクによりマスクされるか、され
ないかによつて光の有無により検査エリアを判別
することを特徴とする検査エリア指定装置が提案
される。
と、試料と同一寸法の検査エリアマスクと、該検
査エリアマスクが固定され該試料を搭載したXY
ステージを有し、該光源から該光検知器への光が
該検査エリアマスクによりマスクされるか、され
ないかによつて光の有無により検査エリアを判別
することを特徴とする検査エリア指定装置が提案
される。
さらに本発明によれば１つの光源と、１つの光
検知器と、試料を拡大・縮少した寸法の検査エリ
アマスクと、該試料を搭載した第１のXYステー
ジと、該検査エリアマスクを搭載した第２のXY
ステージと、該第１のXYステージの移動距離を
該第２のXYステージの移動距離よりも大もしく
は小に設定し、該試料の検査エリアと該検査エリ
アマスクの寸法が拡大・縮少の関係となるように
制御するステージ制御系を有し該光源から該光検
知器への光が該検査エリアマスクによりマスクさ
れるかされないかによつて光の有無を該光検知器
により検知し、検査エリアを判別することを特徴
とする検査エリア指定装置が提案される。
検知器と、試料を拡大・縮少した寸法の検査エリ
アマスクと、該試料を搭載した第１のXYステー
ジと、該検査エリアマスクを搭載した第２のXY
ステージと、該第１のXYステージの移動距離を
該第２のXYステージの移動距離よりも大もしく
は小に設定し、該試料の検査エリアと該検査エリ
アマスクの寸法が拡大・縮少の関係となるように
制御するステージ制御系を有し該光源から該光検
知器への光が該検査エリアマスクによりマスクさ
れるかされないかによつて光の有無を該光検知器
により検知し、検査エリアを判別することを特徴
とする検査エリア指定装置が提案される。
以下本発明にかゝる方式の実施例について図面
により詳細に説明する。
により詳細に説明する。
第２図は本発明にかゝる１実施例であつて、被
検査試料１１を塔載したXYステージ１２とこれ
と一緒に動くようにXYステージ１２に固定され
た検査エリアマスク１３との相互関係が明らかに
されている。第２図における検査エリアマスク１
３としては透過形のエリアマスクを使用し検査エ
リアマスク１３をはさんで上下に位置する光源１
４と光検知器１５とにより構成する検査エリア検
出系を用いる。第３図は第２図のＡ部の断面詳細
図であり検査エリアマスク１３はXYステージ１
２に搭載され光源からの光が検査エリアマスク１
３によりマスクされるかされないかによつて検査
エリアは白黒パターンによつて表示されエリアマ
スクからの光の有無によつて検査エリアを判別す
る状態を示している。なお第３図においては結像
レンズ１６を用いて光源１４の像を検査エリアマ
スク面に結像しており、１３ａは透明部、１３ｂ
は遮光部である。
検査試料１１を塔載したXYステージ１２とこれ
と一緒に動くようにXYステージ１２に固定され
た検査エリアマスク１３との相互関係が明らかに
されている。第２図における検査エリアマスク１
３としては透過形のエリアマスクを使用し検査エ
リアマスク１３をはさんで上下に位置する光源１
４と光検知器１５とにより構成する検査エリア検
出系を用いる。第３図は第２図のＡ部の断面詳細
図であり検査エリアマスク１３はXYステージ１
２に搭載され光源からの光が検査エリアマスク１
３によりマスクされるかされないかによつて検査
エリアは白黒パターンによつて表示されエリアマ
スクからの光の有無によつて検査エリアを判別す
る状態を示している。なお第３図においては結像
レンズ１６を用いて光源１４の像を検査エリアマ
スク面に結像しており、１３ａは透明部、１３ｂ
は遮光部である。
第４図Ａはステージ制御系１７を用い被検査資
料１１を塔載したXYステージ１２と検査エリア
マスク１３を塔載したXYステージ１２ａを同期
して駆動せしめ第３図に示したごときエリア検出
系で検査エリアを判定するものである。この場合
にはXYステージ１２の移動距離を検査エリアマ
スク１３を塔載したXYステージ１２ａの移動距
離よりも小さく設定し検査エリアマスクの寸法を
縮小することを可能とし検査エリアマスクの設計
製作を容易にすることができる。第４図Ｂはこの
場合における被検査試料１１と検査エリアマスク
１３と被検査エリア１１ａとの相互関係を示す。
料１１を塔載したXYステージ１２と検査エリア
マスク１３を塔載したXYステージ１２ａを同期
して駆動せしめ第３図に示したごときエリア検出
系で検査エリアを判定するものである。この場合
にはXYステージ１２の移動距離を検査エリアマ
スク１３を塔載したXYステージ１２ａの移動距
離よりも小さく設定し検査エリアマスクの寸法を
縮小することを可能とし検査エリアマスクの設計
製作を容易にすることができる。第４図Ｂはこの
場合における被検査試料１１と検査エリアマスク
１３と被検査エリア１１ａとの相互関係を示す。
第２図および第３図においてはエリア検出系と
しては透過形検出エリアマスク１３と光源１４お
よび光検出器１５を用いたが、エリア検出系とし
てはこのほか種々の実施例が考えられる。第５図
は反射形検出エリアマスク２１を用いた場合であ
つて、光源２２と結像用レンズ２３とピンホール
アパーチヤー２４と光検知器２５との関係が明ら
かにされている。また第６図は透過形検出エリア
マスクの他の実施例を示し、検出エリアマスク１
３に対する照明光源２６、結像レンズ２７、ピン
ホールアパーチヤー２８、光検知器２９の相互関
係が明らかにされている。
しては透過形検出エリアマスク１３と光源１４お
よび光検出器１５を用いたが、エリア検出系とし
てはこのほか種々の実施例が考えられる。第５図
は反射形検出エリアマスク２１を用いた場合であ
つて、光源２２と結像用レンズ２３とピンホール
アパーチヤー２４と光検知器２５との関係が明ら
かにされている。また第６図は透過形検出エリア
マスクの他の実施例を示し、検出エリアマスク１
３に対する照明光源２６、結像レンズ２７、ピン
ホールアパーチヤー２８、光検知器２９の相互関
係が明らかにされている。
以上詳細に説明したごとく本発明にかゝる検査
エリアの指定方式は検査エリアの形状の如何に
かゝわらず誤ることなく簡単に検査エリアを指定
できるものであつて、とくに検査エリア形状に凹
凸が多くかつ島状の非検査領域が散在するごとく
パターンたとえばプリント板パターンなどに用い
てとくにその効果は大である。
エリアの指定方式は検査エリアの形状の如何に
