JPS6379311A - Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same - Google Patents

Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same

Info

Publication number
JPS6379311A
JPS6379311A JP17205286A JP17205286A JPS6379311A JP S6379311 A JPS6379311 A JP S6379311A JP 17205286 A JP17205286 A JP 17205286A JP 17205286 A JP17205286 A JP 17205286A JP S6379311 A JPS6379311 A JP S6379311A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
etching
electrode foil
bumps
foil
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17205286A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
老田 昌弘
佐藤 富
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP17205286A priority Critical patent/JPS6379311A/en
Publication of JPS6379311A publication Critical patent/JPS6379311A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Abstract] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電解コンデンサ用電極箔とその製造方法に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to an electrode foil for electrolytic capacitors and a method for manufacturing the same.

従来の技術 電解コンデンサ用の電極箔は、コンデンサの小型化およ
び大容量化をねらいとして、従来からその表面をできる
限り巧妙にエツチングして表面積を増加する方法が行な
われてきた。たとえば、特公昭57−17080号公報
には、電極箔に陽極酸化を施してからエツチングを行な
う方法、特公昭60−38861号公報には、多段階エ
ツチング法で電極箔の拡面化を行なう方法、また、特開
昭55−11364号公報にはトリポリりん酸塩中でエ
ツチングする方法が知られている。さらには、特開昭6
1−5187号公報および同じく特開昭61−5188
号公![こは、アルミニウム箔の表面に、電解エツチン
グ液に対して耐性を有し、かつ、エツチング核を形成す
べき多数の微細孔の形成された耐性被膜が一体的に付着
されてなる電解コンデンサ用アルミニウム電極材、また
微細孔の形成にあたっては、アルミニウム箔の表面に、
金属若くは非金属の微粒子を混入した被覆材を塗布した
後、微粒子を除去することにより、多数の微細孔の形成
された耐久被膜を形成できることが開示されている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Conventional techniques have conventionally been used to increase the surface area of electrode foils for electrolytic capacitors by etching their surfaces as skillfully as possible, with the aim of making capacitors smaller and larger in capacity. For example, Japanese Patent Publication No. 57-17080 discloses a method in which electrode foil is anodized and then etched, and Japanese Patent Publication No. 60-38861 discloses a method for enlarging the surface of electrode foil using a multi-step etching method. Furthermore, a method of etching in tripolyphosphate is known from JP-A-55-11364. Furthermore, the JP-A-6
Publication No. 1-5187 and also JP-A-61-5188
Lord! [This is an electrolytic capacitor in which a resistant film that is resistant to electrolytic etching liquid and has a large number of micropores that form etching nuclei is integrally adhered to the surface of an aluminum foil.] When forming aluminum electrode materials and micropores, on the surface of aluminum foil,
It is disclosed that a durable coating having a large number of micropores can be formed by applying a coating material containing fine particles of metal or non-metal and then removing the fine particles.

発明が解決しようとする問題点 従来の技術のうち、はじめの3つの発明が開示している
如き構成では、電極箔の表面は、エツチングにさいして
は、つねにエツチング液に一様に接触しておりその結果
、どうしても第2図に示すような過剰エツチング6を実
質的に防ぎ得るものではなく、粗面化の程度はわるいも
のとなる。また、あとの2つの発明による構成では、コ
ンデンサ電極材にフォトレンジストの如きエソチンダ液
に対して非溶性、耐食性の被膜をアルミニウム上に付着
させると、エツジング後にレジスト膜を除去する工程が
必須のものとなり、そのさい、除去液に浸漬すると、す
でに微細にエツチングを施されたアルミニウム電極材の
内部にレジストの成分が入り込んでくるために、その除
去に手間がかかり、その上、十分な除去はきわめてむつ
かしく、その結果コンデンサ特性の低下を招く原因とも
なる。
Problems to be Solved by the Invention Among the conventional techniques, in the structure disclosed in the first three inventions, the surface of the electrode foil is always in uniform contact with the etching solution during etching. As a result, excessive etching 6 as shown in FIG. 2 cannot be substantially prevented, and the degree of surface roughening becomes poor. In addition, in the configurations according to the latter two inventions, when a film such as photoresist that is insoluble in ethostyrene and corrosion resistant is deposited on aluminum as a capacitor electrode material, a step of removing the resist film after etching is required. At that time, when immersed in the removal solution, resist components enter the inside of the aluminum electrode material that has already been finely etched, so it takes time and effort to remove it, and furthermore, it is difficult to remove it thoroughly. This is extremely difficult and may result in deterioration of capacitor characteristics.

