JPS6381226A - スペクトル分析方法及び装置 - Google Patents

スペクトル分析方法及び装置

Info

Publication number
JPS6381226A
JPS6381226A JP62184701A JP18470187A JPS6381226A JP S6381226 A JPS6381226 A JP S6381226A JP 62184701 A JP62184701 A JP 62184701A JP 18470187 A JP18470187 A JP 18470187A JP S6381226 A JPS6381226 A JP S6381226A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
grating
spectrum
wavelength
reflective structure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62184701A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2511057B2 (ja
Inventor
クレーグ ジョージ ソーヤーズ
ローレンス ジョン ロビンソン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ares Serono Research and Development LP
Original Assignee
Ares Serono Research and Development LP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ares Serono Research and Development LP filed Critical Ares Serono Research and Development LP
Publication of JPS6381226A publication Critical patent/JPS6381226A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2511057B2 publication Critical patent/JP2511057B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/4788Diffraction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J2003/2866Markers; Calibrating of scan
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J2003/425Reflectance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2803Investigating the spectrum using photoelectric array detector
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • G01N21/553Attenuated total reflection and using surface plasmons
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/062LED's
    • G01N2201/0627Use of several LED's for spectral resolution

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Inert Electrodes (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は分光計に関し、特に、起こりうる誤差を補正す
ることができるように分光計を使用する方法及びそのよ
うな方法を実施するための装置に関する。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする問題点〕回析
格子のような反射構造が、条件によっては、狭い波長範
囲にある光の大半を吸収できることは知られている。最
大吸収ノツチが起こる波長は格子の溝のピッチ、深さ及
び形状により決定されると共に、格子表面に存在する被
覆膜によっても影響を受ける。すなわち、たとえば、格
子の表面に配位子と結合することができる生物学的に鋭
敏な材料又はその他の材料が存在する場合、表面の第1
の領域を基準領域(すなわち、λ、の吸収波長を有する
)として残し、別の領域を配位子を含有する液体サンプ
ルで処理すると、配位子と格子表面の鋭敏な材料との結
合により形成される錯体は、試験領域の吸収波長をλ、
からλ4ヘシフトさせる。
原則として、これは、試験すべき反射構造を多色光のビ
ームである傾斜角をもって照明する過程と、反射晃のス
ペクトルを(たとえば、反射光を多素子線形感光アレイ
に入射させることにより)分析する過程と、基準測定値
と比較して、反射構造により吸収される光の波長のシフ
トが起こったか否かを判定する過程とを含む手順により
、サンプルを配位子の有無に関して試験する方法を提供
する。
しかしながら、反射構造により吸収される波長は反射構
造の性質により(たとえば、反射構造が回析格子である
場合は、格子の溝の間隔及び深さにより)決定されるば
かりでなく、反射構造に対する光の入射角によっても決
定される。入射角は反射構造の“ビームに対する相対運
動によって変動すると考えられ、そのために誤差が生じ
るおそれがある。
〔問題点を解決するための手段〕
最も広い意味では、本発明は、反射構造を多色光のビー
ムである傾斜角をもって照明する過程と、反射光のスペ
クトルを分析する過程とから成る反射構造から反射され
る光のスペクトルを分析する方法において、反射構造と
多色光のビームとが成す角度の変動が分析結果に及ぼす
影響を最小とするようにその方法を実施することを特徴
とする方法を提供する。
本発明は、(i)多色光のビームを発生することができ
る光源と;(ii)使用中に、多色光のビームを反射構
造にある傾斜角をもって供給する手段と;(iii)使
用中に、反射光のスペクトルを分析する分析手段と;(
iv)使用中に、反射構造と多色光のビームとが成す角
度の変動が分析手段の出力に及ぼす影響を最小にする手
段とを具備する装置をさらに提供する。
多色光のビームは回折制限平行ビームであり且つ偏光さ
れるのが好ましい。
本発明の一実施例によれば、反射構造と多色光のビーム
とが成す角度の変動が分析手段の出力に及ぼす影響は、
多色光のビームに少なくとも1つの既知のスペクトル特
