JPS6379964A - 基板ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えば真空装置全般に用いられる基板ホルダに
関する。

〔従来の技術及びその問題点〕

第７図及び第８図は従来例の基板ホルダを示すものであ
るが、７ランジ付シヤフト（１）のフランジ部には円板
状の取付台（２）が皿ねじ（３）により固定されている
。取付台（２）の上に基板（４）が載置され、その開口
（４ａ）に取付部材（５）を配設し、これをボルト（６
）によシ取付台（２）に固定することにより、その周縁
部で基板（４）の内周縁部を取付台（２）に固持してい
る。また、基板（４）の外周縁部にはカバーリング（７
）が尚てられ、これがボルト（８）によシ取付台（２）
に固定されることによシ基板（４）の外周縁部が取付台
（２）に対し固持されている。

以上のようにして基板（４）は取付台（２）に固持され
、基板（４）の上に何らかの薄膜が形成されるのである
が、この形成後、基板（４）を取フ外すときには各ボル
ト（６）　（８）を取シ外さなければならない。すなわ
ち基板（４）の脱着にはー々多数のポル｝　（ｅ）　（
ｓ）を締めつけたシ、ゆるめたシしなければならず、作
業効率が悪く、生産性が低い。

特に、基板（４）を薄膜形成後、ポル｝　（６）　（８
）をゆるめるときには、ポル｝　（ａ）　（８）の工具
による回動操作のときにカバーリング（７）や取付部材
（５）がふらつく。

これによりこれら部材のエツジ部で薄膜が損傷を受ける
恐れがある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記問題に鑑みてなされ、基板の脱着作業が簡
単で生産性を向上させ、また基板の表面に形成した薄膜
を基板の脱時に損傷することがない基板ホルダを提供す
ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

以上の目的は、本発明の第ｌ発明によれば、÷少なくと
も一つの孔を有する基板取付台；該孔の内壁に各角部が
止着される略３角形又は略多角形の線材又は帯材から成
るスプリング部材；平面部及びこれからほゾ垂直に延在
する突出部から成る基板取付部材；から成り、開口を有
する基板を前記基板取付台に前記開口が前記孔に整列す
るように載置し、前記基板取付部材の突出部を前記開口
を通って前記孔に挿入させ前記スプリング部材のばね力
で保持させることによ９前記基板を前記基板取付部材の
平面部で前記基板取付台上に固持するようにしたことを
特徴とする基板ホルダによって達成される。

また、本発明の第２発明によれば、円形の基板取付台；
該基板取付台の周壁部に形成された複数の凹所にそれぞ
れ収容されたボール及びこれを外方に付勢するばね；環
状の平面部及びこれから垂直に延在し、内周面にボール
係合部を形成させた環状の周壁部から成る基板取付部材
から成り、前記基板取付部材を前記基板取付台にその周
壁部で嵌合させて、前記ボールを前記ボール係合部に係
合させることによシ、前記基板取付台に固持すると共に
前記基板取付部材の平面部で、前記基板取付台上に載置
された基板の周縁部を固持するようにしたことを特徴と
する基板ホルダによって達成される。

また、本発明の第３発明によれば、少なくとも一つの孔
を有する円形の基板取付台；該孔の内壁に各角部が止着
される略３角形又は略多角形の線材又は帯材から成るス
プリング部材；平面部及びこれからほゞ垂直に延在する
突出部から成る第１基板取付部材；前記基板取付台の周
壁部に形成された複数の凹所にそれぞれ収容されたボー
ル及びこれを外方に付勢するばね；環状の平面部及びこ
れから垂直に延在し、内周面にボール係合部を形成させ
た環状の周壁部から成る第２基板取付部材から成フ、開
口を有する基板を前記基板取付台に前記開口が前記孔に
整列するように載置し、前記第１基板取付部材の突出部
を前記開口を通って前記孔に挿入させ前記スプリング部
材のばね力で保持させることによシ前記基板を前記基板
取付部材の平面部で前記基板取付台上に固持するように
しかつ前記第２基板取付部材を前記基板取付台にその周
壁部で嵌合させて、前記ボールを前記ボール係合部に係
合させることによシ、前記基板取付台に固持すると共に
前記第２基板取付部材の平面部で、前記基板取付台上に
載置された基板の周縁部を固持するようにしたことを特
徴とする基板ホルダによって達成される。