本発明は、上記の問題点に鑑みて、電極箔の過剰エツチ
ングを防止し、かつ、コンデンサ材料である弁作用金属
上にまんべんなく均一にエッチピッ)・を形成させるこ
とのできる電解コンデンサ用電極箔とその製造方法と提
供する。
In view of the above-mentioned problems, the present invention provides an electrode foil for electrolytic capacitors that can prevent excessive etching of the electrode foil and form etch pitches evenly and uniformly on the valve metal that is the capacitor material. A method of manufacturing the same is provided.

問題点を解決するための手段 上記のような問題点を解決するために、本発明は、弁作
用を有する金属箔の表面に微小バンプを形成するもので
あり、微小樹脂粒子を含む懸濁液に、弁作用金属を浸漬
し、乾燥、加熱することにより、金属表面上に微小バン
プを形成するものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the present invention forms micro bumps on the surface of a metal foil having a valve action, and uses a suspension containing micro resin particles. The valve metal is immersed in the liquid, dried, and heated to form minute bumps on the metal surface.

作用 本発明は、上記の構成によって、弁作用金属の表面にバ
ンプを形成しておくことによって、酸化処理を施しての
ちにバンプを除去すると、バンプの存在していた部分の
金属が露出されることになり、電解コンデンサ作成のた
めのエツチングにさいして、この金属部でのみエツチン
グが起り、過剰エツチングのない、表面積の大きい良好
なエツチングが行なわれることになる。
Effect of the present invention With the above configuration, by forming bumps on the surface of the valve metal, when the bumps are removed after oxidation treatment, the metal in the area where the bumps were present is exposed. Therefore, during etching for producing an electrolytic capacitor, etching occurs only on this metal part, resulting in good etching with a large surface area and no excessive etching.

実施例 以下に本発明の構成を第1図にもとづいてわかりやすく
説明する。弁作用を有する金属としては、アルミニウム
をはじめタンタル、チタン等の電解コンデンサ用として
周知のものが用いられる。これらの弁作用金属箔1にバ
ンプ2を形成する。バンプ2は、樹脂によるとっ起がも
っとも適しており、具体的には、スチレン、アクリル、
塩化ビニル、酢酸セルロース、ポリカーボネイト、ポリ
エチレン等の熱可塑性樹脂の粒子を含有する懸濁液に弁
作用金属1を浸漬して、乾燥後加熱して、前記粒子を軟
化することによって、弁作用金属1に付着させる。また
、金属箔に樹脂バンプを形成するべつの方法として電着
による塗装あるいは、樹脂の粒子が浮遊している雰囲気
中に加熱した弁作用金属箔を導入することによっても可
能である。
EXAMPLES Below, the configuration of the present invention will be explained in an easy-to-understand manner based on FIG. As the metal having a valve action, metals well known for use in electrolytic capacitors such as aluminum, tantalum, and titanium are used. Bumps 2 are formed on these valve metal foils 1. The bump 2 is most suitable for being made of resin, specifically styrene, acrylic,
The valve metal 1 is immersed in a suspension containing particles of a thermoplastic resin such as vinyl chloride, cellulose acetate, polycarbonate, polyethylene, etc., and heated after drying to soften the particles. Attach to. Another method for forming resin bumps on metal foil is by electrodeposition coating or by introducing a heated valve metal foil into an atmosphere in which resin particles are suspended.