性を与えることにより最小限に抑えられる。あるいは、
それぞれ、少な(とも1つの既知のスペクトル特性を有
する1本又は複数本の光の基準ビームを供給しても良い
、既知のスペクトル特性は使用される装置の校正を可能
にするようなものである。
たとえば、試験領域及び基準領域を含む反射格子の表面
プラズモン共鳴により影響を受けないように、第1の光
ビームの偏光平面に対して垂直に偏光された回析格子平
行ビームを発生する光源を採用しても良い、第2の光源
は、反射格子に入射するスペクトルに既知の校正特徴を
導入するために使用される。これは光源自体の特性であ
っても良く、また、光源と波長選択素子との組合せから
得られても良い。ダイオードアレイに形成される校正特
徴の像は、システムを試験領域と基準領域の双方で波長
校正するのに十分な情報を提供する。
第2の光源からのスペクトルがλ、からλ2の範囲でい
くつかの校正特徴を有する場合、感光素子ごとの波長に
関してスケーリング因子を設定することができる。
校正用の第2の光源を使用することにより、装置の機械
的許容差に対する制限をかなり緩和することができる。
光源は発光ダイオード(LED)、レーザー光源又は白
熱電球であれば良い。
LEDを使用する場合は、第2の発光ダイオードからの
光がネオジムが添加されたイツトリウムアルミニウムガ
ーネット(NdYAG)等の希土類が添加された結晶又
は干渉フィルタを通過するように構成するのが好ましく
、これにより、700から850nmの良好なノツチパ
ターンが発生される。
NdYAGを使用する場合、発光ダイオード範囲中央の
波長をほぼ775nmとする700na+から85On
+mの範囲の連続する波長帯域にある光を発するのが好
ましい。
本発明の別の実施例によれば、反射構造と多色光ビーム
とが成す角度の変動が分析手段の出力に及ぼす影響は、
分析に先立って反射光を適切に構成され且つ配置された
分散光学素子、たとえばブレーズされた回析格子に入射
させることにより最小限に抑えられる。分散光学素子は
、反射構造の角度向きの変動を厳密に補償するように構
成され且つ配置されるのが理想的である。実際には、分
散光学素子は、特定の波長で補償が正確となるように構
成され且つ配置される。このようにすれば、隣接する波
長で変動の影響は最小になる。
反射構造は、ポリカーボネート基板の表面に複数の溝か
ら成る回析格子パターンが型押し又はその他の方法によ
り形成され、それらの溝が金、銀、アルミニウム等の薄
く軽量の反射被膜により被覆されている回析格子である
のが好ましい。溝の線間隔と深さは、表面に700から
850nmの範囲の吸収波長を与えるように選択される
反射構造の上面には、配位子(たとえば抗原又は抗体)
と結合することができる材料の薄い層が形成されていて
も良く、これにより、試験すべきサンプルを問題の配位
子の有無又はその他に関して検出することが可能になる
。反射構造の表面の1つの領域は基準領域として残され
ても良い。この場合、サンプルは表面の別の領域に塗布
される。
サンプル中に配位子が存在する場合、配位子は反射構造
上に存在する対応する材料と結合することになる。サン
プル中に配位子が存在しなければ、試験領域は基準領域
と同じ特性を有し、基準領域から試験領域に変わったと
きも、吸収ノツチの位置が著しく変化することはないは
ずである。
これに対し、サンプル中に配位子が存在する場合には、
サンプル中の配位子の一部は反射構造上の対応する結合
材料に付着し、その結果、試験領域の表面パラメータが
基準領域に対して変化するために吸収ノツチの位置のシ
フトが起こるので、このシフトを検出すれば良い。
前述のように、反射光のスペクトルは、反射光を多素子
線形感光アレイに集束することにより試験されれば良く
、反射光のそれぞれの成分の波長はアレイに沿ったその
位置を決定する゛、そのような場合、装置は、照度レベ
ルを決定するために感光アレイを走査し且つ問合せる電
気回路手段と、走査のスタート位置からの素子の数をカ
ウントする手段と、最終像におけるノツチの絶対位置又
は反射格子の基準位置と試験位置とに関するノツチ位置
のシフトを記録及び/又は表示する手段とをさらに具備
するのが好ましい。
通常、ビームスプリフタを使用して、2つの光源を1本
の光路に組合せている。
〔実施例〕
以下、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図において、約775nmを中心として約1100
nの帯域幅を有する発光ダイオード10は、偏光装置1
2を介して、ピンホール開口16を照明する第1のレン
ズ14に光を供給する。ピンホール開口16は、長手方
向が後述する回析格子の格子線と平行であるスリットで
あっても良い。
レンズ18は、開口20との組合せにより、22で示さ
れる直径3Hの回折制限平行ビームを発生する。
このビームは反射回析格子24に向けられる。
反射回析格子24は、ある種の生化学生成物が存在する
ところでは反射回析格子24の表面パラメータを変化さ
せるような生物学的に活性の被覆膜をその表面に有する
。このように、反射回析格子24の表面は、単クローン
抗体等の特定の抗体の層を支持しているか、又は特定の
抗原の層を支持していれば良い。格子の表面に抗体材料
がある場合は、格子の表面の一部に塗布される液体サン
プルの中に対応する抗原が存在すると、抗原はサンプル
が塗布されている格子の表面にある抗体と結合する結果
になり、それにより、その領域における格子表面の表面
特性が変化する。
図示されてはいないが、反射回析格子24を、まず、基
準領域(すなわち、未処理領域)を回折制限平行ビーム
22にさらし、続いて処理領域をビームにさらすように
移動させる手段が設けられる。
被覆された反射回析格子24により反射された光は、ブ
レーズされた回析格子26と、フォトダイオード30の
線形アレイ上に像を形成する第3のレンズ28とにより
分析される。
通常、アレイは、それぞれ約25マイクメートルX 2
.5 vmの大きさの素子を256個有する。
1寵につき800本の線を有するブレーズされた回析格
子と、焦点距離が75鶴であるレンズ28とを使用する
と、フォトダイオード30のアレイの256個の素子全
体について1100nの波長範囲を得ることができる。
約800nmを中心として、1100nを越える周波帯
にわたる光がブレーズされた回析格子30に入射すれば
、全てのフォトダイオードが照明されることになる。
装置は、まず、反射回析格子24の基準領域に関して、
次に、処理領域に関して、サンプルを塗布し、その結果
、抗体と抗原との結合が起こったと思われる後の吸収の
有無とその位置を決定し、それにより、結合及びその結
果として起こる反射回析格子24の表面上の材料の堆積
が原因となって発生するシフトの範囲を決定することを
目的とする。
図示されてはいないが、アレイのスタート位置に関する
