JPS6383642A - 欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPS6383642A JPS6383642A JP22836486A JP22836486A JPS6383642A JP S6383642 A JPS6383642 A JP S6383642A JP 22836486 A JP22836486 A JP 22836486A JP 22836486 A JP22836486 A JP 22836486A JP S6383642 A JPS6383642 A JP S6383642A
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- JP
- Japan
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- inspection
- disk
- inspected
- rotary table
- time
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラス円板、プラスチック円板、金属円板など
の欠陥検査に関するものである。ガラス円板、プラスチ
ック円板の代表例としてはコンパクトディスク、ビデオ
ディスク、１３０ミリメートル直径光ディスク、磁気デ
ィスクがある。金属円板の代表例としては磁気ディスク
がある。
の欠陥検査に関するものである。ガラス円板、プラスチ
ック円板の代表例としてはコンパクトディスク、ビデオ
ディスク、１３０ミリメートル直径光ディスク、磁気デ
ィスクがある。金属円板の代表例としては磁気ディスク
がある。
従来の円板の欠陥検査方法は、被検査円板を、検査回転
テーブルにロボットハンド等で直接設置して（ロードし
て）、ＣＣＤイメージセンサカメラで円板の欠陥を検査
する方法であった。
テーブルにロボットハンド等で直接設置して（ロードし
て）、ＣＣＤイメージセンサカメラで円板の欠陥を検査
する方法であった。
この場合、全検査時間は、被検査円板をロボットハンド
等が検査回転テーブル上にロードする時間と取外す時間
と、ＣＣＤイメージ４ンサカメラが円板を検査する時間
の合計になる。近年全検査時間の短ｍが要求され、すな
わちロボットハンド等が被検査円板を検査回転テーブル
にロードする時間の短縮が要求されるに至っている。と
ころがこのロード時間は、ＣＣＤイメージセンサカメラ
と検査テーブルの間隔（スキマ）が狭いため安全上ゆっ
くりとロードするか、あるいは−度検査回転テーブルを
、ＣＣＤイメージセンサカメラの視野外に引き出して、
被検査円板をロード後、検査回転テーブルを、ＣＣＤイ
メージセンサカメラの視野内に押し戻すなどの、いづれ
にしても時間のかかるものであるという欠点がある。検
査済円板の取外し時間も同じく長い。
等が検査回転テーブル上にロードする時間と取外す時間
と、ＣＣＤイメージ４ンサカメラが円板を検査する時間
の合計になる。近年全検査時間の短ｍが要求され、すな
わちロボットハンド等が被検査円板を検査回転テーブル
にロードする時間の短縮が要求されるに至っている。と
ころがこのロード時間は、ＣＣＤイメージセンサカメラ
と検査テーブルの間隔（スキマ）が狭いため安全上ゆっ
くりとロードするか、あるいは−度検査回転テーブルを
、ＣＣＤイメージセンサカメラの視野外に引き出して、
被検査円板をロード後、検査回転テーブルを、ＣＣＤイ
メージセンサカメラの視野内に押し戻すなどの、いづれ
にしても時間のかかるものであるという欠点がある。検
査済円板の取外し時間も同じく長い。
本発明は上記欠点を解消し、高速の欠陥検査装置を提供
することを目的としたものである。
することを目的としたものである。
本発明は上記目的を達成するために、時間のかかる被検
査円板のロード動作の大部分を、ＣＣＤイメージセンサ
カメラが円板を検査している時間と併行させ、高速化す
るものである。
査円板のロード動作の大部分を、ＣＣＤイメージセンサ
カメラが円板を検査している時間と併行させ、高速化す
るものである。
また検査前の円板のロード動作と検査回転テーブル上の
検査終了済円板を取外す動作（アンロード動作）を同一
時間内に併行させ高速化するものである。
検査終了済円板を取外す動作（アンロード動作）を同一
時間内に併行させ高速化するものである。
以下、本発明の一実施例を図面について説明する。
第１図において１は検査前ステーション、２は検査回転
テーブル、３は検査終了ステーション、４は検査前円板
、５は検査中円板、６は検査済円板、７はＣＣＤイメー
ジセンナカメラである。８は円板を移動させる機構物で
以下ワーキングビームト称する。９はワーキングビーム
上の任意の点、９Ａ、９Ｂは点９の動きを示す軌跡であ
る。９ＡＫ示される動作の時に、検査前ステーション上
の検査前日板４は検査回転テーブル２上にロードされ、
同時に、検査回転テーブル２上の円板は検査終了ステー
ション６にロードされる。検査終了ステーション６にロ
ードされた検査済円板６は図示されていないロボットハ
ンドなどで取外される。また新たに検査すべき円板は、
図示されていないロボットハンドなどで検査前ステーシ
ョンにロードされる。
テーブル、３は検査終了ステーション、４は検査前円板
、５は検査中円板、６は検査済円板、７はＣＣＤイメー
ジセンナカメラである。８は円板を移動させる機構物で
以下ワーキングビームト称する。９はワーキングビーム
上の任意の点、９Ａ、９Ｂは点９の動きを示す軌跡であ
る。９ＡＫ示される動作の時に、検査前ステーション上
の検査前日板４は検査回転テーブル２上にロードされ、
同時に、検査回転テーブル２上の円板は検査終了ステー
ション６にロードされる。検査終了ステーション６にロ
ードされた検査済円板６は図示されていないロボットハ
ンドなどで取外される。また新たに検査すべき円板は、
図示されていないロボットハンドなどで検査前ステーシ
ョンにロードされる。
この図示されていないロボットハンド等による円板の取
外しおよびロードはＣＣＤイメージセンサカメラが円板
を検査している間に併行して行われる。
外しおよびロードはＣＣＤイメージセンサカメラが円板
を検査している間に併行して行われる。
以上の動作時間はタイムチャートとして第２図に図示し
た。第２図においてでは時間を示す。
た。第２図においてでは時間を示す。
９ＡＴ、９ＢＴは第１図中の動作９Ａ、９Ｂに要する時
