JPS6369285A - 感磁性半導体装置 - Google Patents
感磁性半導体装置Info
- Publication number
- JPS6369285A JPS6369285A JP61213631A JP21363186A JPS6369285A JP S6369285 A JPS6369285 A JP S6369285A JP 61213631 A JP61213631 A JP 61213631A JP 21363186 A JP21363186 A JP 21363186A JP S6369285 A JPS6369285 A JP S6369285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elements
- electrodes
- output
- magnetically sensitive
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 9
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 title abstract 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N52/00—Hall-effect devices
- H10N52/101—Semiconductor Hall-effect devices
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、入力部への通電により出力部に印加磁場に比
例した電圧を発生させる5Tff性素子、例えば、ホー
ル素子を基板上に配してなる感磁性半導体装置に関する
ものである。
例した電圧を発生させる5Tff性素子、例えば、ホー
ル素子を基板上に配してなる感磁性半導体装置に関する
ものである。
ホール素子は、該ホール素子における入力部に通電が行
われると、その出力部に印加磁場に比例した電圧を発生
させる。そして、この出力電圧を増大させるためには、
通常、このホール素子の形状を最適化する手法や、ホー
ル素子の片面あるいは両面に磁性体を配する手法が採用
されている。
われると、その出力部に印加磁場に比例した電圧を発生
させる。そして、この出力電圧を増大させるためには、
通常、このホール素子の形状を最適化する手法や、ホー
ル素子の片面あるいは両面に磁性体を配する手法が採用
されている。
最適なホール素子形状は、第4図に示す十字形ホール素
子1を第3図に示す直角形ホール素子2に等価変換する
ことにより導出される。そして、このときのホール素子
における出力vHは、下記に示す第1式及び第2式にて
与えられる。
子1を第3図に示す直角形ホール素子2に等価変換する
ことにより導出される。そして、このときのホール素子
における出力vHは、下記に示す第1式及び第2式にて
与えられる。
C
π b μ ・B
μはキャリアの容易度、Bは磁束密度、vcは入力電圧
、V、は出力電圧、at b、sは第3図に示す直角
形ホール素子1の各寸法である。
、V、は出力電圧、at b、sは第3図に示す直角
形ホール素子1の各寸法である。
上記第1式、及び、第2式によると、ホール素子の形状
を変えて出力電圧vHを増大させるためには、a /
bを小さく、fHを大きくすることが必要である。しか
しながら、fHは最大で1であり、また、a / bが
1.5よりも小さくなると、計算値よりも実際の出力電
圧が小さくなるので、a/bは近似計算の精度から1.
5よりも大であることが必要である。従って、ホール素
子の出力電圧vMには自ずと限界が生じてしまう。
を変えて出力電圧vHを増大させるためには、a /
bを小さく、fHを大きくすることが必要である。しか
しながら、fHは最大で1であり、また、a / bが
1.5よりも小さくなると、計算値よりも実際の出力電
圧が小さくなるので、a/bは近似計算の精度から1.
