JPS6151817A - Aluminum electrode material for electrolytic condenser and method of producing same - Google Patents

Aluminum electrode material for electrolytic condenser and method of producing same

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JPS6151817A
JPS6151817A JP59174597A JP17459784A JPS6151817A JP S6151817 A JPS6151817 A JP S6151817A JP 59174597 A JP59174597 A JP 59174597A JP 17459784 A JP17459784 A JP 17459784A JP S6151817 A JPS6151817 A JP S6151817A
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etching
aluminum foil
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aluminum
resistant
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礒山 永三
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梅津 正藏
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Altemira Co Ltd
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Showa Aluminum Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は電解コンデンサ用アルミニウム電極拐及びそ
の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention This invention relates to an aluminum electrode for electrolytic capacitors and a method for manufacturing the same.

従来の技術 電解コンデンサ用アルミニウム電極材として用いられる
アルミニウム箔は、可及的大きな表面f^を付して単位
体積当りの静電容量の大きいものであることが要請され
る。このため、一般的に電気化学的あるいは化学的なエ
ツチング処理を施してアルミニウム箔の実効表面積を拡
大することが行われており、更にこの拡面率の可及的増
大を目的として、エツチング孔をより多く、深く、太く
することに関して材料の改善、エツチング方法の改善、
箔の製造工程に関する研究等(重々の研究がなされてい
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION Aluminum foil used as an aluminum electrode material for electrolytic capacitors is required to have as large a surface f^ as possible and to have a large capacitance per unit volume. For this reason, the effective surface area of the aluminum foil is generally expanded by electrochemical or chemical etching treatment, and etching holes are also added to increase the area expansion ratio as much as possible. Improvement of materials, improvement of etching methods to make the material larger, deeper, and thicker.
Research on the manufacturing process of foil (extensive research is being conducted).

発明が解決しようとする問題点 ところが、実際上、従来既知のエツチング技術にJ3い
ては、概してエツチング孔の発生部位が不均一であり、
またエツチング孔を多(しようとするとエツチング孔ど
うしが連通して粗大孔となったり、アルミニウム箔表面
の溶解が同時に進行して箔の機械的強度が10ねれるの
みならず、エツチング孔が深いものとならないというよ
うな欠点を派生するため、結果において充分に期待され
るような拡面率の増大効果を得ることが難しいという問
題点があった。特に、エツチング孔の発生部位の不均一
性に関しては、アルミニウム箔中に含まれる不純物原子
の唾析、金5間化合物、結晶粒塊の存在等によって、エ
ツチング時に不均一なエツチングビットが発生ずるため
、これを避けることは困難なものであった。
Problems to be Solved by the Invention However, in practice, in the conventionally known etching technology J3, the locations where etching holes are generated are generally non-uniform;
In addition, if you try to make many etching holes, the etching holes may connect with each other and become coarse holes, or the surface of the aluminum foil will melt at the same time, reducing the mechanical strength of the foil by 10%, and the etching holes may be deep. Therefore, there is a problem that it is difficult to obtain the expected effect of increasing the area enlargement ratio.In particular, regarding the non-uniformity of the area where etching holes occur, However, it is difficult to avoid this because uneven etching bits occur during etching due to the precipitation of impurity atoms contained in the aluminum foil, the presence of gold intercalation compounds, crystal grain agglomerates, etc. .

この発明は、かかる問題点を解決し、アルミニウム箔に
所要の機械的強度を保有せ、しめつつ、多数の深いエツ
チング孔を均一に形成することを可能として、拡面率す
なわち静電容量に優れたものとなしうる電解コンデンサ
用アルミニウム電極材の提供を意図してなされたもので
ある。
The present invention solves these problems and makes it possible to uniformly form many deep etching holes while retaining and tightening the required mechanical strength in aluminum foil, and has an excellent surface area ratio, that is, capacitance. This invention was made with the intention of providing an aluminum electrode material for electrolytic capacitors that can be used as a material for electrolytic capacitors.

