JPS6383635A - 材料表面測定装置 - Google Patents
材料表面測定装置Info
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- JPS6383635A JPS6383635A JP61230531A JP23053186A JPS6383635A JP S6383635 A JPS6383635 A JP S6383635A JP 61230531 A JP61230531 A JP 61230531A JP 23053186 A JP23053186 A JP 23053186A JP S6383635 A JPS6383635 A JP S6383635A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
- G01J3/501—Colorimeters using spectrally-selective light sources, e.g. LEDs
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＰＬＺＴの電気光学効果と印加電圧による波
長特性を利用した材料表面測定装置に関し、例えば、被
測定材料の表面の状態の色調および位置を正確に測定す
る材料表面測定装置に関するものである。
長特性を利用した材料表面測定装置に関し、例えば、被
測定材料の表面の状態の色調および位置を正確に測定す
る材料表面測定装置に関するものである。
各種の材料の色の識別は、従来から半導体素子を用いた
色識別センサが使用されている１例えば。
色識別センサが使用されている１例えば。
第４ａ図および第４ｂ図に示すように、被測定材料の表
面に白色光を照射し、この反射光を三色のフィルタ〔赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ））（図示せず）を通して、
それぞれ３個のフォトダイオードＤ １ ＋ Ｄ２ ＋
０３で受光するように構成することにより、物体から
の反射光を三原色（Ｒ，Ｇ。
面に白色光を照射し、この反射光を三色のフィルタ〔赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ））（図示せず）を通して、
それぞれ３個のフォトダイオードＤ １ ＋ Ｄ２ ＋
０３で受光するように構成することにより、物体から
の反射光を三原色（Ｒ，Ｇ。
Ｂ）に分解し、それぞれの色の光の光量をフォトダイオ
ードＤ １ ＋ Ｄ ２ ＋ Ｄ３で検出し、このフォ
トダイオ−下Ｄ １ ｒ Ｄ２ ＋ Ｄ３の出力ｘ、ｙ
、ｚの大きさから被測定材料の色識別を行っている〔例
えば、情報調査会発行［センサー技術」増刊号「センサ
ー回路デザインブックＪ （１９８５年５月）５７頁
参照］。
ードＤ １ ＋ Ｄ ２ ＋ Ｄ３で検出し、このフォ
トダイオ−下Ｄ １ ｒ Ｄ２ ＋ Ｄ３の出力ｘ、ｙ
、ｚの大きさから被測定材料の色識別を行っている〔例
えば、情報調査会発行［センサー技術」増刊号「センサ
ー回路デザインブックＪ （１９８５年５月）５７頁
参照］。
しかしながら、このような方法による被測定材料の色の
識別方式では、例えば、第５図に示したように被測定材
料１５の位置や厚みが変動した場合には光学的に照射位
置がずれるため、測定に誤差を生じたり、甚しい場合に
は測定が困難になるような事態を来たすことがある。ま
た、被測定材料の表面形状（粗度）によって反射光が拡
散し、各フォトダイオードに検知される光の強度は小さ
くなり、しかも光の拡散の程度は、波長に依存するため
、これらの点からも測定誤差を生じることになる。
識別方式では、例えば、第５図に示したように被測定材
料１５の位置や厚みが変動した場合には光学的に照射位
置がずれるため、測定に誤差を生じたり、甚しい場合に
は測定が困難になるような事態を来たすことがある。ま
た、被測定材料の表面形状（粗度）によって反射光が拡
散し、各フォトダイオードに検知される光の強度は小さ
くなり、しかも光の拡散の程度は、波長に依存するため