スペクトル最小値の位置を決定することにより、校正後
に、ノツチの正確な波長の決定を可能にするために、フ
ォトダイオードに入射する光の有無を示す電気信号を取
出し、カウント及び曲線のあてはめ等により処理するこ
とができるように、フォトダイオード30のアレイと関
連する走査検出回路が設けられる。
フォトダイオード30のアレイ中のノツチ(存在する場
合)の正確な位置は、反射回析格子24の表面のパラメ
ータにより決定されるのみならず、回折制限平行ビーム
22の反射回析格子24への入射角によっても決定され
る。ビームを、まず、回析格子の基準領域に入射させ、
次に回析格子の処理領域に入射させるように、ビーム又
は回析格子のいずれか一方を他方に対して移動させるこ
とが必要であるので、処理領域が所定位置にあるときの
反射回析格子24の向きと、基準領域が所定位置にある
ときの反射回析格子の向きとが異なってしまう可能性は
大いにあることがわかるであろう。
この問題を解決するために、反射回析格子24における
向きの変化が比較的小さいならば、その変化を補償する
ようにブレーズされた回析格子26のパラメータを設定
しても良い。この場合、通常の状況の下では、反射回析
格子24の基準領域と処理領域との間で起こる唯一のシ
フトは、抗体と抗原との結合に起因して処理領域に材料
が堆積することによるものであるので、フォトダイオー
ド30のアレイから絶対読取りを得るために、第1図に
示されるような装置を校正することができる。
多色光のビームと反射回析格子24との角度の変化が分
光計の出力に及ぼす影響をできる限り少なくするために
必要とされるブレーズされた回析格子26のパラメータ
は次のように計算されれば良い(第7図を参照)。
波長λの光が垂線に対して角度βを成して反射回析格子
24に入射するものと考える。この光は反射回析格子2
4から反射されて、ブレーズされた回析格子26に角度
αで入射する。ブレーズされた回析格子26から反射さ
れた光は、ブレーズされた回析格子26の垂線に対して
角度θを成して第2のレンズ28に向かう。次に、光は
第3のレンズ28により、フォトダイオードプレイ30
上のレンズの28の主軸から距離Xの1点に集束される
。第7図に示される光学系の特徴を表わすために使用さ
れるパラメータは次の通りである:Do 二反射回析格
子24の周期数 D :ブレーズされた回析格子26の周期数θ :ブレ
ーズされた回析格子26の垂線と、この格子から反射さ
れる光とが成す角度θ0 :ブレーズされた回析格子2
6の垂線と、第3のレンズ28の主軸とが成す、θと同
じ方向で測定した角度 f :第3のレンズ28の焦点距離 C:反射回析格子24に対するSPHの効果を表わし、
たとえば、粒子の薄層の結合などにより反射回析格子2
4の性質が変化された場合に変化する定数 γ :入射光ビームと、ブレーズされた回析格子26の
平面とが成す角度 λがSPRを励起するような値であれば、λ/Do −
sinβ=C式1 ブレーズされた回析格子26の一次分散作用は、D(s
inθ十sinα) =λ       式2により表
わされる。フォトダイオード30のアレイは第3のレン
ズ28の焦点面にあるので、x = f tan(θ−
θ0)        式3反射回析格子24に対する
入射光ビームの方向と、ブレーズされた回析格子26の
向きは共に一定であり、従って、第7図の三角形XYZ
から、r+2β+π/2−α−π α−2β+γ−π/2       式4であることが
わかる。変化の影響を最小限に抑えるためには、 dx/dβ−dx/dθ・dθ/dβ=0   式5と
なるように格子のパラメータを設定しなければならない
0式3をθで微分すると、 d x / dθ−fsec”(θ−θO)     
式6式1及び2は、 D(sinθ+sinα) = Do(C+sinβ)
sinθ= Do/ D (C+sinβ) −5in
α   式7であることを示唆する0式4及び7は、s
inθ= Do/ D (C+sinβ)−sin(2
β−γ−π12)      弐8であることを示唆す
る。弐8をβで微分すると、cosθdθ/dβ=Do
/Dcosβ−2cos (2β+γ−π/2)  式
9式5.6及び9は、 dx/dβ −fsec”(θ −θ0)  −sec
θ (口0/Dcosβ−2cos (2β+T−π/
2)式10 であることを示唆する。すなわち、Do/Dcosβ−
2cos(2β+γ−π/2)=0であれば、dx/d
β=0となり、これは、 Do/2Dcosβ”cosα    ′  式11に
相当する。
このように、ブレーズされた回析格子26は、多色光の
ビームと反射回析格子24とが成す角度の変化の影響を
できる限り少なくするために、D及びαの値が式11を
満たすように構成され且つ配置されなければならない。
第2図には、別の好ましい構成が示されている。
この場合、第2の発光ダイオード32がNdYAG等の
希土類が添加された結晶フィルタ34と共に設けられる
。このフィルタは、関心周波帯の中で良好なリンチパタ
ーンを形成するように明確に規定された吸収特性を有し
、パターンのノツチの波長は一定であり、また、ノツチ
の存在は反射回析格子24の表面の吸収特性とは無関係
であるので、結晶フィルタ34により発生されるノツチ
パターンを計器の校正のために使用することができる。
校正ノツチを監視するために反射回析格子24の表面を
表面プラズモンモードで使用する必要がないので、結晶
フィルタ34からの光は、反射回析格子24の表面によ
り分析用のブレーズされた回析格子26に向かって単純
に反射されるように、発光ダイオード10からの光の偏
光面に対して直角に偏向されれば良い。
結晶フィルタ34が関心周波帯の中で2つの明確に規定
されたノツチを発生するならば、2つの既知の波長で発
生するノツチによって、任意の波長に関してアレイに沿
った絶対位置を決定できるばかりでなく、フォトダイオ
ード間隔ごとの波長変化を決定することもできるので、
フォトダイオードアレイ30の完全な校正を実施するこ
とが可能である。
第2図に示される装置は、通常、校正用の発光ダイオー
ド32が動作されている間に反射回析格子24の基準領
域が所定位置にあり、次に、試験領域が所定位置に配置
された後に再び発光ダイオード32が動作されるように
動作する。いずれの場合も、校正後、発光ダイオード3
2をオフし、反射回析格子24の表面からの光の分析を
実行可能とするように、発光ダイオード10をオンする
ことができる。
さらに別の好ましい実施例が第3図に示されているが、
この場合は、LEDIOの代わりに、白熱電球46が使
用され、第2の光源はミ白熱電球42及び44と、波長
フィルタ38及び40と、ビームスプリッタ36とから
構成される。波長フィルタ38及び40は、関心周波帯
の中で良好なノツチパターンを発生する異なる、明確に
