JPS6377921A - 薄膜形成法 - Google Patents
薄膜形成法Info
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- JPS6377921A JPS6377921A JP22199986A JP22199986A JPS6377921A JP S6377921 A JPS6377921 A JP S6377921A JP 22199986 A JP22199986 A JP 22199986A JP 22199986 A JP22199986 A JP 22199986A JP S6377921 A JPS6377921 A JP S6377921A
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はアミノシラン変性エポキシ樹脂に関するもので
あり、可とう性、密着性に優れた封止剤、薄膜、特にガ
ラス板等の表面に形成された着色樹脂膜の保護膜の形成
に有用なものである。
あり、可とう性、密着性に優れた封止剤、薄膜、特にガ
ラス板等の表面に形成された着色樹脂膜の保護膜の形成
に有用なものである。
(従来の技術)
ガラス板等の表面に形成された着色樹脂膜の保護膜は主
剤としてエポキシ樹脂を用いるものが多く、例えばポリ
グリシジルメタクリレート。
剤としてエポキシ樹脂を用いるものが多く、例えばポリ
グリシジルメタクリレート。
フェノールノボラックのグリシジルエーテル型エポキシ
樹脂等が知られている。
樹脂等が知られている。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明者等は着色樹脂膜の保護膜として種々のエポキシ
樹脂で着色樹脂膜にオーバーコートし保護膜の形成を試
みたが、着色樹脂膜或はガラス基板との密着性がなかっ
たり、レベリング性が低く、均一な膜が得られなかった
り、硬度の不足、耐酸・耐アルカリ性の不足、耐熱性不
良、耐湿性の不足、光透過性等の問題があり、着色樹脂
膜、特にカラーフィルター用の保護膜としての機能が果
せなかったり、着色樹脂膜の機能を損うことがある。
樹脂で着色樹脂膜にオーバーコートし保護膜の形成を試
みたが、着色樹脂膜或はガラス基板との密着性がなかっ
たり、レベリング性が低く、均一な膜が得られなかった
り、硬度の不足、耐酸・耐アルカリ性の不足、耐熱性不
良、耐湿性の不足、光透過性等の問題があり、着色樹脂
膜、特にカラーフィルター用の保護膜としての機能が果
せなかったり、着色樹脂膜の機能を損うことがある。
(問題点を解決するだめの手段)
本発明者等はこれらの問題点を解決すべく検討した結果
、下記の構造式(])を有するアミノシラン化合物(以
下アミノシラン変性剤と略す)メチル基とフェニル基の
数の比が10=1〜1:10であり、R+ −Rzは炭
素数2〜3のアルキレン基を表わし、■は10〜100
好ましくは15〜80の値を示す平均重合度である。)
とフェノールノボラック及び/又はクレゾールノボラッ
クのグリシジルエーテル化物(以下エポキシ樹脂と略す
)を反応させて得られるアミノシラン変性エポキシ樹脂
を熱硬化型エポキシ樹脂の主剤として使用することによ
り目的を達成できることがわかり本発明を完成するに至
った。
、下記の構造式(])を有するアミノシラン化合物(以
下アミノシラン変性剤と略す)メチル基とフェニル基の
数の比が10=1〜1:10であり、R+ −Rzは炭
素数2〜3のアルキレン基を表わし、■は10〜100
好ましくは15〜80の値を示す平均重合度である。)
とフェノールノボラック及び/又はクレゾールノボラッ
クのグリシジルエーテル化物(以下エポキシ樹脂と略す
)を反応させて得られるアミノシラン変性エポキシ樹脂
を熱硬化型エポキシ樹脂の主剤として使用することによ
り目的を達成できることがわかり本発明を完成するに至
った。
本発明は上記アミノシラン変性エポキシ樹脂・及び該樹
脂と硬化剤を有機溶媒に溶解した後、皮膜を形成し、熱
硬化により薄膜をうろことを特徴とする薄膜形成法に関
する。
脂と硬化剤を有機溶媒に溶解した後、皮膜を形成し、熱
硬化により薄膜をうろことを特徴とする薄膜形成法に関
する。
この薄膜形成法は、特にカラーフィルター等の着色樹脂
膜の上にアミノシラン変性エポキシ樹脂と硬化剤を溶解
した有機溶媒を用いてオーバーコートし、皮膜を形成し