、これらの点からも測定誤差を生じることになる。
本発明は上記のような従来技術の問題点を解決し、被測
定材料の厚みや変動や位置の変動に対しても測定誤差を
生じることなく、常に正確に被測定材料の表面状態の色
調２位置等を測定することを目的とする。
定材料の厚みや変動や位置の変動に対しても測定誤差を
生じることなく、常に正確に被測定材料の表面状態の色
調２位置等を測定することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明においては、集光ミラ
ー、白色光源、スリットおよびＰＬＺＴを直列に配設し
た投光部、該投光部から照射されて被測定材料の表面か
ら反射した光を受光するアレイセンサを配設した受光部
、前記ＰＬＺＴの作動を制御する制御回路、および、該
制御回路からの信号によりアレイセンサの信号を判別し
て処理する信号増幅判別回路を備える。
ー、白色光源、スリットおよびＰＬＺＴを直列に配設し
た投光部、該投光部から照射されて被測定材料の表面か
ら反射した光を受光するアレイセンサを配設した受光部
、前記ＰＬＺＴの作動を制御する制御回路、および、該
制御回路からの信号によりアレイセンサの信号を判別し
て処理する信号増幅判別回路を備える。
ここでのＰＬＺＴはセラミック機能デバイスで、二次電
気光学効果をもち、光シャッタや光変調器などに利用さ
れていることは周知のとおりである。
気光学効果をもち、光シャッタや光変調器などに利用さ
れていることは周知のとおりである。
このＰＬＺＴは、第６ａ図および第６ｂ図に示すように
、光源１からの光を偏光子１ｇ、ＰＬＺＴ６、検光子１
９を透過させると直線偏光として取出すことができる機
能を有しており、このとき抽出光の光量および色調はＰ
ＬＺＴに印加する電圧の値によって制御することができ
る。第６ａ図および第６ｂ図において、１６．１７はＰ
ＬＺＴ６に印加する電圧を加える電極である。第６ａ図
は横モードで用いる場合を、第６ｂ図は縦モードで用い
る場合を示している。また第２図はＰＬＺＴ６の電極に
電圧を加えた場合において、印加電圧と透過光の色調と
の関係を示すものである。
、光源１からの光を偏光子１ｇ、ＰＬＺＴ６、検光子１
９を透過させると直線偏光として取出すことができる機
能を有しており、このとき抽出光の光量および色調はＰ
ＬＺＴに印加する電圧の値によって制御することができ
る。第６ａ図および第６ｂ図において、１６．１７はＰ
ＬＺＴ６に印加する電圧を加える電極である。第６ａ図
は横モードで用いる場合を、第６ｂ図は縦モードで用い
る場合を示している。また第２図はＰＬＺＴ６の電極に
電圧を加えた場合において、印加電圧と透過光の色調と
の関係を示すものである。
このようにＰＬＺＴ６は、その電極に印加する電圧を変
化させることにより、その透過光の色調を変化させるこ
とができる。このため、投光部においては、制御回路に
より電圧が変化する駆動信号をＰＬＺＴに供給し、この
ＰＬＺＴの透過光の色調を変化させ、受光部においては
受光する反射光を、このＰＬＺＴ作動を制御する制御回
路からの信号により変化した色調の投射光による反射光
に対応したものとして、信号増幅判別回路により判別し
て処理する。また、ここでは、受光部としてアレイセン
サを用いろ。このため、第５図に示すように、被測定材
料の位置が変位した場合、反射光の光路が点線に示すよ
うに変化し、アレイセンサの受光位置が変化し、この変
化量は被測定材料の変位量に比例するので、アレイセン
サの受光位置を検出することにより、被測定材料の位置
の測定を行なうことができる構成となっている。
化させることにより、その透過光の色調を変化させるこ
とができる。このため、投光部においては、制御回路に
より電圧が変化する駆動信号をＰＬＺＴに供給し、この
ＰＬＺＴの透過光の色調を変化させ、受光部においては
受光する反射光を、このＰＬＺＴ作動を制御する制御回
路からの信号により変化した色調の投射光による反射光
に対応したものとして、信号増幅判別回路により判別し
て処理する。また、ここでは、受光部としてアレイセン