かゝわらず誤ることなく簡単に検査エリアを指定
できるものであつて、とくに検査エリア形状に凹
凸が多くかつ島状の非検査領域が散在するごとく
パターンたとえばプリント板パターンなどに用い
てとくにその効果は大である。
第１図は従来の検査エリアの指定方式の１例、
第２図および第３図は本発明にかゝる検査エリア
の指定方式の１実施例、第４図は本発明にかゝる
方式の他の実施例、第５図および第６図は本発明
にかゝる方式における検査エリア検出系の他の実
施例である。 図において１１が被検査試料、１３が検査エリ
アマスク、１４，２２，２６が光源、１５，２
５，２９が光検知器である。
第２図および第３図は本発明にかゝる検査エリア
の指定方式の１実施例、第４図は本発明にかゝる
方式の他の実施例、第５図および第６図は本発明
にかゝる方式における検査エリア検出系の他の実
施例である。 図において１１が被検査試料、１３が検査エリ
アマスク、１４，２２，２６が光源、１５，２
５，２９が光検知器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ １つの光源と、１つの光検知器と、試料と同
一寸法の検査エリアマスクと、前記検査エリアマ
スクが固定され該試料を搭載したXYステージを
有し、 前記光源から前記光検知器への光が前記検査エ
リアマスクによつてマスクされるか、されないか
によつて光の有無により検査エリアを判別するこ
とを特徴とする検査エリア指定装置。 ２ １つの光源と、１つの光検知器と、試料を拡
大・縮少した寸法の検査エリアマスクと、前記試
料を搭載した第１のXYステージと、前記検査エ
リアマスクを搭載した第２のXYステージと、前
記第１のXYステージの移動距離を該第２のXY
ステージの移動距離よりも大もしくは小に設定
し、前記試料の検査エリアと前記検査エリアマス
クの寸法が拡大・縮少の関係となるように制御す
るステージ制御系を有し、 前記光源から前記光検知器への光が該検査エリ
アマスクによりマスクされるかされないかによつ
て光の有無を前記光検知器により検知し、検査エ
リアを判別することを特徴とする検査エリア指定
装置。 ３ 前記検査エリアマスクが光透過パターンによ
り形成され、前記検査エリアマスクを透過した光
により前記検査すべきエリアのデータを得ること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の検査エ
リア指定装置。 ４ 前記検査エリアマスクが光反射パターンによ
り形成され、前記検査エリアマスクを反射した光
により前記検査すべきエリアのデータを得ること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の検査エ
リア指定装置。 ５ 前記検査エリアマスクが光透過パターンによ
り形成され、前記検査エリアマスクを透過した光
により前記検査すべきエリアのデータを得ること
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の検査エ
リア指定装置。 ６ 前記検査エリアマスクが光反射パターンによ
り形成され、前記検査エリアマスクを反射した光
により前記検査すべきエリアのデータを得ること
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の検査エ
リア指定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4922378A JPS54141661A (en) | 1978-04-27 | 1978-04-27 | Assignment system of inspection area |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4922378A JPS54141661A (en) | 1978-04-27 | 1978-04-27 | Assignment system of inspection area |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54141661A JPS54141661A (en) | 1979-11-05 |
| JPS638417B2 true JPS638417B2 (ja) | 1988-02-23 |
Family
ID=12824926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4922378A Granted JPS54141661A (en) | 1978-04-27 | 1978-04-27 | Assignment system of inspection area |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS54141661A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03130420U (ja) * | 1990-04-11 | 1991-12-27 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920840A (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-02 | Fujitsu Ltd | 欠陥検査装置 |
| US7336374B2 (en) * | 2005-10-24 | 2008-02-26 | General Electric Company | Methods and apparatus for generating a mask |
-
1978
- 1978-04-27 JP JP4922378A patent/JPS54141661A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03130420U (ja) * | 1990-04-11 | 1991-12-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54141661A (en) | 1979-11-05 |
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