〔作　　用〕

第１発明では、基板取付部材を基板取付台の孔に押圧挿
入するだけで、それ自体は基板取付台にスプリング部材
のばね力によυ固持されると共に、その平面部で基板を
基板取付台に固持することができる。基板を取シ外すと
きには基板取付部材を引張り出せばよい。

第２発明では基板取付台の基板を載置させている側から
基板取付部材を基板取付台に嵌合、押圧することによシ
ボールがボール係合部に係合し、基板取付部材は、これ
により位置決めされると共にボールを付勢するばねのば
ね力を受けて基板取付台に固持されると共に、その環状
の平面部で基板取付台に載置されている基板の周縁部を
固持することができる。基板を取り外すときには基板取
付部材を嵌合させたときと逆方向に引張シ出せばよい。

第３発明では、第１基板取付部材を基板取付台の孔に抑
圧挿入するだけで、それ自体は基板取付台にスプリング
部材のばね力により固持されると共に、その平面部で基
板を基板取付台に固持することができ基板取付台の基板
を載置させている側から第２基板取付部材を基板取付台
に嵌合、押圧することによりボールがボール係合部に係
合し、第２基板取付部材はこれにより位置決めされると
共にボールを付勢するばねのばね力を受けて基板取付台
に固持されると共に、その環状の平面部で基板取付台に
載置されている基板の周縁部を固持することができる。

基板を取り外すときには第２基板取付部材を嵌合させた
ときと逆方向に第１基板取付部材及び第２基板取付部材
を引張り出せばよい。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例による基板ホルダにつき第１図乃
至第６図を参照して説明する。

図において、フランジ付シャフ）　（１１）のフランジ
部には円板状の取付台（２）が皿ねじ（至）により固定
されている。本実施例ではフランジ付シャフトση及び
取付台いは軽量の材料、例えばアルミニウム系材料から
成っている。取付台（２）の上にはディスク状の基板α
荀が載置され、後述する方法で中央取付部材（至）及び
周縁取付部材α力により取付台（ロ）に固持されている
。

取付台□□□の中央部には段付孔（１２ａ）が形成され
、これに受は部材（４）が嵌着され、皿ねじＣ４〕によ
り取付台（２）に対し固定される。受は部材（４）は取
付台（６）とは異種の材料で成シ、例えばステンレスか
ら成っている。受は部材（４）には第４Ａ図及び第４Ｂ
図に明示されるように中心に段付孔（１６ａ）が形成さ
れておシ、この大径孔部の内壁面に環状の溝（１６ｂ）
が形成されている。線材から成る三角形状のスプリング
部材のはその角部が溝（１６ｂ）に係合することにより
受は部材（４）に取シ付けられる。

取付台（イ）の外周壁部には複数の凹所−が形成され、
これに挿入したケーシングＱ１１内にはばねのとボール
のとが収容されている。ケーシング（２１１は第２図に
明示されるように尚金翰を取付台（６）にボルト（財）
によシ固定することにより取付台（ロ）に対し固持され
る。ケーシング咀の外端部には開口が形成され、こ＼か
らばね◎で付勢されたボール囚）の−部が突出している
。

中央取付部材（４）は第５Ｂ図に明示するような形状を
有し、中央につまみ部（１５ａ）、これから外方に延び
る平面部（ｘ５ｂ）及び該平面部（１５ｂ）から垂直方
向に延びる突出部（１５Ｃ）から成っており、後述する
ように突出部（１５ｃ）が上述のスプリング部材（２５
１のばね力で取付台０功に固持されることによシ、その
平面部（ｘｓｂ）で基板α（４）の内周縁部が固持され
るようになっている。

周縁取付部材α力はリング状であるが、第３図に明示す
るような断面形状を有し、環状の平面部（１７ａ）及び
これから垂直に延在する環状の周壁部（１７ｂ）から成
っており、周壁部（ｘ７ｂ）の内周壁面には環状の溝（
１７ｃ）ｉｊ影形成れ、これに上述のボール［有］が係
合することにより周縁取付部材αηは位置決めされると
共にばね（２２１のばね力で取付台（２）に固持される
と共に、その平面部（１７ａ）で基板αａの外周縁部（
Ｊ４ａ）を固持するようになっている。