サを用いろ。このため、第５図に示すように、被測定材
料の位置が変位した場合、反射光の光路が点線に示すよ
うに変化し、アレイセンサの受光位置が変化し、この変
化量は被測定材料の変位量に比例するので、アレイセン
サの受光位置を検出することにより、被測定材料の位置
の測定を行なうことができる構成となっている。
第１図は本発明を一態様で実施する材料表面測定装置の
概略構成を示すブロック図である。図において、１は白
色光源であり、例えばハロゲンランプを用い、電源装置
２により点灯する。３は白色光源１の後方に設けた集光
ミラーである。この集光ミラー３で反射して光は白色光
源ｌの前方に設けたスリット４の位置に集光し、さらに
レンズ５−１により平行光となってＰＬＺＴ６を透過す
る。投光部Ｓが、これら集光ミラー３．白色光源１、ス
リット４．レンズ５−１およびＰＬＺＴ６により形成さ
れる。このＰＬＺＴ６には、第３ｂ図に示すような駆動
信号がＰＬＺＴ制御回路８により、ＰＬＺＴドライバ回
路７を経て加えられる。
概略構成を示すブロック図である。図において、１は白
色光源であり、例えばハロゲンランプを用い、電源装置
２により点灯する。３は白色光源１の後方に設けた集光
ミラーである。この集光ミラー３で反射して光は白色光
源ｌの前方に設けたスリット４の位置に集光し、さらに
レンズ５−１により平行光となってＰＬＺＴ６を透過す
る。投光部Ｓが、これら集光ミラー３．白色光源１、ス
リット４．レンズ５−１およびＰＬＺＴ６により形成さ
れる。このＰＬＺＴ６には、第３ｂ図に示すような駆動
信号がＰＬＺＴ制御回路８により、ＰＬＺＴドライバ回
路７を経て加えられる。
このＰＬＺＴに加えられる駆動信号は、第３ａ図に示す
ようなタイミング信号Ａ、Ｂにより、３つの状態が区別
されて、順次にＲ（赤）、Ｂ（青）、Ｇ（緑）に対応し
て、その振幅電圧が変化する信号を一定周波数の交流信
号により変調したものである（第３ｂ図）。この駆動信
号の振幅電圧値は、第２図に示すようなＰＬＺＴの特性
から、目的の色調（Ｒ，Ｇ、Ｂ）の光を透過させるに合
致した電圧値である。したがって、このような駆動信号
により制御されろＰＬＺＴ６を透過した光は、タイミン
グ信号Ａ、Ｂにより区別されている３つの状態のタイミ
ングにより、順次にＲ（赤）、Ｂ（青）。
ようなタイミング信号Ａ、Ｂにより、３つの状態が区別
されて、順次にＲ（赤）、Ｂ（青）、Ｇ（緑）に対応し
て、その振幅電圧が変化する信号を一定周波数の交流信
号により変調したものである（第３ｂ図）。この駆動信
号の振幅電圧値は、第２図に示すようなＰＬＺＴの特性
から、目的の色調（Ｒ，Ｇ、Ｂ）の光を透過させるに合
致した電圧値である。したがって、このような駆動信号
により制御されろＰＬＺＴ６を透過した光は、タイミン
グ信号Ａ、Ｂにより区別されている３つの状態のタイミ
ングにより、順次にＲ（赤）、Ｂ（青）。
Ｇ（禄）の透過光に切換えられて、被測定材料の表面に
照射される。投光部でＰＬＺＴ６を透過した平行光２０
は被測定材料１５に達し、その表面で反射する。この反
射光２１は受光部Ｒに設けたレンズ５−２によって集光
され、アレイセンサ９で受光され、その光の強度に比例
した信号に変換される。一方、ＰＬＺＴ制御回路８から
信号増幅判別回路１０にタイミング信号Ａ、Ｂが伝送さ
れているので、この信号増幅判別回路１０では、アレイ
センサ９からの信号を増幅し、かつタイミング信号Ａ、
Ｂにより、その時に照射されているＲ２Ｂ、Ｇの平行光
の区別を行なって、その時の受光信号に対して、それぞ
れＲ，Ｂ、Ｇに対応しての信号検出の判別を行う。信号
増幅判別回路１ｏからの信号は、信号処理回路１１に送
られ、検出した電圧信号の大きさから色識別モデルにし
たがって、被測定材料１５の表面の色を判定する。
照射される。投光部でＰＬＺＴ６を透過した平行光２０
は被測定材料１５に達し、その表面で反射する。この反
射光２１は受光部Ｒに設けたレンズ５−２によって集光
され、アレイセンサ９で受光され、その光の強度に比例
した信号に変換される。一方、ＰＬＺＴ制御回路８から