樹脂粒子の粒径は、エツチングのビット径に合わせて、
所望の大きさを選択することができるが、電解コンデン
サのためのエッチビットの形成であることを考えれば、
あまり大きな粒子は得策ではな(、エッチビットと同程
度の粒径の0.1〜10ミクロンが適当である。また、
ビットの数は、たとえば懸濁液中の粒子数および、塗布
厚を制御することによって容易に行なうことができる。
The particle size of the resin particles should be adjusted according to the etching bit diameter.
You can choose the desired size, but given that the formation of etch bits for electrolytic capacitors
It is not a good idea to use too large particles (0.1 to 10 microns, which is about the same particle size as the etch bit, is suitable.
The number of bits can be easily adjusted, for example, by controlling the number of particles in the suspension and the coating thickness.

このような比較的に粒径のわさな樹脂粒子は、乳化ある
いは懸濁重合によって合成したものや、大きい粒子を機
械的に粉砕して微粒化したものも使用することができる
。こうしてバンプ2を形成した弁作用金属箔1は、陽極
酸化あるいは、各種の酸化剤を用いて、バンプ形成のな
いもとのままで露出している金属表面を酸化することよ
よって、酸化皮膜3を形成する。電解酸化は、カルボン
酸等の有機酸、はう酸やりん酸等あるいはこれらの塩等
の比較的に導電性のよい溶液で通常の陽極酸化の方法で
実施できる。また、化学的に酸化する場合は、硝酸や硝
酸塩、過酸化水素等の酸化剤を用いてもよいし、たんに
熱溶液中に浸漬することによっても可能である。
Such resin particles having a relatively small particle size may be synthesized by emulsion or suspension polymerization, or may be obtained by mechanically crushing large particles into fine particles. The valve metal foil 1 on which the bumps 2 have been formed is then anodized or by using various oxidizing agents to oxidize the exposed metal surface with no bumps formed thereon to form an oxide film 3. form. Electrolytic oxidation can be carried out by a conventional anodic oxidation method using a relatively conductive solution such as an organic acid such as carboxylic acid, halonic acid or phosphoric acid, or a salt thereof. In the case of chemical oxidation, an oxidizing agent such as nitric acid, nitrate, hydrogen peroxide, etc. may be used, or simply immersion in a hot solution may be used.

このように、樹脂のバンプ2と酸化皮膜3を表面に付着
した弁作用金属Pi 1を溶剤に浸漬して、バンプ2を
除去する。
The valve metal Pi 1 with the resin bumps 2 and the oxide film 3 attached to its surface is immersed in a solvent to remove the bumps 2.

バンプ2を除去したときのようすは第1図の4で示す。The state when the bump 2 is removed is shown at 4 in FIG.

上記の手順によって、バンプ2で被覆されていた部分の
金属を露出させると、選択的に微細孔を有する弁作用金
属の酸化物を表面に生成させた電解コンデンサ電極用金
属箔が得られる。しかるのちに、これをエツチング液に
浸漬し、所望のエツチング5を金属部に形成する。エツ
チングについては、既知の方法は、いずれも実施可能で
あるが、その代表的なものは、塩素イオンを含有する水
溶液に金属箔を浸漬し、通電しながら行なう方法である
When the metal in the portion covered with the bumps 2 is exposed through the above procedure, a metal foil for an electrolytic capacitor electrode is obtained in which a valve metal oxide having selectively minute pores is formed on the surface. Thereafter, this is immersed in an etching solution to form a desired etching 5 on the metal part. Etching can be carried out using any known method, but a typical one is a method in which the metal foil is immersed in an aqueous solution containing chlorine ions and electrical current is applied.

つぎに、本発明の電極箔とこれを用いてコンデンサを作
成したときの特性を実施例1および2に示す。
Next, Examples 1 and 2 show the electrode foil of the present invention and the characteristics of a capacitor made using the electrode foil.