規定された吸収特性を有する。上述の実施例の場合と同
様に、波長フィルタ38及び40により発生されるパタ
ーンは一定であり、反射回析格子24のパラメータとは
無関係であるので、この第2の光源を使用して装置を校
正することができる。
校正方法は、白熱電球44及び波長フィルタ40により
発生される校正ノツチと、白熱電球42及び波長フィル
タ38により発生される校正ノツチとが、それぞれ、互
いに無関係に発生されても良いことを除いて、第2図に
示される実施例に関して説明した通りである。すなわち
、たとえば、動作中に、白熱電球42と波長フィルタ3
日を使用してフォトダイオード30のアレイにより検出
される既知の波長の第1の校正ノツチを発生し、次に、
白熱電球44と波長フィルタ40を使用してフォトダイ
オード30のアレイにより検出されるべき既知の波長の
第2の校正ノツチを発生することは可能であろう。これ
ら2つの既知の波長のフォトダイオード30のアレイ上
の位置が決定されていれば、反射回析格子24上で表面
プラズモン共鳴(SPR)を励起するために白熱電球4
6が点灯されたときに、吸収光の波長の絶対値を決定す
ることができる。
しかしながら、校正ノツチを監視するために反射回析格
子24上でSPRを励起する必要はないので、白熱電球
42及び44からの光を白熱電球46からの光に対して
直角に偏光しても良い。これは、校正ノツチパターンが
反射回析格子24におけるSPRにより発生する吸収に
よって複雑にならないという点で有利である。
第4図(a)及び第4図(b)は、白熱電球42及び4
4がそれぞれ動作されており且つ試験用格子の基準領域
が所定位置にあるときのフォトダイオードアレイの出力
を示す。曲線あてはめアルゴリズムを使用すると、フィ
ルタノツチ最小値は、それぞれ、81 、81ピクセル
と、225,71ピクセルで現われることがわかる。
第4図(C)は、白熱電球46が動作されたときの試験
用格子の基準領域のプラズモン共鳴スペクトルを示す。
SPRは9,37ピクセルで起こる。校正ノツチフィル
タ最小値が767nm及び830rusの波長であると
仮定すれば、この校正により、共鳴最小値は735.2
9nmにあることがわかる。
第5図(a)及び第5図(b)は、第2の発光ダイオー
ド32が動作され、試験用格子の試験領域が所定位置に
あり且つ抗体/抗原の相互作用が起こったときのフォト
ダイオードアレイの出力を示す。この場合、フィルタノ
ツチ最小値は81 、74ピクセルと、225.72ピ
クセルでそれぞれ現れることがわかる。
第5図(c)は、関連するプラズモン共鳴スペクトルを
示すが、最小値は739.69nmの共鳴最小値に相当
する1、9 、33ビクセルにあることがわかる。
すなわち、試験領域における抗体と抗原との結合を示す
4.40nraのプラズモン共鳴シフトが起こったこと
になる。
本発明の一実施例によれば、 1)少なくともλ1からλ2までの連続する波長スペク
トルを有する偏光のビームを発生する光源と、 2)試験すべき反射回析格子に入射する、直径の小さい
回折制限平行ビームを発生する第1のレンズ手段と、 3)反射回析格子により反射された光を受取るブレーズ
された回析格子と、 4)ブレーズされた回析格子により反射される光のそれ
ぞれの成分の波長が直線フォトダイオードアレイに沿っ
たその位置を決定し、且つアレイの長さが2つの波長λ
1及びλ2により決定される位置の範囲を十分に包含す
るように反射光を多素子直線フォトダイオードアレイに
集束する第2のレンズ手段と; 5)反射回析格子の異なる領域を反射面として作用させ
るために、光ビームと反射回析格子との間に相対運動を
成立させる手段と、 を具備し、反射回析格子の吸収波長λ、はλ1からλ2
の範囲内にあるため、波長λ、の光はブレーズされた回
析格子に入射する光には含まれておらず、従って、直線
フォトダイオードアレイに入射する光のスペクトルにも
含まれていない、1つ又は複数のフォトダイオードには
光が入射されず、直線フォトダイオードアレイのそれぞ
れの素子の信号出力を決定することにより、どの素子に
光が入射されていないかを検出し、校正により、反射回
析格子の表面で吸収された光の波長を決定する手段が設
けられる、反射回析格子の表面における材料の薄い被覆
膜の有無を検出する装置が提供される。
次に記載する実施例は本発明の方法と、その試験的使用
の結果とを示す。
射出成形によりポリカーボネート回析格子(ピッチ” 
633nm 、深さ=30nm)を製造した。格子の凹
凸面に厚さ10nmのクロム層を真空蒸着により形成し
た。この層は、格子構造への金の層の接着を助長する機
能を有するが、表面ピラズモン共鳴の発生には全(無関
係である。次に、クロム層の上面に同様に真空蒸着技術
により厚さ90nmの金の膜を形成した。
SPHの亡 の′ メタライズ回析格子を第3図に示すような構成要素から
成る装置の中に配置した。49枚の格子のそれぞれにつ
いて8つのゾーンを次の方法に従って順次読取った: 格子を校正用の波長フィルタ38(最小の光の強さは7
67nm)を通した光で照明した。
格子を校正用の波長フィルタ40(最小の光の強さは8
30nm)を通した光で照明した。
SPR吸収の位置の測定を可能にするため、格子を白色
光で照明した。
いずれの場合も、反射光の強さが最低になる位置をフォ
トダイオードアレイ上のビクセル位置として記録した。
反射光の強さが最低になる点の正確な位置を曲線あては
めアルゴリズムを使用して計算した。
校正ノツチピクセル位置により、検査すべき格子の特定
のゾーンへの光の実際の入射角に関して、フォトダイオ
ードアレイを校正することができ、従って、装置内にお
ける格子のアライメントミスによるSPR吸収の位置の
ばらつきを補償することができた。
猪来 49枚の格子に関するこのような測定から得られたデー
タを第1表に示す。修正前と修正後のspR吸収の位置
の変動係数(すなわち、それぞれ、ビクセル位置と波長
値)かられかるように、SPR吸収の位置の測定におけ
る誤差は大幅に減少している。
第1表 平均   74.00  223.96  10.74
  736.67標準偏差  1.45   1.35
   2.08   0.91変動係数  1.96%
  0.60% 19.40%  0.12%範囲  
 12.25   10.28  12.06   5
.83以下余白 ■叢 −ノ・チ    る2にお番るインフメタライズ
回析格子を前述のように製造した。インフルエンザビー
ルスの血球凝集反応に対するマウスの単クローン抗体を
通常通りに形成し、腹水から親和性クロマトグラフィー
により精製した。
マウスの多クローン抗IgG抗体はロンドンのシグマ化
学会社(Sigma Chemical Compan
y、London)より入手した。標準的な方法(たと
えば、E、H,Lenmnette、 N、J、5ch
a+idt共’15 rDiagnostic Pro