本発明の実施例による基板ホルダは以上のように構成さ
れるが、次にこの作用、効果などについて説明する。

まず、基板ａ＜を取付台（２）に固持する場合について
説明する。第１図〜第３図、第５人図、第５Ｂ図は基板
（ｌＬ滲を固持している状態を示しているが、第４Ａ図
、第４Ｂ図及び第６図は固持していないすなわち中央取
付部材（ト）及び周縁取付部材α力が取付台亜から離脱
されている状態を示している。

ディスク状の基板α■の中心孔（１４ｂ）が第４Ｂ図に
明示される受は部材（４）の上部周壁（１６ｄ）に嵌め
られ、基板α→の取付台（６）に対する位置決めが行わ
れる。次いで、第６図に示す位置関係で、すなわち受は
部材（至）の段付孔（１６ａ）、基板σａの中心孔（１
４ｂ）が整列した状態で、上方から中央取付部材（ハ）
がつまみ部（１５ａ）を作業者がつまんでその突出部（
１５ｃ）を段付孔（１６ａ）に押圧、挿入される。第５
Ｂ図に示すように突出部（１５ｃ）の先端小径部は段付
孔（１６ａ）の小径孔部に嵌合し、突出部（１５ｃ）の
大径部が段付孔（１６ａ）の段部に当接することにより
中央取付部材（ト）の上下方向の位置決めが行われる。

第５Ａ図に示すようにスプリング部材Ｑ５１は突出部（
１５Ｃ）により押し拡げられ、このはね復原力により突
出部（１５ｃ）すなわち中央取付部材（１０は取付台（
６）に対し固持されることになる。また、その平面部（
１５ｂ）と取付台（６）の上面との間に基板に）の内周
縁部が挾持されることによシ、基板α弔は取付台（２）
に対し固持される。

次いで周縁取付部材αηがその周壁部（１７ｂ）を下方
にして基板α→側から取付台（６）に嵌合され、ボール
器を付勢するばね１２２のばね力に抗して下方へと押圧
される。これによシボール＠は周壁部（１７ｂ）の内周
壁面に形成した溝（１７ｃ）に嵌り込み、周縁取付部材
σ〃はその上下方向において位置決めが行われると共に
取付台（２）に対し固持される。かつまたその平面部（
１７ａ）と取付台（６）の上面との間に基板αΦの外周
縁部（１４ｇ）が第３図に示すように挾持されることに
より、基板α４）は取付台（２）に対し固持される。

以上によシ基板（Ｌ４）は内周縁部及び外周縁部で取付
台盤に対し固持されるのであるが、上述したように中央
取付部材に）は受は部材（イ）の段付孔（１６ｃ）に押
圧、挿入し、周縁取付部材（ロ）は取付台（ロ）に嵌合
し、押動させるだけで、これら部材（ｌｆ９αηは取付
台（６）に対し固持され、かつ基板α４の内、外周縁部
を取付台（６）に固持することができるので、従来のよ
うに多数のボルトをねじ孔に螺合し、これを工具で締め
つけることによシ基板を固持させるのと比べると取付は
作業は本実施例の方がはるかに簡単である。また、何ら
工具を必要としない。いわゆるワンタッチ方式で取シ付
けることができる。

次に、第１図に示されるように基板α４）を固持してい
る状態から、取り外す場合について説明する。

図示せずとも何らかのＣＶＤ装置で第１図に示す状態で
基板αくには薄膜が形成されているものとする。

また周縁取付部材αηは周壁部（１７りをもって上方へ
と引っ張られる。第３図に示すようなボールのと溝（１
７ｃ）との保合が外され、周縁取付部材αηはワンタッ
チで取付台（イ）から取ｐ除かれる。よって基板Ｃ１４
）のその外周縁部（１４ａ）は自由となる。

