JPS6344727A - スピンナ− - Google Patents
スピンナ−Info
- Publication number
- JPS6344727A JPS6344727A JP18892386A JP18892386A JPS6344727A JP S6344727 A JPS6344727 A JP S6344727A JP 18892386 A JP18892386 A JP 18892386A JP 18892386 A JP18892386 A JP 18892386A JP S6344727 A JPS6344727 A JP S6344727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- resist
- cup
- spinner
- coating plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 7
- 101150038956 cup-4 gene Proteins 0.000 abstract description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハ等の表面にレジストを塗布−ｆるスピン
ナーに関する。
ナーに関する。
従来、第３図に示すようにウェハ等を支持するターンテ
ーブルとスピンナ一本体の内壁との間には何も設けられ
ていないスピンナーが知られていた。
ーブルとスピンナ一本体の内壁との間には何も設けられ
ていないスピンナーが知られていた。
しかし、従来のスピンナーは、ウェハ等の表面にレジス
トを塗布する際、回転するウェハより１赦したレジスト
ａがスピンナ一本体の内壁に衝突してはね返り、前記ウ
ェハ等のレジスト塗布面に再付着して厚みむらや染みを
生ずるという問題点を有していた。
トを塗布する際、回転するウェハより１赦したレジスト
ａがスピンナ一本体の内壁に衝突してはね返り、前記ウ
ェハ等のレジスト塗布面に再付着して厚みむらや染みを
生ずるという問題点を有していた。
そこで本発明は従来のこのような問題点を解決するため
、レジスト塗布面にレジスト滴がはね返らないスピンナ
ーを得ることを目的としている。
、レジスト塗布面にレジスト滴がはね返らないスピンナ
ーを得ることを目的としている。
本発明のスピンナーにおいて、前記ウェハ等を支持する
ターンテーブルの外局部の外側にカップを本体に着脱可
能に設け、前記カップの高さが前記ウェハ等のレジスト
塗布面の高さよりも高くなるような高さに形成され、か
つ前記カップの内壁面に多孔質または繊維質の吸温材が
取付けられていることを特徴とする。
ターンテーブルの外局部の外側にカップを本体に着脱可
能に設け、前記カップの高さが前記ウェハ等のレジスト
塗布面の高さよりも高くなるような高さに形成され、か
つ前記カップの内壁面に多孔質または繊維質の吸温材が
取付けられていることを特徴とする。
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は本発明のスピンナー上部の断面図であって、ウェ
ハ１はコの字形の本体６に係合する軸３に取付けられて
いるターンテーブル２によって支持され、軸３によって
回転する。ウェハ１を支持するターンテーブル２の外周
部の外側にはカップ４が本体６に着脱可能に設けられて
おり、スピンジなどの多孔質材料やガーゼやフェルドナ
どの繊維質材料よりなる吸温材５がウェハのレジスト塗
布面の高さよりも高くなるように形成され、カップ４の
内壁に取付けられている。ウェハ１にレジストを塗布す
る際、ウェハ１のレジスト塗布面に滴下されたレジスト
は、ターンテーブル２の回転によってウェハ１も回転さ
せられて遠心力によって外周方向に飛散させられるが、
飛散させられたレジスト滴はカップの内壁面に取付けら
れた吸温材５に吸着されるのである。この結果、レジス
ト滴のはね返りが起こらず、ウェハ１の表面に均一で欠
陥のないレジスト塗布面が得られる。
１図は本発明のスピンナー上部の断面図であって、ウェ
ハ１はコの字形の本体６に係合する軸３に取付けられて
いるターンテーブル２によって支持され、軸３によって
回転する。ウェハ１を支持するターンテーブル２の外周
部の外側にはカップ４が本体６に着脱可能に設けられて
おり、スピンジなどの多孔質材料やガーゼやフェルドナ
どの繊維質材料よりなる吸温材５がウェハのレジスト塗
布面の高さよりも高くなるように形成され、カップ４の
内壁に取付けられている。ウェハ１にレジストを塗布す
る際、ウェハ１のレジスト塗布面に滴下されたレジスト
は、ターンテーブル２の回転によってウェハ１も回転さ
せられて遠心力によって外周方向に飛散させられるが、
飛散させられたレジスト滴はカップの内壁面に取付けら
れた吸温材５に吸着されるのである。この結果、レジス
ト滴のはね返りが起こらず、ウェハ１の表面に均一で欠
陥のないレジスト塗布面が得られる。
第２図において、１４は吸温材のみよりなるカップであ
って、ウェハのレジスト塗布面の高さより高くなるよう
に形成されておりレジスト滴を大量に吸収した際はカッ
プ１４をそっくり交換する、このようにカップをレジス
ト塗布面より高く形成し、吸温材で作製することによっ
て、本体をレジスト付着により清掃する手間が省けるの
みならず、カップと吸温材とを相互に脱着させることが
不要になるという利点を有する。
って、ウェハのレジスト塗布面の高さより高くなるよう
に形成されておりレジスト滴を大量に吸収した際はカッ
プ１４をそっくり交換する、このようにカップをレジス
ト塗布面より高く形成し、吸温材で作製することによっ
て、本体をレジスト付着により清掃する手間が省けるの
みならず、カップと吸温材とを相互に脱着させることが
不要になるという利点を有する。
本発明は、以上説明したように、ウェハ等の周囲をレジ
スト塗布面より高く形成し、多孔質または繊維質である
吸温材で囲んだという簡単な構造によって、レジスト滴
のはね返りを防ぎ、均一で欠陥のないレジスト塗布面を
得ることができる効果がある。
スト塗布面より高く形成し、多孔質または繊維質である
吸温材で囲んだという簡単な構造によって、レジスト滴
のはね返りを防ぎ、均一で欠陥のないレジスト塗布面を
得ることができる効果がある。
第１図は、本発明の実施例を示すスピンナーの縦断面図
。 第２図は、本発明の他の実施例を示すスピンナーの縦断
面図。 第３図は、従来のスピンナーの縦断面図。 １・・・・・・・・・ウェハ ２・・・・・・・・・ターンテーブル ３・・・・・・・・・軸 ４．１４・・・カップ ５・・・・・・・・・吸温材 ６・・・・・・・・・本 体 以上
。 第２図は、本発明の他の実施例を示すスピンナーの縦断
面図。 第３図は、従来のスピンナーの縦断面図。 １・・・・・・・・・ウェハ ２・・・・・・・・・ターンテーブル ３・・・・・・・・・軸 ４．１４・・・カップ ５・・・・・・・・・吸温材 ６・・・・・・・・・本 体 以上
Claims (1)
- ウェハ等の表面にレジストを塗布するスピンナーにお
いて、前記ウェハ等を支持するターンテーブル外周部の
外側にカップを本体に着脱可能に設け、前記カップの高
さが前記ウェハ等のレジスト塗布面の高さよりも高くな
るような高さに形成され、かつ前記カップの内壁面に多
孔質または繊維質の吸温材が取付けられていることを特
徴とするスピンナー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18892386A JPS6344727A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | スピンナ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18892386A JPS6344727A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | スピンナ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344727A true JPS6344727A (ja) | 1988-02-25 |
Family
ID=16232248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18892386A Pending JPS6344727A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | スピンナ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344727A (ja) |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP18892386A patent/JPS6344727A/ja active Pending
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