5よりも大であることが必要である。従って、ホール素
子の出力電圧vMには自ずと限界が生じてしまう。
本発明は、上記従来の問題点を考慮してなされたもので
あって、従来とは異なる手法で、感磁性素子の出力を向
上させる高感度な感磁性半導体装置の提供を目的とする
ものである。
あって、従来とは異なる手法で、感磁性素子の出力を向
上させる高感度な感磁性半導体装置の提供を目的とする
ものである。
本発明に係る感磁性半導体装置は、上記の目的を達成す
るために、入力部への通電により出力部に印加磁場に比
例した電圧を発生させる感磁性素子を同一基板上に複数
個配し、かつ、これら感磁性素子におけるそれぞれの入
力部同士を並列状態に、それぞれの出力部同士を直列状
態に接続して、各々の感磁性素子の起電力を容易に加算
し得るように構成したことを特徴とするものである。
るために、入力部への通電により出力部に印加磁場に比
例した電圧を発生させる感磁性素子を同一基板上に複数
個配し、かつ、これら感磁性素子におけるそれぞれの入
力部同士を並列状態に、それぞれの出力部同士を直列状
態に接続して、各々の感磁性素子の起電力を容易に加算
し得るように構成したことを特徴とするものである。
〔実施例1〕
本発明の一実施例を第1図に基づいて説明すれば、以下
の通りである。
の通りである。
本発明に係る感磁性半導体装置4は、基板5と、この基
板5上に形成された2個の感磁性素子である+−字形ホ
ール素子6・7とからなっている。一方の十字形ホール
素子6は、十字形をなす能動層(感磁性部)6aと、そ
の入力側の一方において形成された入力部をなすオーミ
ック電極8と、他方において形成され、上記オーミック
電極8と同様に入力部をなすオーミック電極9と、上記
能動i6aの出力側の一方において形成された出力部を
なすオーミック電極10と、上記出力側の他方におC)
で形成され、上記オーミック電極10と同様に出力部を
なすオーミック電極11とからなっている。また、他方
の十字形ホール素子7についても上記十字形ホール素子
6と同様、十字形をなす能動層7aと、その入力端にお
いて形成された入力部をなすオーミック電極8・9と、
その出力側において形成された出力部をなすオーミック
電極11・12とからなっている。ここで、各十字形ホ
ール素子6・7におけるオーミック電極11は、1つの
オーミック電極であり、このオーミック電極11は各素
子6・7における能動層6a・7aへのオーミック接続
部、及び、各素子6・7の素子間接続部をなしている。
板5上に形成された2個の感磁性素子である+−字形ホ
ール素子6・7とからなっている。一方の十字形ホール
素子6は、十字形をなす能動層(感磁性部)6aと、そ
の入力側の一方において形成された入力部をなすオーミ
ック電極8と、他方において形成され、上記オーミック
電極8と同様に入力部をなすオーミック電極9と、上記
能動i6aの出力側の一方において形成された出力部を
なすオーミック電極10と、上記出力側の他方におC)
で形成され、上記オーミック電極10と同様に出力部を
なすオーミック電極11とからなっている。また、他方
の十字形ホール素子7についても上記十字形ホール素子
6と同様、十字形をなす能動層7aと、その入力端にお
いて形成された入力部をなすオーミック電極8・9と、
その出力側において形成された出力部をなすオーミック
電極11・12とからなっている。ここで、各十字形ホ
ール素子6・7におけるオーミック電極11は、1つの
オーミック電極であり、このオーミック電極11は各素
子6・7における能動層6a・7aへのオーミック接続
部、及び、各素子6・7の素子間接続部をなしている。
また、オーミック電極8、及び、オーミック電極9もそ
れぞれ1つのオーミック電極であり、これらオーミック
電極8・9は各素子6・7における能動層6a・7aへ
のオーミック接続部、及び、各素子6・7の素子間接続
部、さらに、外部配線のためのポンディングパッド部を
なしている。そして、上記オーミック電極10・12は
、各素子6・7における能動層6a・7aへのオーミッ
ク接続部、及び、外部配線のためのポンディングパッド
部をなしている。従って、これら2個の十字形ホール素
子6・7は、それぞれの入力部同士を並列状態に、それ
ぞれの出力部同士を直列状態に接続されており、外部と
容易に配線可能となっている。
れぞれ1つのオーミック電極であり、これらオーミック
電極8・9は各素子6・7における能動層6a・7aへ
のオーミック接続部、及び、各素子6・7の素子間接続
部、さらに、外部配線のためのポンディングパッド部を
なしている。そして、上記オーミック電極10・12は
、各素子6・7における能動層6a・7aへのオーミッ
ク接続部、及び、外部配線のためのポンディングパッド
部をなしている。従って、これら2個の十字形ホール素
子6・7は、それぞれの入力部同士を並列状態に、それ
ぞれの出力部同士を直列状態に接続されており、外部と
容易に配線可能となっている。
上記の構成において、上記十字形ホール素子6・7の入
力部に電圧が印加されると、各素子6・7に電流が流れ
る。この電流と直角方向の磁場が存在すると、ローレン
ツ力によりそれぞれの素子6・7の出力部に、上記電流