、熱硬化により薄膜(着色樹脂膜の保護膜)を形成させ
る場合等に有用である。
膜の上にアミノシラン変性エポキシ樹脂と硬化剤を溶解
した有機溶媒を用いてオーバーコートし、皮膜を形成し
、熱硬化により薄膜(着色樹脂膜の保護膜)を形成させ
る場合等に有用である。
本発明によるアミノシラン変性エポキシ樹脂は、アミノ
シラン変性剤中にフェニル基を含有するため、エチルセ
ロソルブアセテート、ジグライム等の有機溶媒に易溶と
なり、薄膜形成能を持つ。
シラン変性剤中にフェニル基を含有するため、エチルセ
ロソルブアセテート、ジグライム等の有機溶媒に易溶と
なり、薄膜形成能を持つ。
又、アミノシラン変性をほどこされているためにレベリ
ング性が良く均一な膜が得られ、且つシランを含有して
いるためにガラス基板1着色樹脂膜との密着性も良好で
ある。
ング性が良く均一な膜が得られ、且つシランを含有して
いるためにガラス基板1着色樹脂膜との密着性も良好で
ある。
本発明のアミノシラン変性エポキシ樹脂に用いられるエ
ポキシ樹脂は、フェノールノボラック及び/又はクレゾ
ールノボラック樹脂のグリシジルエーテル化物であり、
その平均分子量は300〜2000が好ましく、特に4
00〜】000が好ましく、又、そのエポキシ当量(g
/ mol )(以下WPEと略す)は、180〜2
20が望ましい。
ポキシ樹脂は、フェノールノボラック及び/又はクレゾ
ールノボラック樹脂のグリシジルエーテル化物であり、
その平均分子量は300〜2000が好ましく、特に4
00〜】000が好ましく、又、そのエポキシ当量(g
/ mol )(以下WPEと略す)は、180〜2
20が望ましい。
本発明で用いられるアミノシラン変性剤は式(1)にお
いてメチル基とフェニル基の数の比が5=1〜1:1が
望ましい。アミノシラン変性剤のエポキシ樹脂に対する
使用量は、エポキシ樹脂の2〜20 wt%使用するの
が好ましく、特に3〜10wt%使用するのが望ましい
。変性方法としては従来公知の方法で行いうるが、−級
アミンを完全に反応させ、かつ、過剰反応にならない様
にするのが望ましい。
いてメチル基とフェニル基の数の比が5=1〜1:1が
望ましい。アミノシラン変性剤のエポキシ樹脂に対する
使用量は、エポキシ樹脂の2〜20 wt%使用するの
が好ましく、特に3〜10wt%使用するのが望ましい
。変性方法としては従来公知の方法で行いうるが、−級
アミンを完全に反応させ、かつ、過剰反応にならない様
にするのが望ましい。
例えば、エポキシ樹脂の軟化点以上の温度例えば80〜
150℃、好ましくは90〜140℃にてエポキシ樹脂
を撹拌し、アミノシラン変性剤を注加し、反応すること
によってアミノシラン変性エポキシ樹脂が得られる。
150℃、好ましくは90〜140℃にてエポキシ樹脂
を撹拌し、アミノシラン変性剤を注加し、反応すること
によってアミノシラン変性エポキシ樹脂が得られる。
又、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブア
セテート、ジグライム等の有機溶媒中で反応させても良
い。
セテート、ジグライム等の有機溶媒中で反応させても良
い。
アミノシラン変性エポキシ樹脂は従来公知の硬化剤例え
ばジメチルアミノジフェニルメタン(以下DDMと略す
)、ジアミノジフェニルスルホン、フェノールノボラッ
ク、クレゾールノボラック、ビスフェノールA等、更に
条件によってはイミダゾール系、トリフェニルホスフィ
ン等の触媒と共にメチルセロソルブアセテート。
ばジメチルアミノジフェニルメタン(以下DDMと略す
)、ジアミノジフェニルスルホン、フェノールノボラッ
ク、クレゾールノボラック、ビスフェノールA等、更に
条件によってはイミダゾール系、トリフェニルホスフィ
ン等の触媒と共にメチルセロソルブアセテート。
エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテ
ート、ジグライム等の溶媒に溶解し。
ート、ジグライム等の溶媒に溶解し。
不溶尊公を濾過した後、スピンコード或はロールコート
等により基材にコートし、例えば溶媒を熱で乾燥後(以
下、ブレベークと略す)、更に熱処理(以下、ボストベ
ークと略す。)することにより1例えば数μm以下の均
一な薄膜を得ることが出来る。
等により基材にコートし、例えば溶媒を熱で乾燥後(以
下、ブレベークと略す)、更に熱処理(以下、ボストベ