信号増幅判別回路１０にタイミング信号Ａ、Ｂが伝送さ
れているので、この信号増幅判別回路１０では、アレイ
センサ９からの信号を増幅し、かつタイミング信号Ａ、
Ｂにより、その時に照射されているＲ２Ｂ、Ｇの平行光
の区別を行なって、その時の受光信号に対して、それぞ
れＲ，Ｂ、Ｇに対応しての信号検出の判別を行う。信号
増幅判別回路１ｏからの信号は、信号処理回路１１に送
られ、検出した電圧信号の大きさから色識別モデルにし
たがって、被測定材料１５の表面の色を判定する。
このＰＬＤＴ６に加える駆動信号の変調周波数。
印加電圧の具体的数値例を示せば、例えば、変調周波数
は５ｋＨｚで、印加電圧は、赤（Ｒ）のとき＋１５０Ｖ
、緑（Ｇ）のとき＋２００Ｖ、青（Ｂ）のとき±１７０
ｖである。
は５ｋＨｚで、印加電圧は、赤（Ｒ）のとき＋１５０Ｖ
、緑（Ｇ）のとき＋２００Ｖ、青（Ｂ）のとき±１７０
ｖである。
また、この材料表面測定装置では、アレイセンサ９とし
ては、シリコンホトダイオード１０２４ｂｉｔのダイオ
ードアレイを用い、材料に照射する平行光を３ｍｍφと
している。このように構成されているため、第１図に示
すように、被測定材料１５の位置がｙｌからｙ２に変位
した場合、反射光２１の光路は点線に示すように変化し
、アレイセンサ９の受光位置が変化するが、この変化量
は被測定材料１５の変位量に比例するので、アレイセン
サ９の受光位置から被測定材料１５の位置の測定を行な
うことができる構成となっている。
ては、シリコンホトダイオード１０２４ｂｉｔのダイオ
ードアレイを用い、材料に照射する平行光を３ｍｍφと
している。このように構成されているため、第１図に示
すように、被測定材料１５の位置がｙｌからｙ２に変位
した場合、反射光２１の光路は点線に示すように変化し
、アレイセンサ９の受光位置が変化するが、この変化量
は被測定材料１５の変位量に比例するので、アレイセン
サ９の受光位置から被測定材料１５の位置の測定を行な
うことができる構成となっている。
被測定材料１５の表面は、ある粗度を有しているから反
射光２１は拡散する。拡散の大きさは波長に依存するの
で、平行光２０の径よりも１反射光２１は大きくなる。
射光２１は拡散する。拡散の大きさは波長に依存するの
で、平行光２０の径よりも１反射光２１は大きくなる。
したがってアレイセンサ９が受光する面積もそれに比例
して大きくなる。そこで、アレイセンサ９の受光分布、
即ちホトダイオードアレイの電圧分布から、分布中心点
（最大電圧点）と分布状態（σ）を求めて、被測定材料
の表面の粗度の程度を測定する。これは、アレイセンサ
９の各ビットのホトダイオードで検出される電圧信号を
信号処理回路１１に入力し、演算処理することにより求
める。信号処理回路１１は、例えば、アナログ／デジタ
ル変換入力ポートを有するマイクロコンピュータであり
、信号増幅判定回路１０からの信号を受けて、内蔵した
プログラムにしたがって演算処理する。したがって、信
号処理回路１１の出力としては、材料の色識別１分布中
心点から材料の位置、分布状態（σ）から材料の粗度の
大きさが得られる。
して大きくなる。そこで、アレイセンサ９の受光分布、
即ちホトダイオードアレイの電圧分布から、分布中心点
（最大電圧点）と分布状態（σ）を求めて、被測定材料
の表面の粗度の程度を測定する。これは、アレイセンサ
９の各ビットのホトダイオードで検出される電圧信号を
信号処理回路１１に入力し、演算処理することにより求
める。信号処理回路１１は、例えば、アナログ／デジタ
ル変換入力ポートを有するマイクロコンピュータであり
、信号増幅判定回路１０からの信号を受けて、内蔵した
プログラムにしたがって演算処理する。したがって、信
号処理回路１１の出力としては、材料の色識別１分布中
心点から材料の位置、分布状態（σ）から材料の粗度の
大きさが得られる。
以上説明したように本発明の材料表面測定装置によれば
、被測定材料の色９位置２表面の粗度の測定を行うこと
ができる。ところで、本発明の材料表面測定装置におい
て、更に特徴とするところは、ＰＬＺＴに交流電圧を印