の方向と磁場の方向との双方に直角方向をなす起電力が
発生する。ここで、これら十字形ホール素子6・7は、
上述のとと(、その出力部が直列状態に接続されている
ので、各十字形ホール素子6・7の起電力は、出力部が
閉回路を形成している部分で低下するものの、全体とし
ては増加する。
力部に電圧が印加されると、各素子6・7に電流が流れ
る。この電流と直角方向の磁場が存在すると、ローレン
ツ力によりそれぞれの素子6・7の出力部に、上記電流
の方向と磁場の方向との双方に直角方向をなす起電力が
発生する。ここで、これら十字形ホール素子6・7は、
上述のとと(、その出力部が直列状態に接続されている
ので、各十字形ホール素子6・7の起電力は、出力部が
閉回路を形成している部分で低下するものの、全体とし
ては増加する。
〔実施例2〕
本発明の他の実施例を第2図に基づいて説明すれば、以
下の通りである。なお、上記実施例1と同一の機能を有
する部材には、同一の符号を付記しである。
下の通りである。なお、上記実施例1と同一の機能を有
する部材には、同一の符号を付記しである。
本実施例における感磁性半導体装置4は、基板5と、こ
の基板5上に形成された直角形ホール素子13・14・
15とからなっている。これら直角形ホール素子13・
14・15の能動層13a・14a・15aは、各々直
角形をなしており、これら能動層13a・14a・15
aにおける再入力側には、入力部をなすオーミック電極
16・17が形成されている。また、これら能動層13
a・14a・15aにおける出力側には、オーミック電
極18・19・20・21が形成されている。従って、
これら3個の直角形ホール素子13・14・15は、そ
れぞれの入力部同士を並列状態に、それぞれの出力部同
士を直列状態に接続させてあり、しかも、外部と容易に
配線可能になっている。
の基板5上に形成された直角形ホール素子13・14・
15とからなっている。これら直角形ホール素子13・
14・15の能動層13a・14a・15aは、各々直
角形をなしており、これら能動層13a・14a・15
aにおける再入力側には、入力部をなすオーミック電極
16・17が形成されている。また、これら能動層13
a・14a・15aにおける出力側には、オーミック電
極18・19・20・21が形成されている。従って、
これら3個の直角形ホール素子13・14・15は、そ
れぞれの入力部同士を並列状態に、それぞれの出力部同
士を直列状態に接続させてあり、しかも、外部と容易に
配線可能になっている。
上記の構成において、上記直角形ホール素子13・14
・15の入力部に電圧が印加されると、各素子13・1
4・15に電流が流れる。この電流と直角方向の磁場が
存在すると、ローレンツ力によりそれぞれの素子13・
14・15の出力部に、上記電流の方向と磁場の方向と
の双方に直角方向をなす起電力が発生する。ここで、こ
れら直角形ホール素子13・14・15は、上述のごと
く、その出力部が直列状態に接続されているので、直角
形ホール素子13・14・15の起電力は、出力部が閉
回路を形成している部分で低下するものの全体としては
増加する。
・15の入力部に電圧が印加されると、各素子13・1
4・15に電流が流れる。この電流と直角方向の磁場が
存在すると、ローレンツ力によりそれぞれの素子13・
14・15の出力部に、上記電流の方向と磁場の方向と
の双方に直角方向をなす起電力が発生する。ここで、こ
れら直角形ホール素子13・14・15は、上述のごと
く、その出力部が直列状態に接続されているので、直角
形ホール素子13・14・15の起電力は、出力部が閉
回路を形成している部分で低下するものの全体としては
増加する。
本発明に係る感磁性半導体装置は、以上のように、入力
部への通電により出力部に印加磁場に比例した電圧を発
生させる感磁性素子を同一基板上に複数個配し、かつ、
これら感磁性素子におけるそれぞれの入力部同士を並列
状態に、それぞれの出力部同士を直列状態に接続した構
成である。これにより、出力部が閉回路を形成している
部分での低下はあるものの、各々の感磁性素子の起電力
を加算することが可能となる。よって、通常の感磁性素
子より出力電圧を向上させることができる。
部への通電により出力部に印加磁場に比例した電圧を発
生させる感磁性素子を同一基板上に複数個配し、かつ、
これら感磁性素子におけるそれぞれの入力部同士を並列
状態に、それぞれの出力部同士を直列状態に接続した構
成である。これにより、出力部が閉回路を形成している
部分での低下はあるものの、各々の感磁性素子の起電力
を加算することが可能となる。よって、通常の感磁性素
子より出力電圧を向上させることができる。
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図は本発
明の他の実施例を示す平面図、第3図は直角形ホール素
子を示す斜視図、第4図は十字形ホール素子を示す斜視
図である。 4は感磁性半導体装置、5は基板、6・7は十字形ホー
ル素子(感磁性素子)、6a・7aは能動層、8・9は
オーミック電極(入力部)、10〜12はオーミック電
極(出力部)、13〜15は直角形ホール素子(感磁性