問題点を解決するための手段 上記目的を達成するために、この発明は、エツチング孔
の不均一発生の原因であった材料中の金属間化合物、結
晶粒塊等の存在に関係なく、エツチング孔の発生部位を
予め意図的に決定しようどするしのであり、多数の微細
孔を均一に有する耐性被膜をアルミニウム箔表面に予め
一体的に付着形成することにより、エツチング処理時に
微細孔に対応する部分のみをエツチング核として集中的
に侵食せしめ、もって多数の深いエツチング孔を均一に
形成せしめることに成功したものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a method for forming etching holes, regardless of the presence of intermetallic compounds, crystal grain agglomerates, etc. The purpose of this method is to intentionally determine in advance the location where the pores occur, and by integrally adhering a resistant film that has many uniform pores to the surface of the aluminum foil in advance, the area corresponding to the pores is removed during the etching process. This method succeeded in intensively eroding the etching holes by using them as etching nuclei, thereby uniformly forming a large number of deep etching holes.

即ち、この発明の一つは、電解コンデンサ用アルミニウ
ム電極材に関し、アルミニウム箔の表面に、電解エツチ
ング液に対して耐性を有し、かつエツチング核を形成ず
べき多数の微細孔の形成された耐性被膜が一体的に付着
形成されてなることを特徴とするものであり、また他の
もう一つは、この電極材の製造方法に関し、アルミニウ
ム箔の表面に、レジストの塗イ5、フォトマスクの装着
、露光、現像の各工程の順次的実施を含むフォトレジス
ト法により、電解エツチング液に対して耐性を有しかつ
所望のエツチングパターンに対応したエツチング核形成
用の多数の微細孔を有する耐性被膜を、多孔レジスト膜
として形成することを特徴とするものである。
That is, one of the inventions relates to an aluminum electrode material for an electrolytic capacitor, and the surface of the aluminum foil is resistant to an electrolytic etching solution and has a large number of micropores that should not form etching nuclei. Another feature is that a film is integrally deposited. Another method for manufacturing this electrode material involves coating the surface of an aluminum foil with a resist and applying a photomask. The photoresist method, which involves the sequential implementation of mounting, exposure, and development steps, produces a resistant coating that is resistant to electrolytic etching solutions and has a large number of micropores for forming etching nuclei corresponding to the desired etching pattern. is characterized in that it is formed as a porous resist film.

前記耐性被膜は、エツチング時に微細孔対応部分を除い
てアルミニウム箔表面の侵食を防止するためのものであ
り、従ってその性質として電解エツチング液に対して耐
性を有するものであること、即ち、非溶性かつ耐食性の
ものであることを条件とする。また、耐性被膜に設けら
れた微細孔は、アルミニウム箔の微細孔対応部分のみに
エツチング孔を形成するためのものであるから、微細孔
の配列、大きざ、数量等がエツチング孔の配列、大きさ
、vlfflひいてはアルミニウム箔の最終的な静電容
量、□械的強度等に直接的に影響する。従って、微細孔
の形成に際してはこの点を充分考慮する必要がある。
The above-mentioned resistant coating is for preventing erosion of the surface of the aluminum foil except for the areas corresponding to micropores during etching, and therefore, it must be resistant to the electrolytic etching solution, i.e., it must be non-soluble. and must be corrosion resistant. In addition, the micropores provided in the resistant coating are for forming etching holes only in the corresponding part of the aluminum foil, so the arrangement, size, number, etc. of the micropores will depend on the arrangement, size, and quantity of the etching holes. This directly affects the final capacitance, mechanical strength, etc. of the aluminum foil. Therefore, it is necessary to fully consider this point when forming micropores.