次いで、中央取付部材ｃｌのをそのつまみ部（１５ａ）
をつまんで上方に引張り出すことによシ、すなわちワン
タッチでこれは取付台（２）から取り除かれる。

基板α→の内周縁部も自由となり、よって基板ａΦは完
全に固持の状態から解放されることになる。

以上述べたように基板ａΦを取り出す場合にも各部材（
へ）α力を上方に引張り出すだけのワンタッチ操作だけ
で、これらは取９出され、かつ基板α→は固持の状態か
ら解放されるので、基板α荀の取出し作業も極めて簡単
である。従来例では多数のボルトを工具をつかって、ゆ
るめて取り除かなければならず、作業工数も多く、生産
性がわるかったが、本実施例により基板α弔の脱着作業
は極めて簡単なものとなる。

また大きな効果としては、薄膜を形成させた基板０夷を
取付台＠から取シ外すときに薄膜に殆んど傷をつけるこ
となく、あるいは、はくシさせることなく取付部材（ハ
）α力を取り外せることができることである。従来例で
はボルトを工具でゆるめるときにカバーリング（７）又
は取付部材（５）がふらつく。

これにより、これら部材の縁部で薄膜を損傷させたυ、
はくすさせたりすることがあったが、本実施例では工具
を用いず、ワンタッチ方式で手で取ｔ　１５　　） 何部材（イ）α力を一方向に引張るだけでよいので薄膜
を損傷させたｐｌはくすすることは殆んどない。

特に、従来例では損傷やはくりをしないようにボルトを
ゆるめようとするならば、作業が遅くなり、生産性を更
に低下させていたが、本実施例では、このような気づか
いは不要であシ、作業能率を大巾に向上させることがで
きる。

寸だ本実施例によれば、両数付部材（ハ）（１７）とも
上下方向に一定に位置決めされて取付台０２に固持され
るので、基板Ｃ１４）の厚さが一定である限り、常に一
定の締めつけ力で固持することができ、いわゆる成膜時
のまわり込み現象を防止することができる。従来例のよ
うにボルトで締めつけるときには作業者によって締めつ
け力が変動する。これによって基板の締めつけ力が変動
して、場合によっては取付部材と基板との間にすき間が
生ずることもある。これでは所望の成膜ができない。然
るに本実施例では作業者によって締めつけ力が変動する
ことなく常に一定とすることができる。

以上、本発明の実施例について説明したが、勿、　１６
　　− 輪木発明はこれに限定されることなく本発明の技術的思
想にもとづき種々の変形が可能である。

例えば以上の実施例では基板α→はその内周縁部及び外
周縁部においてそれぞれ中央取付部材αＯ及び周縁部取
付部材ａカによって取付台（６）に対し固持されるよう
にしたが、場合によっては基板（ロ）の内周縁部のみ中
央取付部材（へ）によシ固持するようにしてもよい。あ
るいは外周縁部のみを周縁部取付部材αηにより固持す
るようにしてもよい。

あるいは内周縁部は本実施例の中央取付部材（ハ）によ
シ固持し、外周縁部は従来例のようにして固持するよう
にしてもよい。あるいは基板α→の外周縁部は実施例の
周縁部取付部材α力によシ固持し、内周縁部は従来例の
方法で固持するようにしてもよい。

また以上の実施例では基板α４の内周縁部を中央取付部
材（至）により固持するようにしたがこれにかえて基板
α優の中心孔に同心的な円上に複数の本実施例に示すよ
うな段付孔（１６ａ）及び受は部材（４）を取付白亜に
設けこれらに実施例の中央取付部材（ト）に対応するよ
うな部材を押し込み実施例のスプリング部材で示すよう
なスプリングのばね力によυこれら取付部材を固持し基
板α４を取付台（６）に対し固持するようにしてもよい
。

また以上の実施例では周縁部取付部材α力を取付台（２
）に固持するのにばね及びこれによｐ付勢されるボール
のによシ取付台更に固持するようにしボール＠は取付部
材α力の内周壁に形成した溝（１７ｃ）に係合させるこ
とによシ取付部材αカを位置決めし固持するようにした
がこのボール（２３）が係合する溝（１７ｃ）にかえて
複数箇所に係合凹所を形成するようにしてもよい。この
場合には周縁部取付部材α力は周方向においても位置決
めされることになる。