素子)、16・17はオーミック電極(入力部)、18
〜21はオーミック電極(出力部)である。 第1図 第2図 第3図 第4図 入t′J塙壬
明の他の実施例を示す平面図、第3図は直角形ホール素
子を示す斜視図、第4図は十字形ホール素子を示す斜視
図である。 4は感磁性半導体装置、5は基板、6・7は十字形ホー
ル素子(感磁性素子)、6a・7aは能動層、8・9は
オーミック電極(入力部)、10〜12はオーミック電
極(出力部)、13〜15は直角形ホール素子(感磁性
素子)、16・17はオーミック電極(入力部)、18
〜21はオーミック電極(出力部)である。 第1図 第2図 第3図 第4図 入t′J塙壬
Claims (1)
- 1、入力部への通電により出力部に印加磁場に比例した
電圧を発生させる感磁性素子を同一基板上に複数個配し
、かつ、これら感磁性素子におけるそれぞれの入力部同
士を並列状態に、それぞれの出力部同士を直列状態に接
続したことを特徴とする感磁性半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61213631A JPS6369285A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 感磁性半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61213631A JPS6369285A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 感磁性半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6369285A true JPS6369285A (ja) | 1988-03-29 |
Family
ID=16642352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61213631A Pending JPS6369285A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 感磁性半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6369285A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016148673A (ja) * | 2011-10-10 | 2016-08-18 | アーエムエス アクチエンゲゼルシャフトams AG | ホールセンサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5357984A (en) * | 1976-11-05 | 1978-05-25 | Toshiba Corp | Hall effect device |
JPS5748265A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-19 | Rohm Co Ltd | Magnetic coupler |
JPS582085A (ja) * | 1981-06-26 | 1983-01-07 | Toshiba Corp | ホ−ル素子装置 |
JPS58154263A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-13 | Seiko Instr & Electronics Ltd | ホ−ルic |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP61213631A patent/JPS6369285A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5357984A (en) * | 1976-11-05 | 1978-05-25 | Toshiba Corp | Hall effect device |
JPS5748265A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-19 | Rohm Co Ltd | Magnetic coupler |
JPS582085A (ja) * | 1981-06-26 | 1983-01-07 | Toshiba Corp | ホ−ル素子装置 |
JPS58154263A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-13 | Seiko Instr & Electronics Ltd | ホ−ルic |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016148673A (ja) * | 2011-10-10 | 2016-08-18 | アーエムエス アクチエンゲゼルシャフトams AG | ホールセンサ |
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