ークと略す。)することにより1例えば数μm以下の均
一な薄膜を得ることが出来る。
本発明の方法により得られる薄膜の厚さは特に限定され
ず、必要により例えば0.05〜10μmの厚さとする
ことができろ。
ず、必要により例えば0.05〜10μmの厚さとする
ことができろ。
硬化剤はアミノシラン変性エポキシ樹脂に対し】0〜6
0重量%特に12.5〜53重量%使用するのが好まし
い。
0重量%特に12.5〜53重量%使用するのが好まし
い。
更に本発明のアミノシラン変性エポキシ樹脂を着色樹脂
膜の保護膜の主剤として用いると着色樹脂膜の機能を損
わずに非常に良好なオーバーコート剤となり配向膜に使
用されるN−メチルピロリドンから着色樹脂膜を保護し
、かつ着色樹脂膜の耐光堅牢度、耐湿性を向上させると
いう効果も見出された。
膜の保護膜の主剤として用いると着色樹脂膜の機能を損
わずに非常に良好なオーバーコート剤となり配向膜に使
用されるN−メチルピロリドンから着色樹脂膜を保護し
、かつ着色樹脂膜の耐光堅牢度、耐湿性を向上させると
いう効果も見出された。
本発明のアミノシラン変性エポキシ樹脂による薄膜形成
方法は溶媒の種類、膜の厚さ、アミノシラン変性エポキ
シ樹脂の種類、硬化剤の種類、触媒の有無及び種類等に
より広範に変りうましい。又、硬化温度は一定ではなく
昇温方法を行りても良い。
方法は溶媒の種類、膜の厚さ、アミノシラン変性エポキ
シ樹脂の種類、硬化剤の種類、触媒の有無及び種類等に
より広範に変りうましい。又、硬化温度は一定ではなく
昇温方法を行りても良い。
(実施例)
実施例1゜
0−クレゾールノボラックのグリシジルエーテル化物(
日本化薬■裂、EOCN−] 02 S、WPE210
、平均分子量800)700gをフラスコに入れ、窒素
ガスを注入しながら140℃に加温した。融解後、攪拌
下、アミノシリコン(信越化学工業■梨、X−22−1
660B−3、平均分子量4000、メチル基:フェニ
ル基=2.6:1、式(])におけるR1.R2は共に
−CH2CH2CH2−である。)35gを30分かけ
て滴下し、更に30分反応させたところ0級アミンは検
出されず、フラスコを冷却し反応を停止した。収量73
0 g、WPE221でありた。
日本化薬■裂、EOCN−] 02 S、WPE210
、平均分子量800)700gをフラスコに入れ、窒素
ガスを注入しながら140℃に加温した。融解後、攪拌
下、アミノシリコン(信越化学工業■梨、X−22−1
660B−3、平均分子量4000、メチル基:フェニ
ル基=2.6:1、式(])におけるR1.R2は共に
−CH2CH2CH2−である。)35gを30分かけ
て滴下し、更に30分反応させたところ0級アミンは検
出されず、フラスコを冷却し反応を停止した。収量73
0 g、WPE221でありた。
このようにして得られたアミノシラン変性エポキシ樹脂
30gとO−クレゾールノボラック(平均分子量760
)15.6gを混合し、160なでしU゛ 咀秒 ℃で4 hr更に】80℃にて12 hr反応させて硬
化した樹月旨のTgは164℃であり、αl=6.34
X10(’C)、α2=38.02XI O(’C)で
あった。
30gとO−クレゾールノボラック(平均分子量760
)15.6gを混合し、160なでしU゛ 咀秒 ℃で4 hr更に】80℃にて12 hr反応させて硬
化した樹月旨のTgは164℃であり、αl=6.34
X10(’C)、α2=38.02XI O(’C)で
あった。
実施例2゜
O−クレゾールノボラックのグリシジルエーテル化物(
日本化薬■製、EOCN−1020゜WPE202.平
均分子量950)700gとアミンシリコン(信越化学
工業■裂、X−22−1660B−3)70gを用い実
施例1と同様に反応させたところアミノシラン変性エポ
キシ樹脂は763g回収され、WPE 225であった
。
日本化薬■製、EOCN−1020゜WPE202.平
均分子量950)700gとアミンシリコン(信越化学
工業■裂、X−22−1660B−3)70gを用い実
施例1と同様に反応させたところアミノシラン変性エポ
キシ樹脂は763g回収され、WPE 225であった
。
アミノシラン変性エポキシ樹脂30gとO−クレゾール
ノボラック(平均分子量760)14.6gを混合し、
160℃X 4 hr’更に180℃×12hr反応さ
せて硬化した樹脂のTgは154℃であり、α+=6.