ceduresfor Viral、Ricketts
ial 6nd Chlamydial Infec−
tions J第5版、A+werican Publ
ic Health As5o−ciation(ワシ
ントンDC) 、1979年刊を参照)を使、用して、
インフルエンザA型ビールスを鶏卵に培養した。
i + オ      る  ン メタライズ回析格子を校正ノツチを含む分光計装置であ
らかじめ読取り、その後、抗インフルエンザ抗体又は抗
1gG抗体のいずれかの抗体を吸着によりメタライズ回
析格子に固着させた。抗体はリン酸塩緩衝塩水(P B
 5)(0,9%のNaC1を含有する5011MのP
Oゑ−pH7,4)の中で100■/−の最終濃度とさ
れた。250dのこの溶液(抗インフルエンザ又は抗1
gG抗体)を回析格子に一様に塗布し、37℃で30分
間温装した後、回析格子をPBS(6回)と、0.05
%W/Vの洗浄剤Tween 20を含有するPBS 
(PBST) (3回)と、カゼイン加水分解物(0,
1%W/V )を含有するPBS (3回)とにより洗
浄した。余分の液体を格子から除去し、格子(抗インフ
ルエンザ又は抗1gG抗体で被覆されている)にピペッ
トで希釈ビールスを与え、その後、37℃で30分間温
装した。2回の温置中は、溶液が乾燥することのないよ
うに注意した。
2回百の温置中に、格子をPBST(6回)と、PBS
 (6回)と、脱イオン蒸留水(6回)とにより洗浄し
た。次に、格子をティッシュに排水させながら半ば直立
した位置で乾燥させ、37℃で20分間放置した。前述
のように、格子を最初の読取りと同じ順序で読取った。
これにより、格子への抗体の吸着と、ビールスと抗イン
フルエンザ抗体との特定の相互作用とに起因するSPR
吸収の位置のシフトを測定し、抗1gG抗体で被覆され
た格子により測定されるような回析格子へのビールスの
不特定結合から識別することができる。
片栗 それぞれの点を3つのスライドの平均として計算してい
る第6図に示す結果は、試験条片におけるインフルエン
ザビールスと抗インフルエンザ抗体との結合についてS
PR吸収の位置のシフトが存在し、このシフトは、ビー
ルスと抗IgG抗体被覆格子との不特定結合によるSP
R吸収のシフトよりはるかに大きいことを明瞭に表わし
ている。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による装置の一実施例を示す図、 第2図は、本発明による装置の第2の実施例を示す図、 第3図は、本発明による装置の第3の実施例を示す図、 第4a図、第4b図及び第4C図は、試験用格子の基準
領域が第3図の装置を使用して検査される場合のフォト
ダイオードプレイの出力を示す図、第5a図、第5b図
及び第5C図は、試験用格子の試験領域が第3図の装置
を使用して検査される場合のフォトダイオードアレイの
出力を示す図、第6図は、本発明による装置を使用して
実施された試験の結果を示すグラフ、及び 第7図は、反射回析格子における入射角の変化の影響を
できる限り小さくするように、ブレーズされた回析格子
をどのように構成し且つ配置すれば良いかを判定するた
めに使用される座標系を示す図である。 10・・・発光ダイオード、  12・・・偏光装置、
18・・・レンズ、 22・・・回折制限平行ビーム、 24・・・反射回析格子、 26・・・ブレーズされた回析格子、 28・・・第3のレンズ、 30・・・フォトダイオード、 32・・・第2の発光ダイオード、 34・・・希土類が添加された結晶フィルタ、36・・
・ビームスプリッタ、 38 、40・・・波長フィルタ、 42 、44 、46・・・白熱電球。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、反射構造を多色光のビームである傾斜角をもって照
    明する過程と、反射光のスペクトルを分析する過程とか
    ら成る反射構造から反射される光のスペクトルを分析す
    る方法において、反射構造と多色光のビームとが成す角
    度の変動が分析結果に及ぼす影響を最小とするように方
    法を実施することを特徴とする方法。 2、それぞれ、少なくとも1つの既知のスペクトル特性
    を有する1本又は複数本の光の基準ビームを発生するた
    めに又は前記多色光のビームに少なくとも1つの既知の
    スペクトル特性を与えるために少なくとも1つの光源が
    使用され、前記既知のスペクトル特性は、前記変動の影
    響を最小にすることができるようなものである特許請求
    の範囲第1項記載の方法。 3、前記少なくとも1つの既知のスペクトル特性は70
    0から850nmの範囲の良好な吸収ノッチパターンで
    ある特許請求の範囲第2項記載の方法。 4、前記1本又は複数本の基準ビームは、反射構造が基
    準ビームのスペクトルに影響を及ぼさないように偏光さ
    れる特許請求の範囲第2項又は第3項のいずれか記載の
    方法。 5、反射光は、分析に先立って、前記変動の影響を最小
    にすることができるように構成され且つ配置される分散
    光学素子により受容される特許請求の範囲第1項から第
    4項のいずれか1項に記載の方法。 6、前記分散光学素子はブレーズされた回折格子である
    特許請求の範囲第5項記載の方法。 7、前記反射構造は回折格子である特許請求の範囲第1
    項から第6項のいずれか1項に記載の方法。 8、前記反射構造には生物学的に活性である材料が直接
    に又は間接的に結合又は吸着されている特許請求の範囲
    第1項から第7項のいずれか1項に記載の方法。 9、多色光の偏光ビームが使用され、偏光の方向は、反
    射構造が反射光のスペクトルに最大の影響を与えるよう
    なものである特許請求の範囲第1項から第8項のいずれ
    か1項に記載の方法。 10、(i)多色光のビームを発生することができる光
    源と;(ii)使用中に、多色光のビームを反射構造に
    ある傾斜角をもって供給する手段と;(iii)使用中
    に、反射光のスペクトルを分析する分析手段と;(iv
    )使用中に、反射構造と多色光のビームとが成す角度の
    変動が分析手段の出力に及ぼす影響を最小にする手段と
    を具備する装置。 11、前記変動の影響を最小にする手段は、それぞれ、
    少なくとも1つの既知のスペクトル特性を有する1本又
    は複数本の光の基準ビームを発生することができるか又
    は前記多色光のビームに少なくとも1つの既知のスペク
    トル特性を与えることができる1つの又は複数の光源か
    ら構成され、既知のスペクトル特性は、前記変動の影響
    を最小にすることができるように装置の校正を可能にす
    るようなものである特許請求の範囲第10項記載の装置