かかる耐性被膜の付着形成方法は、この発明において特
に限定されるものではないが、好ましい1つの方法とし
て、フォトレジスト法が採用される。フォトレジスト法
は、耐性被膜をレジス1−膜として形成するものであり
、一般的には、アルミニウム箔表面へのレジストの塗布
、フォトマスクの装着、露光、現像の各工程の順次的実
施を含むものである。前記フォトマスクは、微細孔を所
望のエツチングパターンに形成するためのものであり、
微細孔形成予定部分が透光部、それ以外が遮光部となさ
れている。また前記現像処理は、露光工程によりフォト
マスクの透光部を介して光照射された部位の不要レジス
1〜を除去するためのものであり、この現像98理にJ
:ってアルミニウム箔表面に多孔レジスト膜がバターニ
ングされる。
The method for forming such a resistant film is not particularly limited in the present invention, but a photoresist method is preferably employed. The photoresist method forms a durable film as a resist film, and generally involves sequentially performing the steps of applying a resist to the surface of an aluminum foil, attaching a photomask, exposing, and developing. It is something that The photomask is for forming micropores in a desired etching pattern,
The portion where micropores are to be formed is a light-transmitting portion, and the rest is a light-shielding portion. The development process is for removing unnecessary resists 1 through irradiated with light through the light-transmitting part of the photomask during the exposure process.
: A porous resist film is patterned on the surface of the aluminum foil.

こうして製造された本発明に係る電極材には、その1p
酸またはアルカリ浴中で電気化学的あるいは化学的なエ
ツチング処理が施される。エツチング処理に用いるエツ
チング液は、特に限定されるものではなく、既知のJ:
うな2〜15%塩酸水溶液、あるいは該溶液に更にクロ
ム酸、硫酸、蓚酸等の酸を添加した水溶液等を任意に採
択使用しうる。他のエツチング処理条件、即ち、液?r
m N電流密度、エツチング時間等もすべて従来既知の
エツチング処理条件をそのまま採用しうる。このエツチ
ング処理により、アルミニウム箔の耐性被膜付着部の表
面溶解を抑制しつつ、微細孔対応部分のみを集中的に侵
食しうる結果、深くて太いエツチング孔の形成が可能と
なる。
The electrode material according to the present invention manufactured in this way has its 1p
An electrochemical or chemical etching process is performed in an acid or alkaline bath. The etching solution used in the etching process is not particularly limited, and the etching liquid used in the etching process is known in the art.
A 2 to 15% hydrochloric acid aqueous solution, or an aqueous solution prepared by adding an acid such as chromic acid, sulfuric acid, or oxalic acid to the solution may be optionally used. Other etching processing conditions, i.e. liquid? r
All conventional etching processing conditions such as mN current density and etching time can be used as they are. By this etching treatment, while suppressing surface dissolution of the portion of the aluminum foil to which the resistant coating is attached, it is possible to intensively erode only the portions corresponding to the micropores, thereby making it possible to form deep and thick etching holes.

エツチング処理を終えたアルミニウム箔には、続いて、
アルカリ液等を用いて、箔表面に付着している耐性被膜
の除去処理が施される。
After the etching process, the aluminum foil is then
The resistant film adhering to the foil surface is removed using an alkaline solution or the like.

