JPS6343444Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (1) 考案の技術分野 本考案は顕微鏡等の検査装置の試料を搭載する
載物台の特に大量の検査に適する構造に関す。

(2) 技術の背景 半導体集積回路等の製造工程において、半導体
の活性領域、電極或いは配線等の形成に光或いは
電子ビームを用いたリングラフイ法が広く用いら
れており、その際に各種のパターンをレジスト等
に形成するためには、マスクを用いて露光処理を
行うことが通常行われている。

このマスクは使用に先立つて詳細な検査が行わ
れるが、マスクが次第に精密、微細化し、かつ数
量が増加するに伴つてその検査が大きい比重を占
めることとなり、マスクの検査についてもその質
と量について能力の向上が求められている。

(3) 従来技術と問題点 マスクに形成されたパターンを拡大して検査す
るために顕微鏡が用いられるが、試料と顕微鏡の
対物レンズとの間隔の許容範囲が狭いために、試
料が交換されたとき、或いは同一試料についても
検査位置が移動するときに、レンズ側或いは載物
台側の調節移動が必要となることが多い。その原
因の例としては、交換前後の試料間の厚さの差、
ごみ等が介在することにより試料面が光軸に対し
て垂直の位置からずれることなどがある。

従来の載物台でその載物面と光軸とのなす角度
を調整可能とするために、三個所のねじ送り機構
によつて載物面を移動する構造のものがある。こ
の構造の載物台を用いて試料面を光軸に垂直に調
整し、また対物レンズと試料面との間隔を調整す
ることは可能ではあるが、迂遠でありまた検査装
置として自動化するのになじみ難い構造であつ
て、自動化になじみ易い簡明な構造が要求され
る。

(4) 考案の目的 本考案は顕微鏡等の検査装置の試料を搭載する
載物台において、該試料の被検査面を所要の位置
に置く確実で大量の検査に適した構造を提供する
ことを目的とする。

(5) 考案の構成 本考案の前記目的は、試料をフロート上に置
き、該試料を該フロートと共に液体物質により浮
上させて、位置決めストツパーに該試料の上面の
一部を接触させることにより達成される。

(6) 考案の実施例 以下本考案を実施例により図面を参照して具体
的に説明する。

第１図ａは本考案の一実施例の平面図、第１図
ｂはその−′断面図である。図において１は
被検査試料であつて、その上面を顕微鏡により検
査するものとする。試料１は予めホルダー２上に
置かれている。本実施例においてホルダー２はフ
ロートを兼ねるためにその底面及び側面は密閉さ
れており、更に試料１を搭載したときにかなりの
空間３が残る高さの側板を備えている。

本実施例の載物台の基板４は図に示す如く矩形
の箱状をなし、その一辺はホルダー２を１個収容
するに足る程度、他の一辺はホルダー２の供給、
取出しに足る余裕が与えられている。この基板４
内に液体物質５が収容されて、試料１を搭載した
前記のフロートを兼ねるホルダー２は基板４上に
置かれたとき、この液体物質５によつて浮上す
る。

他方本実施例においては、水平面を与える３個
の位置決めストツパー６が配設されている。前記
の試料１を搭載したフロートを兼ねるホルダー２
が、これを水平方向に送る機構（図では省略）に
より、第１図ａに示す位置に置かれた後に、位置
決めストツパー６が移動して所定の水平面を与え
る位置につく。このとき、位置決めストツパー６
は試料１の上面の端の部分に接触し、試料１は浮
力によつて下方から支えられているためにその上
面が位置決めストツパー６によつて決定される水
平面に保持される。

また第２図は本考案の他の実施例を示す模式断
面図であり、第２図において、第１図ａもしくは
ｂと同一符号は同一対象物を示す。本実施例にお
いては、ホルダー２′はフロートを兼ねず、別に
フロート７を設けている。また位置決めストツパ
ー６′は前記例の如く、試料１の供給、取出しに
際して移動せず、所定の水平面を更に確実に与え
る構造である。

本実施例においては、液体物質５が基板４の底
部に設けられた管８によつて該載物台外に設けら
れたタンク９と流通し得る構造を有し、タンク９
を移動し、或いはタンク９内において該液体物質
５に圧力を加えもしくは圧力を減ずることによつ
て、基板４内の該液体物質５の量を増減して試料
１の高さを容易に変化することが可能である。

この機能を利用して、試料１、ホルダー２′及
びフロート７を水平方向に送る試料１の供給、取
出しに際しては、液体物質５の基板４内の量を減
少することによつて試料１を低くし、水平方向の
移動終了後に液体物質５の基板４内の量を増加し
て、試料１の上面を位置決めストツパー６′に接
触させることによつて、この面が所定の位置に保
持される。

なお、前記実施例においては試料１の上面を３
点で決定される水平面に保持するとしたが、浮力
による回転トルクを生じない条件を選択すること
により、２点によつて位置決めを行うことが可能
な場合もある。

また、試料１に反りがある場合等には、水平位
置を基準として位置決めストツパーに微細調整を
加えることによつて追随することも可能である。

(7) 考案の効果 本考案は以上説明した如く、顕微鏡等の検査装
置に関して、試料をフロート上に置き、該試料を
該フロートと共に液体物質により浮上させて、位
置決めストツパーに該試料の上面の一部を接触さ
せることにより、該試料面を所要の位置に保持す
る載物台を提供するものであつて、被検査面を正
確な位置に保持し、かつ自動化になじみ易く、半
導体装置の製造工程に使用されるマスク等の大量
の検査の質と量についての能力向上に大きい効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案の実施例を示す平面図、第１
図ｂはその−′断面図、第２図は他の実施例
を示す模式断面図である。 図において、１は試料、２及び２′はホルダー、
３は空間、４は基板、５は液体物質、６及び６′
は位置決めストツパー、７はフロート、８は管、
９はタンクを示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料をフロート上に置き、該試料を該フロート
   と共に液体物質により浮上させて、位置決めスト
   ツパーに該試料の上面の一部を接触させることに
   より、該試料面を所要の位置に保持することを特
   徴とする載物台。