    。 12、前記少なくとも1つの既知のスペクトル特性とし
    て、700から850nmの範囲の良好な吸収ノッチパ
    ターンを発生する手段を含む特許請求の範囲第11項記
    載の装置。 13、前記吸収の良いノッチパターンを発生する手段は
    希土類が添加された結晶(クリスタル)である特許請求
    の範囲第12項記載の装置。 14、前記変動の影響を最小にする手段は、前記変動の
    影響が最小となるように構成され且つ配置される分散光
    学素子から構成される特許請求の範囲第10項記載の装
    置。 15、分散光学素子はブレーズされた回折格子である特
    許請求の範囲第14項記載の装置。 16、多色光のビームを供給する手段は回折制限平行ビ
    ームを供給する手段から構成される特許請求の範囲第9
    項から第15項のいずれか1項に記載の装置。 17、分析手段は多素子線形感光アレイから構成される
    特許請求の範囲第10項から第16項のいずれか1項に
    記載の装置。 18、前記多素子線形感光アレイに沿った素子位置にお
    ける照度のレベルを測定するために前記多素子線形感光
    アレイを走査し且つ問合せる手段を具備する特許請求の
    範囲第17項記載の装置。 19、1)少なくともλ_1からλ_2までの連続する
    波長スペクトルを有する偏光されたビームを発生する光
    源と; 2)試験すべき反射回折格子に入射する直径の小さい回
    折制限平行ビームを発生する第1のレンズ手段と; 3)反射回折格子により反射された光を受容するブレー
    ズされた回折格子と; 4)ブレーズされた回析格子により反射される光のそれ
    ぞれの成分の波長が線形フォトダイオードアレイに沿っ
    たその位置を決定し、且つアレイの長さが2つの波長λ
    _1及びλ_2により決定される位置の範囲を十分に包
    含するように反射光を多素子線形フォトダイオードアレ
    イに集束する第2のレンズ手段と; 5)反射回折格子の異なる領域を反射面として作用させ
    るために、光ビームと反射回折格子との間に相対運動を
    成立させる手段と; を具備し、反射回折格子の吸収波長λ_3はλ_1から
    λ_2の範囲内にあるため、波長λ_3の光はブレーズ
    された回折格子に入射する光には含まれておらず、従っ
    て、直線フォトダイオードアレイに入射する光のスペク
    トルにも含まれていおらず、1つ又は複数のフォトダイ
    オードは光を受容せず、線形フォトダイオードアレイの
    それぞれの素子の信号出力を決定することにより、どの
    素子に光が入射されていないかを検出し、校正により、
    反射回折格子の表面で吸収された光の波長を決定する手
    段が設けられる、反射回折格子の表面における材料の薄
    い被覆膜の有無を検出する装置。
JP62184701A 1986-07-25 1987-07-25 スペクトル分析方法及び装置 Expired - Lifetime JP2511057B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8618159 1986-07-25
GB868618159A GB8618159D0 (en) 1986-07-25 1986-07-25 Spectrometer based instruments

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6381226A true JPS6381226A (ja) 1988-04-12
JP2511057B2 JP2511057B2 (ja) 1996-06-26

Family

ID=10601663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62184701A Expired - Lifetime JP2511057B2 (ja) 1986-07-25 1987-07-25 スペクトル分析方法及び装置

Country Status (10)

Country Link
US (1) US4828387A (ja)
EP (1) EP0255302B1 (ja)
JP (1) JP2511057B2 (ja)
AT (1) ATE106555T1 (ja)
AU (1) AU598007B2 (ja)
CA (1) CA1301470C (ja)
DE (1) DE3789923T2 (ja)
ES (1) ES2053545T3 (ja)
GB (1) GB8618159D0 (ja)
IL (1) IL83280A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004059300A1 (ja) * 2002-12-24 2004-07-15 Kubota Corporation 果菜類の品質評価装置
JP2013040799A (ja) * 2011-08-11 2013-02-28 Canon Inc 分光測色器、および画像形成装置
JP2020115125A (ja) * 2017-06-08 2020-07-30 ウシオ電機株式会社 広帯域パルス光源ユニット、広帯域パルス光における時間と波長との対応付け方法、及び分光測定装置

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8620193D0 (en) * 1986-08-19 1986-10-01 Emi Plc Thorn Chemical sensor
FI875236A (fi) * 1987-11-27 1989-05-28 Outokumpu Oy Maetningsgivare foer baerbar analysator.
US5478755A (en) * 1988-07-25 1995-12-26 Ares Serono Research & Development Ltd. Long range surface plasma resonance immunoassay
DE3909144A1 (de) * 1989-03-21 1990-09-27 Basf Ag Verfahren zur bestimmung von brechungsindex und schichtdicke duenner schichten
US5830766A (en) * 1990-05-23 1998-11-03 Ares-Serono Research & Development Ltd. Partnership Enhanced signal-to-noise ratio and sensitivity optical immunoassay