49XI O(℃)−α2=18.39X10″(’C
)であった。
ノボラック(平均分子量760)14.6gを混合し、
160℃X 4 hr’更に180℃×12hr反応さ
せて硬化した樹脂のTgは154℃であり、α+=6.
49XI O(℃)−α2=18.39X10″(’C
)であった。
実施例3゜
実施例】においてEOCN−1028の代りにフェノー
ルノボラックのグリシジルエーテル化物(日本化薬(株
)裂EP−154,WPE 178゜平均分子量 7
00 ) 700 gを使用した池は実施例】と同様
にしてアミノシラン変性エポキシ樹脂を合成した。収量
728g、WPE188 でありた。
ルノボラックのグリシジルエーテル化物(日本化薬(株
)裂EP−154,WPE 178゜平均分子量 7
00 ) 700 gを使用した池は実施例】と同様
にしてアミノシラン変性エポキシ樹脂を合成した。収量
728g、WPE188 でありた。
本品35.3 gと0−クレゾールノボラック(平均分
子量760)15.6gを混合し、160℃で4 hr
、更に180℃にて12hr反応させて硬化した樹脂の
Tgは155℃であり、α、=6.06×10 (°C
)、α2=18.01XIO(℃)であった。
子量760)15.6gを混合し、160℃で4 hr
、更に180℃にて12hr反応させて硬化した樹脂の
Tgは155℃であり、α、=6.06×10 (°C
)、α2=18.01XIO(℃)であった。
実施例4゜
実施例1で得られたアミノシラン変性エポキシ樹脂]O
g、o−クレゾールノボラック(平均分子i764 )
5.2 gをエチルセロソルブアセテート19gK溶
解し、0.2μmのフィルターにて濾過した溶液を用い
て、着色樹脂膜にスピンコード(2000rpmX20
秒)により塗布した。ブレベーク80℃X 1 hr、
ボストベーク160°(::X4hr処理後の膜は厚さ
0.6 μm のピンホールもない均一な膜が得られ
た。
g、o−クレゾールノボラック(平均分子i764 )
5.2 gをエチルセロソルブアセテート19gK溶
解し、0.2μmのフィルターにて濾過した溶液を用い
て、着色樹脂膜にスピンコード(2000rpmX20
秒)により塗布した。ブレベーク80℃X 1 hr、
ボストベーク160°(::X4hr処理後の膜は厚さ
0.6 μm のピンホールもない均一な膜が得られ
た。
この得られた腰を10%HC1,2NNaOH,N −
メチルピロリドンに60秒室温下浸漬しても着色樹脂膜
、保護膜共に何ら変化は認められなかった0 又、この得られた膜にセロテープを密着させた後、セロ
テープを剥離しても保護膜の剥離は認められなかった。
メチルピロリドンに60秒室温下浸漬しても着色樹脂膜
、保護膜共に何ら変化は認められなかった0 又、この得られた膜にセロテープを密着させた後、セロ
テープを剥離しても保護膜の剥離は認められなかった。
又、この得られた膜を200X2hr処理しても保護膜
の剥離は認められなかった。
の剥離は認められなかった。
又、o−クレゾールノボラックの使用量が2.6gでも
同様な性状の保護膜が得られた。
同様な性状の保護膜が得られた。
実施例5゜
実施例4において0−クレゾールノボラックの代りにフ
ェノールノボラック(平均分子量318)4.7gを使
用し、更に触媒として1−シアノエチル−2−エチル−
4−メチルイミダゾールO,1gを加えた他は同様にし
て着色樹脂膜に保護膜を形成した。得られた保護膜の膜
厚は0.55μmであり、その性状は、実施例4と同様
であった。
ェノールノボラック(平均分子量318)4.7gを使
用し、更に触媒として1−シアノエチル−2−エチル−
4−メチルイミダゾールO,1gを加えた他は同様にし
て着色樹脂膜に保護膜を形成した。得られた保護膜の膜
厚は0.55μmであり、その性状は、実施例4と同様
であった。
実施例6゜
実施例4においてO−タレゾールノボラックの代りにジ
アミノジフェニルメタン2.6gを使用し、触媒として
I−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾー
ル0.1gmえた他は実施例4と同様にして着色樹脂膜
に保護膜を形成した。得られた保護膜の膜厚は0.5μ
m であり、その性状は実施例4と同様であった。
アミノジフェニルメタン2.6gを使用し、触媒として
I−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾー
ル0.1gmえた他は実施例4と同様にして着色樹脂膜
に保護膜を形成した。得られた保護膜の膜厚は0.5μ
m であり、その性状は実施例4と同様であった。
実施例7゜
実施例4においてアミノシラン変性エポキシ樹脂として
実施例3で得られたフェノールノボラック系のアミノシ
ラン変性エポキシ樹脂8.4gを使用し、触媒としてト
リフェニルホスフィン0.09 gを茄えた他は実施例
4と同様にして着色樹脂膜に保護膜を形成した。得られ
た保護膜の膜厚は06μmであり、その性状は実施例4
と同様であった。
実施例3で得られたフェノールノボラック系のアミノシ
ラン変性エポキシ樹脂8.4gを使用し、触媒としてト
リフェニルホスフィン0.09 gを茄えた他は実施例