実施例1 厚さ100ミクロン、純度99.99%のアルミニウム
箔を平均粒径0.2ミクロンのPMMA粒子を重量百分
率で0.8%含有する水溶液に浸漬し、5ミクロン厚に
アルミ箔に均一に塗布する。60℃で15分間加熱して
乾燥し、140〜170℃で5分間加熱することにより
、PMMAのバンブをアルミニウム電極箔にまんべんな
く形成する。つぎに、露出しているアルミニウム部は、
7%はう酸水溶液中で55Vで化成して酸化皮膜を形成
する。これをよく水洗して乾燥してからメチルエチルケ
トン中に浸漬し、PMMAのバンブを溶解して除去する
。つぎに、5%塩酸と0.03%蓚酸からなる水溶液に
浸漬し、液温80℃、電流密度3.5mA/cutで2
分間エツチングした。しかるのちに、このアルミニウム
箔を10%はう酸水溶液中で380■で化成したところ
、得られた電極箔の静電容量は0.88μF/cotで
あった。比較的として、樹脂バンブを形成しない場合の
アルミニウム電極箔の容量は、0.73μF/c++t
であったので約20%の容量増加が本発明のアルミニウ
ム電極箔で達成された。
Example 1 An aluminum foil with a thickness of 100 microns and a purity of 99.99% was immersed in an aqueous solution containing 0.8% by weight of PMMA particles with an average particle size of 0.2 microns, and the aluminum foil was uniformly coated with a thickness of 5 microns. Apply to. PMMA bumps are evenly formed on the aluminum electrode foil by heating and drying at 60° C. for 15 minutes and heating at 140 to 170° C. for 5 minutes. Next, the exposed aluminum part is
A 7% oxide film is formed by chemical conversion at 55V in an aqueous solution of oxalic acid. This is thoroughly washed with water, dried, and then immersed in methyl ethyl ketone to dissolve and remove the PMMA bump. Next, it was immersed in an aqueous solution consisting of 5% hydrochloric acid and 0.03% oxalic acid, and was heated for 2 hours at a liquid temperature of 80°C and a current density of 3.5 mA/cut.
Etched for a minute. Thereafter, this aluminum foil was chemically converted in a 10% aqueous oxalic acid solution at 380 μm, and the capacitance of the obtained electrode foil was 0.88 μF/cot. For comparison, the capacitance of aluminum electrode foil without resin bumps is 0.73μF/c++t
Therefore, an increase in capacity of about 20% was achieved with the aluminum electrode foil of the present invention.

実施例2 平均粒径0.45ミクロンのポリスチレン粒子を悲濁し
た状態で含有し、その濃度が5%の水溶液を用意し、こ
れに厚さ104ミクロン、純度99.99%のアルミニ
ウム箔を浸漬し、約10ミクロンの17さに懸濁液をア
ルミニウム箔に均一に塗布した。70℃で10分間乾燥
後、120〜150°Cで7分間熱処理を行なって、ポ
リスチレンの粒子をアルミニウム上に融着させることに
よって、アルミニウム上にまんべんなく樹脂バンブを形
成する。これを5%りん酸水溶液で75Vで化成し、バ
ンブの形成されていない金属アルミの露出部に酸化皮膜
を形成し、水洗、乾燥、してからトルエン溶液で処理す
ることによって、ポリスチレンのバンブを除去する。
Example 2 An aqueous solution containing turbid polystyrene particles with an average particle size of 0.45 microns and a concentration of 5% was prepared, and an aluminum foil with a thickness of 104 microns and a purity of 99.99% was immersed in this solution. The suspension was then uniformly applied to an aluminum foil with a diameter of about 10 microns. After drying at 70°C for 10 minutes, heat treatment is performed at 120-150°C for 7 minutes to fuse the polystyrene particles onto the aluminum, thereby forming resin bumps evenly on the aluminum. This is chemically converted with a 5% phosphoric acid aqueous solution at 75V to form an oxide film on the exposed parts of the metal aluminum where bumps are not formed, washed with water, dried, and then treated with a toluene solution to remove polystyrene bumps. Remove.