GB9406142D0 (en) * 1994-03-28 1994-05-18 British Tech Group A sensor
US5955378A (en) * 1997-08-20 1999-09-21 Challener; William A. Near normal incidence optical assaying method and system having wavelength and angle sensitivity
US5925878A (en) * 1997-08-20 1999-07-20 Imation Corp. Diffraction anomaly sensor having grating coated with protective dielectric layer
US5994150A (en) * 1997-11-19 1999-11-30 Imation Corp. Optical assaying method and system having rotatable sensor disk with multiple sensing regions
US5986762A (en) * 1998-06-15 1999-11-16 Imation Corp. Optical sensor having optimized surface profile
US6320991B1 (en) 1998-10-16 2001-11-20 Imation Corp. Optical sensor having dielectric film stack
US6771376B2 (en) * 1999-07-05 2004-08-03 Novartis Ag Sensor platform, apparatus incorporating the platform, and process using the platform
PT1192448E (pt) 1999-07-05 2007-01-31 Novartis Ag Processo para a utilização de uma plataforma de sensor
US7167615B1 (en) 1999-11-05 2007-01-23 Board Of Regents, The University Of Texas System Resonant waveguide-grating filters and sensors and methods for making and using same
AU2001281632A1 (en) 2000-08-09 2002-02-18 Artificial Sensing Instruments Asi Ag Waveguide grid array and optical measurement arrangement
US6898537B1 (en) * 2001-04-27 2005-05-24 Nanometrics Incorporated Measurement of diffracting structures using one-half of the non-zero diffracted orders
US7151597B2 (en) * 2003-12-05 2006-12-19 Agilent Technologie, Inc Optical wavelength standard and optical wavelength calibration system and method
US7158240B2 (en) * 2004-06-16 2007-01-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Measurement device and method
DE102004033869B3 (de) * 2004-07-13 2006-03-30 Gesellschaft zur Förderung der Spektrochemie und angewandten Spektroskopie e.V. Verfahren zur Bestimmung von Oberflächenplasmonenresonanzen an zweidimensionalen Messflächen
US20110267623A1 (en) * 2009-11-02 2011-11-03 Matejka Steven R Multi-Wavelength Reference Microplate For Label-Independent Optical Reader
US9541998B2 (en) * 2015-01-29 2017-01-10 Samsung Electronics Co., Ltd. Electronic system with gaze alignment mechanism and method of operation thereof
JPWO2021193589A1 (ja) * 2020-03-23 2021-09-30

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5410576A (en) * 1978-01-06 1979-01-26 Hitachi Ltd Washer
JPS60194331A (ja) * 1984-02-24 1985-10-02 ライボルト・アクチェンゲゼルシャフト 分光光度計

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3985442A (en) * 1974-06-07 1976-10-12 Gte Sylvania Incorporated Data acquisition system for spectrophotometer
US3973849A (en) * 1975-06-16 1976-08-10 International Business Machines Corporation Self-calibratable spectrum analyzer
DE2655272A1 (de) * 1976-12-07 1978-06-08 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Spektralfotometeranordnung
US4207467A (en) * 1978-09-05 1980-06-10 Laser Precision Corp. Film measuring apparatus and method
US4345840A (en) * 1980-04-08 1982-08-24 California Institute Of Technology Method and apparatus for instantaneous band ratioing in a reflectance radiometer