しかしながらばね力によシ固持されることには相違しな
い。

また以上の実施例ではスプリング部材（２９は三角形状
であシ閉ループ状となっているが一部に切欠きがあって
もかまわない。又三角形状でなく四角形、五角形と多角
形でもかまわない。又以上のスフ’　ＩＪング部材いは
線材を用いているが帯材を用いて同様な形状のスプリン
グ部材を形成するようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上述べた様に本発明の基板ホルダによればワンタッチ
方式で基板を取付台に固持することが出来、その取付作
業は極めて簡単であシ、且つ従来見られた様に基板を取
ｐ外す時にその上に形成した薄膜を損傷させたフ剥離さ
すような事は殆んど無く、このような気遣いをすること
なく迅速に取出し作業を行うことが出来るので生産性を
極めて向上させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例による基板ホルダの断面図であ
って基板を取付けた状態を示す断面図、第２図は同背面
図、第３図は要部の拡大断面図、第４Ａ図は基板を取付
けない状態での他要部の平面図、第４Ｂ図は第４人図の
断面図、第５Ａ図は基板を取付けた状態での他要部の断
面側面図、第５Ｂ図は第５Ａ図の断面図、第６図は他要
部とこれに関連する部分の分解拡大斜視図、第７図は従
来例の基板ホルダの断面図及び第８図は同背面図である
。 なお図において、

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも一つの孔を有する基板取付台；該孔の
   内壁に各角部が止着される略３角形又は略多角形の線材
   又は帯材から成るスプリング部材；平面部及びこれから
   ほゞ垂直に延在する突出部から成る基板取付部材；から
   成り、開口を有する基板を前記基板取付台に前記開口が
   前記孔に整列するように載置し、前記基板取付部材の突
   出部を前記開口を通つて前記孔に挿入させ前記スプリン
   グ部材のばね力で保持させることにより前記基板を前記
   基板取付部材の平面部で前記基板取付台上に固持するよ
   うにしたことを特徴とする基板ホルダ。
2. （２）円形の基板取付台；該基板取付台の周壁部に形成
   された複数の凹所にそれぞれ収容されたボール及びこれ
   を外方に付勢するばね；現状の平面部及びこれから垂直
   に延在し、内周面にボール係合部を形成させた環状の周
   壁部から成る基板取付部材から成り、前記基板取付部材
   を前記基板取付台にその周壁部で嵌合させて、前記ボー
   ルを前記ボール係合部に係合させることにより、前記基
   板取付台に固持すると共に前記基板取付部材の平面部で
   、前記基板取付台上に載置された基板の周縁部を固持す
   るようにしたことを特徴とする基板ホルダ。
3. （３）前記ボール係合部は環状の溝であることを特徴と
   する前記特許請求の範囲第２項に記載の基板ホルダ。
4. （４）少なくとも一つの孔を有する円形の基板取付台；
   該孔の内壁に各角部が止着される略３角形又は略多角形
   の線材又は帯材から成るスプリング部材；平面部及びこ
   れからほゞ垂直に延在する突出部から成る第１基板取付
   部材；前記基板取付台の周壁部に形成された複数の凹所
   にそれぞれ収容されたボール及びこれを外方に付勢する
   ばね；環状の平面部及びこれから垂直に延在し、内周面
   にボール係合部を形成させた環状の周壁部から成る第２
   基板取付部材から成り、開口を有する基板を前記基板取
   付台に前記開口が前記孔に整列するように載置し、前記
   第１基板取付部材の突出部を前記開口を通つて前記孔に
   挿入させ前記スプリング部材のばね力で保持させること
   により前記基板を前記基板取付部材の平面部で前記基板
   取付台上に固持するようにしかつ前記第２基板取付部材
   を前記基板取付台にその周壁部で嵌合させて、前記ボー
   ルを前記ボール係合部に係合させることにより前記基板
   取付台に固持すると共に前記第２基板取付部材の平面部
   で、前記基板取付台上に載置された基板の周縁部を固持
   するようにしたことを特徴とする基板ホルダ。
5. （５）前記ボール係合部は環状の溝であることを特徴と
   する前記特許請求の範囲第４項に記載の基板ホルダ。