つぎに、5%塩酸、および、0.03%蓚酸水溶液中で
液温85℃、電流密度3.0mA/cnlで2分間エツ
チングした。しかるのちに、アルミ電極箔を10%はう
酸水溶液に浸清し、380■で化成してから、静電容量
を測定したところ、0.82μF / cJの値を得た
Next, etching was carried out for 2 minutes in a 5% hydrochloric acid and 0.03% oxalic acid aqueous solution at a liquid temperature of 85° C. and a current density of 3.0 mA/cnl. Thereafter, the aluminum electrode foil was immersed in a 10% aqueous oxalic acid solution and chemically converted at 380 μm, and the capacitance was measured, and a value of 0.82 μF/cJ was obtained.

比較例として、ポリスチンの樹脂ハンプをアルミニウム
上に形成することなしに工・7チングし、ひきつづいて
化成処理して得られた電極箔の静電容量は、0.96μ
F/CII+であった。上記の結果からあきらかなよう
に、本発明の樹脂バンブの形成電極を用いることにより
17%の容量増が認、められた。
As a comparative example, the electrostatic capacitance of an electrode foil obtained by processing a polystine resin hump without forming it on aluminum and then chemically treating it was 0.96μ.
It was F/CII+. As is clear from the above results, a 17% increase in capacity was observed by using the resin bump formed electrode of the present invention.

発明の効果 以上のように、本発明は、弁作用金属の表面に多数の微
小バンブを形成し、しかるのちに、前記表面を酸化し、
露出している前記弁作用金属の表面に、前記弁作用金属
の酸化皮膜を形成し、そののちに、前記バンブを除去し
て、エツチング処理を施すことによって、過剰エツチン
グを防ぎ、均一にまんべんな(エツチングすることが可
能であり、その結果、電極箔の粗面化が従来より非常に
大きくなることから、電解コンデンサの小型化ないしは
大容量化に大いに貢献できるものとする。
Effects of the Invention As described above, the present invention forms a large number of microbumps on the surface of a valve metal, then oxidizes the surface,
An oxide film of the valve metal is formed on the exposed surface of the valve metal, and then the bumps are removed and an etching process is performed to prevent excessive etching and ensure uniform etching. It is possible to perform etching, and as a result, the surface roughness of the electrode foil becomes much larger than before, making it possible to greatly contribute to the miniaturization and increase in capacity of electrolytic capacitors.

また、ビット径やピント教を樹脂バンブの粒径を選択す
ることによって性御することもある程度可能であり、品
質の安定化に好都合となる。また、本発明は、エツチン
グ液に非溶性、耐食性のレジスト材料を使用しないので
これの除去も不要で、かつ、この成分の電極材に残留す
ることによるコンデンサ特性の低下をきたすこともない
。さらに、本発明は、電解コンデンサ用の弁作用金属以
外の一般の金萬に微細なスボソI・状のエツチングを施
すさいにも適用が可能である。
Further, it is possible to control the bit diameter and the focusing force to some extent by selecting the particle size of the resin bump, which is convenient for stabilizing the quality. Furthermore, since the present invention does not use an insoluble, corrosion-resistant resist material in the etching solution, it is not necessary to remove it, and the capacitor characteristics will not be deteriorated due to this component remaining in the electrode material. Furthermore, the present invention can also be applied to the etching of fine grooves on general metals other than valve metals for electrolytic capacitors.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の一実施例における電解コンデンサ用
電極箔の断面図、第2図は、従来の電解コンデンサ用電
極箔の断面図である。 ■・・・・・・弁作用金属箔、2・・・・・・バンブ、
3・・・・・・酸化皮膜、5・・・・・・エッチビット
、6・・・・・・過剰エツチング。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ばか1名/−−−キ
作用杢〕萬痴 第2図
FIG. 1 is a sectional view of an electrode foil for an electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional electrode foil for an electrolytic capacitor. ■・・・Valve metal foil, 2・・・Banbu,
3...Oxide film, 5...Etched bit, 6...Excessive etching. Agent's name: Patent attorney Toshio Nakao One idiot