発明の詳細 な説明したように、この発明に係るアルミニウム電極材
及びこの発明によって製造されるアルミニウム電漫材は
、アルミニウム箔表面に電解エツチング液(対して耐性
を有し、かつエツチング核を形成すべき多数の微細孔を
有する耐性被膜が一体的に付着形成されたものであるこ
とにより、その後に施すエツチング処理において、アル
ミニウム箔の耐性被膜付着部の表面溶解を該被1模層に
よって抑制しながら、微細孔対応部分のみをエツチング
核として集中的に浸食ぼしめ1「Iる結果、アルミニウ
ム箔に多数の深くで太いエツチング孔を均一に形成する
ことができる。従って、アルミニウム箔の機械的強度を
損うことなく、拡面率の著しく高い、即ち静電容量の極
めて大きい電ネ的特性に贋れた理想的な電(水用アルミ
ニウム箔となすことができ、その結果アルミこウム電解
コンデンサの重要課′題であるより一層の小型化を実現
しくqるものとなる。さらには、従来技術においてアル
ミニウム箔に唯しく要求される表面特性その他の品質(
材質)特性が、本発明に用いるアルミニウム箔において
はほとんど不要となるため、アルミニウム箔の製造工程
の簡素化、省略化が計れ、かつ材質的に安価な箔を使用
し1qることにJ:ってコストの低減をもはかれる等の
効果を奏する。
As described in detail of the invention, the aluminum electrode material according to the present invention and the aluminum electric conductor material manufactured by the present invention are provided with an electrolytic etching solution (resistant to it and capable of forming etching nuclei) on the surface of the aluminum foil. Since the resistant coating with a large number of micropores is integrally formed, the first layer suppresses surface dissolution of the portion of the aluminum foil where the resistant coating is attached during the subsequent etching process. As a result, many deep and thick etching holes can be uniformly formed in the aluminum foil. Therefore, the mechanical strength of the aluminum foil can be improved. It can be made into an ideal electrical conductor (water-use aluminum foil) with extremely high area expansion ratio, that is, an extremely large capacitance, without any damage, and as a result, aluminum electrolytic capacitors can be used. This will help realize further miniaturization, which is an important issue.Furthermore, it will improve the surface properties and other qualities that are uniquely required for aluminum foil in the conventional technology.
Since the aluminum foil used in the present invention has almost no material properties, it is possible to simplify and omit the manufacturing process of the aluminum foil, and to use a foil that is inexpensive in terms of material. This has the effect of reducing costs.

また、この発明に係る電解コンデンサ用アルミニウム電
極材の製造方法においては、上記耐性被膜をフォトレジ
スト法によってレジスト膜として形成するものであるか
ら、その製造操作を比較的容易に行い得るのはもとより
、耐性被膜の微細孔の配列、大ぎざ等を自由に制御する
ことができ、ひいてはエツチングパターンを意図的に任
意に設定することができるので、益々高い拡面率を付与
し得る性能的に優れた電極材の製造を可能とするもので
ある。
Further, in the method for manufacturing an aluminum electrode material for an electrolytic capacitor according to the present invention, since the above-mentioned resistant film is formed as a resist film by a photoresist method, the manufacturing operation can be performed relatively easily. It is possible to freely control the arrangement of micropores, large serrations, etc. in the resistant coating, and the etching pattern can be intentionally set arbitrarily, resulting in excellent performance that can provide an even higher area enlargement ratio. This makes it possible to manufacture electrode materials.

実施例 次にこの発明の実施例を比較例との対比において示す。Example Next, examples of the present invention will be shown in comparison with comparative examples.

純度99.99%、厚さ0.1mmの焼鈍アルミニウム
箔を、30℃のレジスト液中に30秒間浸漬した後、5
0’CX15分の前加熱処理を施して箔表面にレジスト
被覆層を形成した。次いで、遮光性部材に直径1.OI
imの透光窓を1.0μ而間隔でちとり配置に穿設して
なるフォトマスクを介して、2KWの超高圧水銀灯を1
分間照射し露光を行った。次いで、25℃の現像液に3
0秒浸漬して現像を行った後、90”CX 20分の後
加熱処理を行い、表面に耐性被膜としての多孔レジスト
膜を形成せしめた本発明に係る電(型材を得た。尚、レ
ジストは東京応化工業株式会社製の商品名rOHPRJ
を使用し、また現像液は同社製の商品名「○HPR現像
液」を使用した。
An annealed aluminum foil with a purity of 99.99% and a thickness of 0.1 mm was immersed in a resist solution at 30°C for 30 seconds.
A resist coating layer was formed on the surface of the foil by performing a preheating treatment of 0'CX for 15 minutes. Next, the light-shielding member has a diameter of 1. OI
A 2KW ultra-high-pressure mercury lamp was applied through a photomask made up of im transparent windows arranged at 1.0μ intervals.
Exposure was performed by irradiating for a minute. Then, add 3
After being immersed for 0 seconds and developed, a heat treatment was performed at 90"CX for 20 minutes to obtain a mold material according to the present invention in which a porous resist film was formed as a resistant film on the surface. The product name is rOHPRJ manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
was used, and a developer manufactured by the same company under the trade name "○HPR developer" was used.