間である。２ＴはＣＣＤイメージセンサカメラが円板を
検査するのに要する時間、ＩＴは図示されていないロボ
ットハンド等が検査前ステーションに円板をロードする
のに要する時間、３Ｔは図示されていないロボットハン
ド等が検査終了ステーションから円板を取外すのに要す
る時間、ＩＯＴは本発明ではない従来方式の欠陥検査装
置において、図示されていないロボットハンド等が円板
を検査回転テーブルにロードするのに要する時間、１１
Ｔは同じく検査回転テーブルから円板を取外すのに要す
る時間である。本発明によれば全検査時間は、（２Ｔ）
＋（９ＡＴ）であり、従来方式の全検査時間は（ＩＯＴ
）＋（２Ｔ）＋（ＩＩＴ）である。本発明により円板の
欠陥検査時間は大幅に短縮することができる。
間である。２ＴはＣＣＤイメージセンサカメラが円板を
検査するのに要する時間、ＩＴは図示されていないロボ
ットハンド等が検査前ステーションに円板をロードする
のに要する時間、３Ｔは図示されていないロボットハン
ド等が検査終了ステーションから円板を取外すのに要す
る時間、ＩＯＴは本発明ではない従来方式の欠陥検査装
置において、図示されていないロボットハンド等が円板
を検査回転テーブルにロードするのに要する時間、１１
Ｔは同じく検査回転テーブルから円板を取外すのに要す
る時間である。本発明によれば全検査時間は、（２Ｔ）
＋（９ＡＴ）であり、従来方式の全検査時間は（ＩＯＴ
）＋（２Ｔ）＋（ＩＩＴ）である。本発明により円板の
欠陥検査時間は大幅に短縮することができる。
即ち検査前ステーションと検査終了ステーションが設置
されかつ、検査前ステーションの中心と、検査回転テー
ブルの中心と、検査終了テーブルの中心が等間隔、−直
線上にあれば、ワーキングビームが円板の移動に利用で
き、時間を最も浪費する、ロボットハンド等による円板
のロード時間、取外し時間を、ＣＣＤイメージセンサカ
メラが円板を検査する時間に並列化でき、従来方式の直
列時間型に比べて時間短縮できる。
されかつ、検査前ステーションの中心と、検査回転テー
ブルの中心と、検査終了テーブルの中心が等間隔、−直
線上にあれば、ワーキングビームが円板の移動に利用で
き、時間を最も浪費する、ロボットハンド等による円板
のロード時間、取外し時間を、ＣＣＤイメージセンサカ
メラが円板を検査する時間に並列化でき、従来方式の直
列時間型に比べて時間短縮できる。
以上説明したように本発明によれば、ロボットハンド等
による円板のロード時間、円板の取外し時間を無視でき
るので、円板の欠陥検査時間を短縮できる。
による円板のロード時間、円板の取外し時間を無視でき
るので、円板の欠陥検査時間を短縮できる。
第１図は本発明に係わる欠陥検査装置の一実施例の模式
図、第２図は第１図の欠陥検査装置が検査に要する時間
のタイムチャートである。 １・・・検査前ステーション、２・・・検査回転テーブ
ル、３・・・検査終了ステーション、４・・・検査前円
板、５・・・検査中円板、７・・・ＣＯＤイメージセン
サカメラ、８・・・ワーキングビーム、９ＡＴ・・・動
作時間、９ＢＴ・・・動作時間 特許出願人 株式会社 ヒユーチック第２図 一一一一−１−日令間
図、第２図は第１図の欠陥検査装置が検査に要する時間
のタイムチャートである。 １・・・検査前ステーション、２・・・検査回転テーブ
ル、３・・・検査終了ステーション、４・・・検査前円
板、５・・・検査中円板、７・・・ＣＯＤイメージセン
サカメラ、８・・・ワーキングビーム、９ＡＴ・・・動
作時間、９ＢＴ・・・動作時間 特許出願人 株式会社 ヒユーチック第２図 一一一一−１−日令間
Claims (1)
- 被検査円板の検査終了ステーションと、被検査円板の検
査前ステーションが、欠陥検査回転テーブルの両側に等
距離にあり、かつその中心位置が一直線上になるように
配設し、欠陥検査回転テーブル上の被検査円板を検査終
了ステーションへ移動させると同時に、検査前ステーシ
ョン上の被検査円板を検査回転テーブル上へ同時に移動
させることを特徴とした、ＣＣＤイメージセンサが撮像
カメラである、円板の欠陥検査方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836486A JPS6383642A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836486A JPS6383642A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6383642A true JPS6383642A (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=16875301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22836486A Pending JPS6383642A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6383642A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01265937A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-10-24 | Topcon Corp | 眼科器械 |
| JP2008076135A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Murazumi Kogyo Kk | 顕微鏡標本容器用ラック |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP22836486A patent/JPS6383642A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01265937A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-10-24 | Topcon Corp | 眼科器械 |
| JP2008076135A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Murazumi Kogyo Kk | 顕微鏡標本容器用ラック |
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