加しかつ電圧を制御することにある。すなわち通常ＰＬ
ＺＴに電圧を印加し、その印加電圧によって抽出光（波
長）を制御する場合には、直流電圧を用い、その電圧値
を変化させるが、ＰＬＺＴは物性的にコンデンサと見な
すことができるので１本発明においては交流電圧を印加
する方式を採用した。その理由は、（１）外部からの光
に影響されない。ＰＬＺＴからの光は、ＰＬＺＴの駆動
周波数ｆで変化しているから、被測定材料から検出され
る反射光も周波数ｆのみの光を検出すればよい。従って
外部からの光（照明、太陽）に影響されずに測定できる
。
、被測定材料の色９位置２表面の粗度の測定を行うこと
ができる。ところで、本発明の材料表面測定装置におい
て、更に特徴とするところは、ＰＬＺＴに交流電圧を印
加しかつ電圧を制御することにある。すなわち通常ＰＬ
ＺＴに電圧を印加し、その印加電圧によって抽出光（波
長）を制御する場合には、直流電圧を用い、その電圧値
を変化させるが、ＰＬＺＴは物性的にコンデンサと見な
すことができるので１本発明においては交流電圧を印加
する方式を採用した。その理由は、（１）外部からの光
に影響されない。ＰＬＺＴからの光は、ＰＬＺＴの駆動
周波数ｆで変化しているから、被測定材料から検出され
る反射光も周波数ｆのみの光を検出すればよい。従って
外部からの光（照明、太陽）に影響されずに測定できる
。
（２）装置構造が簡単である。一般に、ランプ光を交流
化する場合は１回転式の光チョッパを利用するが、回転
式のチョッパは、回転ムラを生じることが多く、その周
波数が乱れることが多い。また装置も大きくなり、測定
装置の構成が複雑になる。これに対して、ＰＬＺＴは交
流電圧を印加するのみでよいから、周波数の安定性もよ
く小型で耐久性にも優れている。
化する場合は１回転式の光チョッパを利用するが、回転
式のチョッパは、回転ムラを生じることが多く、その周
波数が乱れることが多い。また装置も大きくなり、測定
装置の構成が複雑になる。これに対して、ＰＬＺＴは交
流電圧を印加するのみでよいから、周波数の安定性もよ
く小型で耐久性にも優れている。
本発明は、以上述べたように従来の材料色識別装置にな
い機能を持っている。その特徴は（１）材料の色識別が
正確である。本方式は、材料にＲ，Ｇ、Ｂの平行光を照
射し反射光の強度と分布状態から材料の色識別を行って
いる。
い機能を持っている。その特徴は（１）材料の色識別が
正確である。本方式は、材料にＲ，Ｇ、Ｂの平行光を照
射し反射光の強度と分布状態から材料の色識別を行って
いる。
（２）材料が振動しても色識別可能であり、材料の位置
変化も計測できる。
変化も計測できる。
（３）反射光の強度と分布状態から材料表面の粗度も計
測できる。
測できる。
第１図は本発明を一態様で実施する材料表面測定装置の
概略構成を示すブロック図、第２図はＰＬＺＴの印加電
圧とその透過光の色調の関係を示す説明図、第３ａ図お
よび第３ｂ図は本発明の材料表面測定装置におけるＰＬ
ＺＴへの印加電圧とそのタイミングを示す説明図である
。 第４ａ図、第４ｂ図および第５図は、従来において材料
の色調を測定する装置の概略構成および動作を説明する
図である。 第６ａ図および第６ｂ図はＰＬＺＴの基本動作を示す説
明図である。 １：白色光源 ２：電源装置 ３：集光ミラー ４ニスリツト ５．５−１．５−２：レンズ ６ ： ＰＬＺＴ７ ：
ＰＬＺＴドライバ回路 ８ ： ＰＬＺＴ制御回路９
ニアレイセンサ １０：信号増幅判定回路１１：信
号処理回路 １５：被測定材料１６．１７：電極
１８：偏光子１９：検光子 Ｒ：受
光部 Ｓ：投光部 ＰＤ：フォトダイオード第２１
丈 ｑｆｘ：Ｌ覧ｆｒ−、（Ｖ） 悴３ａ１図 一一争を 悌３ｂ図 下４ａ図 ］５ 埠４ｂ図 ＜：〉へ−５ ゛、ｌ
概略構成を示すブロック図、第２図はＰＬＺＴの印加電
圧とその透過光の色調の関係を示す説明図、第３ａ図お
よび第３ｂ図は本発明の材料表面測定装置におけるＰＬ
ＺＴへの印加電圧とそのタイミングを示す説明図である
。 第４ａ図、第４ｂ図および第５図は、従来において材料