4と同様にして着色樹脂膜に保護膜を形成した。得られ
た保護膜の膜厚は06μmであり、その性状は実施例4
と同様であった。
実施例8゜
実施例1においてアミノシラン変性剤トしてX−22−
1660B−4(信越化学工業@製、平均分子量432
0 、メチル基:フェニル基=9: 11式(11に
おけろR1,R2は共に−CH2CH2CH2−である
)21gを使用した他は実施例1と同様にしてアミノシ
ラン変性エポキシ樹脂を合成した。収量715 g、W
PE216であった。
1660B−4(信越化学工業@製、平均分子量432
0 、メチル基:フェニル基=9: 11式(11に
おけろR1,R2は共に−CH2CH2CH2−である
)21gを使用した他は実施例1と同様にしてアミノシ
ラン変性エポキシ樹脂を合成した。収量715 g、W
PE216であった。
このようにして得られたアミノシラン変性エポキシ樹脂
30gと0−クレゾールノボラック(平均分子z76o
)+s、s′fr:混合し、160℃で4 hr更に1
80℃で8 hr反応させて硬化した樹脂のTgは15
8℃であった。
30gと0−クレゾールノボラック(平均分子z76o
)+s、s′fr:混合し、160℃で4 hr更に1
80℃で8 hr反応させて硬化した樹脂のTgは15
8℃であった。
CI′=6.28X10−5(’C−’)αz=17.
66X10−’(’C−’)比較例1゜ 実施例4においてアミノシラン変性エポキシ樹脂の代り
に実施例1で用いたEOCN−102sを9.5g用い
た他は実施例4と同様にして着色樹脂膜に保護膜を形成
したところ得られた保護膜は着色樹脂膜との濡れ性が悪
ぐピンホールが認められ、不均一な膜となった。
66X10−’(’C−’)比較例1゜ 実施例4においてアミノシラン変性エポキシ樹脂の代り
に実施例1で用いたEOCN−102sを9.5g用い
た他は実施例4と同様にして着色樹脂膜に保護膜を形成
したところ得られた保護膜は着色樹脂膜との濡れ性が悪
ぐピンホールが認められ、不均一な膜となった。
比較例2゜
実施例1においてアミノシラン変性剤とじてBX−16
−853(信越化学工業■製1式(])においてXがす
べてメチル基、平均分子量1500)35gを用いた他
は、実施例】と同様にしてアミノシラン変性エポキシ樹
脂を合成した。収量731g、WPE222であった。
−853(信越化学工業■製1式(])においてXがす
べてメチル基、平均分子量1500)35gを用いた他
は、実施例】と同様にしてアミノシラン変性エポキシ樹
脂を合成した。収量731g、WPE222であった。
このアミノシラン変性エポキシ樹脂はエチルセロソルブ
アセテート、ジグライムに難溶であり、均一な薄膜を形
成することはできなかった。
アセテート、ジグライムに難溶であり、均一な薄膜を形
成することはできなかった。
比較例3゜
ポリグリシジルメタクリレート(20%シクロヘキサノ
ン溶液)logにジアミノジフェニルメタン0.7gを
加え、これを着色樹脂膜に塗布し、プレベーク80℃X
0.5 hr、ボストベーク150℃X 4 hr処
理後の膜厚は0.45μmであった。得られた膜を18
0℃X 1 hr処理したりセロテープを密着させた後
セロテープを剥離したりすると着色樹脂膜から保護膜の
剥離が認められた。
ン溶液)logにジアミノジフェニルメタン0.7gを
加え、これを着色樹脂膜に塗布し、プレベーク80℃X
0.5 hr、ボストベーク150℃X 4 hr処
理後の膜厚は0.45μmであった。得られた膜を18
0℃X 1 hr処理したりセロテープを密着させた後
セロテープを剥離したりすると着色樹脂膜から保護膜の
剥離が認められた。
(発明の効果)
本発明の、フェニル基含有アミノシラン変性エポキシ樹
脂はフェニル基を含有することで有機溶媒に易溶となり
、薄膜形成が可能となった。
脂はフェニル基を含有することで有機溶媒に易溶となり
、薄膜形成が可能となった。
又5本発明のアミノシラン変性エポキシ樹脂を使用する
ことにより、レベリング性、濡れ性、密着性が向上し、
極めて優れた着色樹脂膜の保護膜が得られるようになる
。
ことにより、レベリング性、濡れ性、密着性が向上し、
極めて優れた着色樹脂膜の保護膜が得られるようになる
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 フェノールノボラック及び/又はクレゾールノボラ
ックのグリシジルエーテル化物と下記の構造を有するア
ミノシラン化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼ (但しXはメチル基又はフェニル基を表わ し、かつメチル基とフエニル基の数の比が 10:1〜1:10であり、R_1、R_2は炭素数2
〜3のアルキレン基を表わし、nは10〜 100の値を示す平均重合度である。) を反応させて得られるアミノシラン変性エポキシ樹脂。 2 フェノールノボラック及び/又はクレゾールノボラ
ックのグリシジルエーテル化物と下記の構造を有するア
ミノシラン化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼ (但しXはメチル基又はフェニル基を表わ し、かつ、メチル基とフェニル基の数の比が10:1〜