上記の工程により得られた電極材に、エツチング液;5
W【%1p酸水溶液、温度ニア0″C,直流電流密度:
10A/dm、エツチング時間ニア分のエツチング条件
のもとでエツチング処理を施した後、25℃、5wt%
水酸化ナトリウム水溶液に2.1’l’浸漬してレジス
ト剥離処理を行った。
Etching solution; 5
W [%1p acid aqueous solution, temperature near 0''C, DC current density:
After performing etching treatment under etching conditions of 10A/dm and etching time of near minutes, 25°C, 5wt%
A resist stripping process was performed by immersing the resist in a sodium hydroxide aqueous solution for 2.1'l'.

上記により得られたエツチング箔を17I酸浴中で30
0Vに化成したのち、該箔の静電容量及び引張強さを測
定した。
The etched foil obtained above was placed in a 17I acid bath for 30 minutes.
After converting to 0V, the capacitance and tensile strength of the foil were measured.

一方、この結果を、前記と同一アルミニ・クム材を使用
しかつ同一のエツチング条件でエツチングのみを施した
アルミニウム箔(比較例)のそれと比較した。
On the other hand, this result was compared with that of an aluminum foil (comparative example) using the same aluminum cum material as above and etching only under the same etching conditions.

結果は下表のとうりであった。The results were as shown in the table below.

上表の結果に示されるように、この発明によれば、アル
ミニウム箔の耐性被膜中に均一に設けられた多数の微細
孔に対応する部分のみをエツチング核として深く侵食す
るものとなし得ることにより、該アルミニウム箔の明ら
かな静電容量、引張り強さの改善効果を実現し得るもの
であった。
As shown in the results in the table above, according to the present invention, only the portions corresponding to the many micropores uniformly provided in the resistant coating of the aluminum foil can be deeply eroded as etching nuclei. , it was possible to realize a clear improvement effect on the capacitance and tensile strength of the aluminum foil.

以  上that's all

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)アルミニウム箔の表面に、電解エッチング液に対
して耐性を有し、かつエッチング核を形成すべき多数の
微細孔の形成された耐性被膜が一体的に付着形成されて
なる電解コンデンサ用アルミニウム電極材。
(1) Aluminum for electrolytic capacitors, which is formed by integrally adhering to the surface of aluminum foil a resistant coating that is resistant to electrolytic etching liquid and has a large number of micropores that should form etching nuclei. Electrode material.
(2)アルミニウム箔の表面に、レジストの塗布、フォ
トマスクの装着、露光、現像の各工程の順次的実施を含
むフォトレジスト法により、電解エッチング液に対して
耐性を有しかつ所望のエッチングパターンに対応したエ
ッチング核形成用の多数の微細孔を有する耐性被膜を、
多孔レジスト膜として形成することを特徴とする電解コ
ンデンサ用アルミニウム電極材の製造方法。
(2) A desired etching pattern that is resistant to electrolytic etching solution is formed on the surface of the aluminum foil using a photoresist method that involves the sequential implementation of resist coating, photomask attachment, exposure, and development steps. A resistant coating with many micropores for etching nucleus formation corresponding to
A method for producing an aluminum electrode material for an electrolytic capacitor, the method comprising forming an aluminum electrode material as a porous resist film.
JP59174597A 1984-08-21 1984-08-21 Aluminum electrode material for electrolytic condenser and method of producing same Granted JPS6151817A (en)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6362888A (en) * 1986-09-01 1988-03-19 Showa Alum Corp Aluminum electrode material for electrolytic capacitor
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JP2018006617A (en) * 2016-07-05 2018-01-11 ニチコン株式会社 Method for manufacturing electrode foil for electrolytic capacitor
JP2022024431A (en) * 2020-07-28 2022-02-09 ニチコン株式会社 Electrode foil for electrolytic capacitor and manufacturing method thereof

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