の色調を測定する装置の概略構成および動作を説明する
図である。 第６ａ図および第６ｂ図はＰＬＺＴの基本動作を示す説
明図である。 １：白色光源 ２：電源装置 ３：集光ミラー ４ニスリツト ５．５−１．５−２：レンズ ６ ： ＰＬＺＴ７ ：
ＰＬＺＴドライバ回路 ８ ： ＰＬＺＴ制御回路９
ニアレイセンサ １０：信号増幅判定回路１１：信
号処理回路 １５：被測定材料１６．１７：電極
１８：偏光子１９：検光子 Ｒ：受
光部 Ｓ：投光部 ＰＤ：フォトダイオード第２１
丈 ｑｆｘ：Ｌ覧ｆｒ−、（Ｖ） 悴３ａ１図 一一争を 悌３ｂ図 下４ａ図 ］５ 埠４ｂ図 ＜：〉へ−５ ゛、ｌ
Claims (1)
- 集光ミラー、白色光源、スリットおよびＰＬＺＴを直列
に配設した投光部、該投光部から照射され被測定材料の
表面から反射した光を受光するアレイセンサを配設した
受光部、前記ＰＬＺＴの作動を制御する制御回路、およ
び、該制御回路からの信号によりアレイセンサの信号を
判別して処理する信号増幅判別回路を備えることを特徴
とする材料表面測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61230531A JPS6383635A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 材料表面測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61230531A JPS6383635A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 材料表面測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6383635A true JPS6383635A (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=16909205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61230531A Pending JPS6383635A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 材料表面測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6383635A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0458168A2 (en) * | 1990-05-24 | 1991-11-27 | National Research Council Of Canada | Three dimensional color imaging |
| KR100478137B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-03-21 | 주식회사 마크로젠 | 여기광 집속효율이 향상된 바이오 칩 스캐너 |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP61230531A patent/JPS6383635A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0458168A2 (en) * | 1990-05-24 | 1991-11-27 | National Research Council Of Canada | Three dimensional color imaging |
| KR100478137B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-03-21 | 주식회사 마크로젠 | 여기광 집속효율이 향상된 바이오 칩 스캐너 |
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