KR100546498B1 - 시험편절삭기와 이를 이용한 시험편 분할방법 - Google Patents
시험편절삭기와 이를 이용한 시험편 분할방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100546498B1 KR100546498B1 KR1020030082492A KR20030082492A KR100546498B1 KR 100546498 B1 KR100546498 B1 KR 100546498B1 KR 1020030082492 A KR1020030082492 A KR 1020030082492A KR 20030082492 A KR20030082492 A KR 20030082492A KR 100546498 B1 KR100546498 B1 KR 100546498B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- test piece
- notch
- stage
- distance
- point
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/286—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising
- G01N2001/2873—Cutting or cleaving
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Description
Claims (13)
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 개구를 갖는 재물대, 렌즈셋, 제1위치조정기를 갖는 현미경과,끝부분을 가지며 상기 재물대의 아래에 설치되는 절삭기를 갖는 정밀절삭장치를 이용한 시험편 분할방법에 있어서,목표점이 있는 표면을 갖는 시험편을 제공하는 단계;상기 표면이 상기 재물대와 접촉하며 상기 목표점이 상기 개구의 범위 내에 배치되도록 상기 시험편을 상기 재물대에 고정하는 단계;상기 목표점의 명확한 상을 얻기 위해 상기 렌즈셋의 배율을 조정하는 단계;상기 표면에 제1노치와 제2노치를 형성하되, 상기 제1노치와 상기 제2노치는 기설정된 선상에 위치한 상기 목표점과 정렬되고 상기 제1노치와 상기 제2노치의 인접하는 끝지점사이의 거리는 제1거리가 되도록 하는 단계;상기 기설정된 선을 따라 상기 시험편을 분할하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀절삭장치를 이용한 시험편 분할방법.
- 제8항에 있어서,상기 제1거리는 1mm에서 50㎛ 내인 것을 특징으로 하는 시험편 분할방법.
- 제8항에 있어서,상기 표면과 접촉하도록 상기 절삭기의 상기 끝부분의 수직 위치를 변경하는 단계;상기 표면상의 제1지점에 도달하도록 상기 끝부분의 위치를 변경하기 위해 상기 제1위치조정기에 의해 상기 재물대에 배치된 상기 시험편을 이동하는 단계;상기 시험편에 삽입되도록 상기 절삭기를 제2거리만큼 상승시키는 단계;상기 제1노치를 형성하도록 상기 제1위치조정기에 의해 상기 시험편을 이동시키는 단계;상기 제2거리만큼 상기 절삭기를 하강시키는 단계;상기 표면상의 제2지점에 도달하도록 상기 끝부분의 위치를 변경하기 위해 상기 제1위치조정기에 의해 상기 시험편을 이동하는 단계;상기 시험편에 삽입되도록 상기 절삭기를 상기 제2거리만큼 상승시키는 단계;상기 제2노치를 형성하도록 상기 제1위치조정기에 의해 상기 시험편을 이동시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시험편 분할방법.
- 제10항에 있어서,상기 제1지점과 상기 제2지점은 상기 제1노치와 상기 제2노치에서 상기 목표점에 가장 가까운 점인 것을 특징으로 하는 시험편 분할방법.
- 제10항에 있어서,상기 제2거리는 50㎛에서 10㎛인 것을 특징으로 하는 시험편 분할방법.
- 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030082492A KR100546498B1 (ko) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 시험편절삭기와 이를 이용한 시험편 분할방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030082492A KR100546498B1 (ko) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 시험편절삭기와 이를 이용한 시험편 분할방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050048779A KR20050048779A (ko) | 2005-05-25 |
KR100546498B1 true KR100546498B1 (ko) | 2006-01-26 |
Family
ID=37247401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030082492A KR100546498B1 (ko) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 시험편절삭기와 이를 이용한 시험편 분할방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100546498B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100773925B1 (ko) * | 2006-02-08 | 2007-11-06 | 제주대학교 산학협력단 | 미세 물질층 상의 전극 형성 방법 |
CN113916623A (zh) * | 2021-07-02 | 2022-01-11 | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) | 一种基于显微观测的微细切屑镶样实验台 |
-
2003
- 2003-11-20 KR KR1020030082492A patent/KR100546498B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050048779A (ko) | 2005-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4557599A (en) | Calibration and alignment target plate | |
US3937579A (en) | Process for the double-sided exposure of a semiconductor or substrate plates, especially wafers, as well as apparatus for the purpose of parallel and rotational alignment of such a plate | |
US8017424B2 (en) | Dual-sided substrate measurement apparatus and methods | |
JP2523227Y2 (ja) | 異物検査装置 | |
TWI746820B (zh) | 聚光點位置檢測方法 | |
US10773420B2 (en) | Device and method for cleaving a substrate | |
KR20170027268A (ko) | 시료 홀더 및 시료 홀더군 | |
KR100546498B1 (ko) | 시험편절삭기와 이를 이용한 시험편 분할방법 | |
US5726454A (en) | Tripod for polishing a sample and for viewing the sample under a microscope | |
JP3719965B2 (ja) | 位置合わせ装置及び位置合わせ方法 | |
JPS5918950A (ja) | 加工片上へのマスクの投影転写装置およびその調整方法 | |
JP4045222B2 (ja) | 精密切欠き装置及びそれを用いた試験片の割断方法 | |
JP3210827B2 (ja) | プローバのアライメント方法及び装置 | |
JP3223181B2 (ja) | プローブ装置 | |
US7173259B2 (en) | Automatically aligning objective aperture for a scanning electron microscope | |
EP1092945B1 (de) | Messgerät und Verfahren zum Vermessen von Strukturen auf Substraten verschiedener Dicke | |
JP2001007043A (ja) | 矩形ビーム用マスクアライメント方法 | |
US4544244A (en) | Optical microscope viewing head with high and low magnification | |
JPH0536768A (ja) | プローブ装置 | |
JPH02190813A (ja) | 試料容器の水平調節方法及び装置 | |
JP3042762B2 (ja) | 素子のボンディング方法及びその装置 | |
CN1217771C (zh) | 试片的精密切割装置及其裂片方法 | |
JP2005005402A (ja) | 位置合わせ装置 | |
JPS61168853A (ja) | 検査装置 | |
KR20040037958A (ko) | 커팅 각도 조절 장치 및 이를 이용한 투과 전자현미경분석용 시편 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
AMND | Amendment | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130104 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140103 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150105 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151217 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161221 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180104 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200106 Year of fee payment: 15 |