1:10であり、R_1、R_2は炭素数2〜3のアル
キレン基を表わし、nは10〜 100の値を示す平均重合度である。) を反応させて得られるアミノシラン変性エポキシ樹脂と
硬化剤を有機溶媒に溶解した後に皮膜を形成し、熱硬化
により薄膜をうることを特徴とする薄膜形成法。 3 着色樹脂膜の上にアミノシラン変性エポキシ樹脂と
硬化剤を溶解した有機溶媒を用いてオーバーコートし、
皮膜を形成し、熱硬化により薄膜を得る特許請求の範囲
第2項記載の薄膜形成法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22199986A JPS6377921A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 薄膜形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22199986A JPS6377921A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 薄膜形成法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6377921A true JPS6377921A (ja) | 1988-04-08 |
JPH0575004B2 JPH0575004B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=16775505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22199986A Granted JPS6377921A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 薄膜形成法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6377921A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01261464A (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-18 | Nippon Kayaku Co Ltd | 透明薄膜形成法 |
JPH01268721A (ja) * | 1988-07-09 | 1989-10-26 | Sunstar Eng Inc | シリコーン樹脂粒子の分散安定剤 |
US5180794A (en) * | 1989-04-27 | 1993-01-19 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Resin compositions and process for forming transparent thin films |
WO2007074660A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Kaneka Corporation | 感光性樹脂組成物およびその利用 |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP22199986A patent/JPS6377921A/ja active Granted
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01261464A (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-18 | Nippon Kayaku Co Ltd | 透明薄膜形成法 |
JPH01268721A (ja) * | 1988-07-09 | 1989-10-26 | Sunstar Eng Inc | シリコーン樹脂粒子の分散安定剤 |
US5180794A (en) * | 1989-04-27 | 1993-01-19 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Resin compositions and process for forming transparent thin films |
WO2007074660A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Kaneka Corporation | 感光性樹脂組成物およびその利用 |
JP4949270B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2012-06-06 | 株式会社カネカ | 感光性樹脂組成物およびその利用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0575004B2 (ja) | 1993-10-19 |
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