AU543052B2 (en) * 1981-04-27 1985-03-28 Hajime Industries Ltd. Object inspection device
FR2510254A1 (fr) * 1981-07-21 1983-01-28 Guillaume Michel Procede et dispositif de mesure de temperature utilisant un reseau de diffraction
DE3224736A1 (de) * 1982-07-02 1984-01-05 Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co GmbH, 7770 Überlingen Gitterspektrometer
US4664522A (en) * 1984-08-24 1987-05-12 Guided Wave, Inc. Optical waveguide spectrum analyzer and method
JPS61217705A (ja) * 1985-03-22 1986-09-27 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 膜厚測定装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5410576A (en) * 1978-01-06 1979-01-26 Hitachi Ltd Washer
JPS60194331A (ja) * 1984-02-24 1985-10-02 ライボルト・アクチェンゲゼルシャフト 分光光度計

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004059300A1 (ja) * 2002-12-24 2004-07-15 Kubota Corporation 果菜類の品質評価装置
US7316322B2 (en) 2002-12-24 2008-01-08 Kubota Corporation Quality evaluation apparatus for fruits and vegetables
JP2013040799A (ja) * 2011-08-11 2013-02-28 Canon Inc 分光測色器、および画像形成装置
JP2020115125A (ja) * 2017-06-08 2020-07-30 ウシオ電機株式会社 広帯域パルス光源ユニット、広帯域パルス光における時間と波長との対応付け方法、及び分光測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
ATE106555T1 (de) 1994-06-15
EP0255302A2 (en) 1988-02-03
JP2511057B2 (ja) 1996-06-26
DE3789923T2 (de) 1994-09-08
US4828387A (en) 1989-05-09
ES2053545T3 (es) 1994-08-01
CA1301470C (en) 1992-05-26
DE3789923D1 (de) 1994-07-07
IL83280A (en) 1990-11-05
AU598007B2 (en) 1990-06-14
EP0255302A3 (en) 1989-10-18
EP0255302B1 (en) 1994-06-01
IL83280A0 (en) 1987-12-31
GB8618159D0 (en) 1986-09-03
AU7600687A (en) 1988-01-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2511057B2 (ja) スペクトル分析方法及び装置
US7495762B2 (en) High-density channels detecting device
US5581350A (en) Method and system for calibrating an ellipsometer
KR100917912B1 (ko) 단일 편광자 초점 타원계측기
US8705039B2 (en) Surface plasmon resonance sensor using vertical illuminating focused-beam ellipsometer
JPS6331730B2 (ja)
JP2005530144A (ja) 単一構造の光学測定法
JPH10507833A (ja) 分光偏光解析装置
JPH06300683A (ja) 伝搬特性測定プロセス及び装置
US20090253214A1 (en) Method of optical detection of binding of a material component to a sensor substance due to a biological, chemical or physical interaction and apparatus for its embodiment (variants)
EP0632256A1 (en) Micropolarimeter, microsensor system and method of characterizing thin films
KR100425412B1 (ko) 물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치
JP2002005823A (ja) 薄膜測定装置
JP2001512821A (ja) マイクロ偏光計
US6850333B1 (en) Optimized aperture shape for optical CD/profile metrology
JP3711535B2 (ja) 画像分光測定装置
JP2006071381A (ja) 薄膜計測装置
JPH06331320A (ja) 膜厚測定装置
KR20040030066A (ko) 분광법 및 이 분광법 (실시예) 을 수행하기 위한 장치
JPH0675035B2 (ja) 反射率測定装置
GB2237378A (en) Measurement or spectra
JP2943236B2 (ja) 全反射吸収スペクトル測定装置
JP3365881B2 (ja) レンズの屈折率検査装置
JP2006220582A (ja) センシング装置
JPH07270145A (ja) 平面度測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080416

Year of fee payment: 12