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)弁作用金属の表面に多数の微小バンプを形成して
なる電解コンデンサ用電極箔。
(1) Electrode foil for electrolytic capacitors formed by forming a large number of micro bumps on the surface of a valve metal.
(2)弁作用金属を樹脂微粒子を含有する懸濁液に浸漬
してのちに、乾燥加熱後、前記弁作用金属上に前記樹脂
微粒子のバンプを形成する電解コンデンサ用電極箔の製
造方法。
(2) A method for manufacturing an electrode foil for an electrolytic capacitor, which comprises immersing a valve metal in a suspension containing fine resin particles, drying and heating the metal, and then forming bumps of the fine resin particles on the valve metal.
JP17205286A 1986-07-22 1986-07-22 Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same Pending JPS6379311A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17205286A JPS6379311A (en) 1986-07-22 1986-07-22 Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17205286A JPS6379311A (en) 1986-07-22 1986-07-22 Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6379311A true JPS6379311A (en) 1988-04-09

Family

ID=15934641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17205286A Pending JPS6379311A (en) 1986-07-22 1986-07-22 Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6379311A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008166602A (en) * 2006-12-28 2008-07-17 Sachiko Ono Aluminum material for electrolytic capacitor electrode, its manufacturing method, electrode material for aluminum electrolytic capacitor and aluminum electrolytic capacitor
JP2012094914A (en) * 2012-02-03 2012-05-17 Sachiko Ono Aluminum material for electrolytic capacitor electrode, its manufacturing method, electrode material for aluminum electrolytic capacitor and aluminum electrolytic capacitor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008166602A (en) * 2006-12-28 2008-07-17 Sachiko Ono Aluminum material for electrolytic capacitor electrode, its manufacturing method, electrode material for aluminum electrolytic capacitor and aluminum electrolytic capacitor
JP2012094914A (en) * 2012-02-03 2012-05-17 Sachiko Ono Aluminum material for electrolytic capacitor electrode, its manufacturing method, electrode material for aluminum electrolytic capacitor and aluminum electrolytic capacitor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0631480B2 (en) Method for etching aluminum anode foil for high voltage electrolytic capacitors
JP2007247070A (en) Method for manufacturing anodic oxidation porous alumina compound material
JPS6379311A (en) Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same
JPS6328027A (en) Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacture of the same
JPH0632675A (en) Production of porous metal oxide
JPH01282813A (en) Manufacture of aluminum material for electrolytic capacitor electrode
JPH043409A (en) Method of etching aluminum foil for electrolytic capacitor
JP2002119856A (en) Anodized aluminum catalyst carrier having increased bet specific surface area and its manufacturing method
JPS6151818A (en) Method of producing aluminum electrode material for electrolytic condenser
JPH02254192A (en) Production of porous material
JP3582451B2 (en) Manufacturing method of anode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPS6151817A (en) Aluminum electrode material for electrolytic condenser and method of producing same
JPS63220512A (en) Electrode foil for electrolytic capacitor
JP3480164B2 (en) Manufacturing method of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JP4089333B2 (en) Manufacturing method of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPS63299309A (en) Manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPH0566007B2 (en)
JP2696882B2 (en) Manufacturing method of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JP4421765B2 (en) Manufacturing method of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPH01189907A (en) Manufacture of aluminum electrode foil for electrolytic capacitor
JP2005200677A (en) Method of producing metal particulate
JPS61288411A (en) Manufacture of aluminum electrode material for electrolytic capacitor
JPH11354387A (en) Manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPH09165687A (en) Water-repellent aluminum material and its production
JPH02114620A (en) Manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor