JPS6342860B2 - - Google Patents
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- JPS6342860B2 JPS6342860B2 JP56034439A JP3443981A JPS6342860B2 JP S6342860 B2 JPS6342860 B2 JP S6342860B2 JP 56034439 A JP56034439 A JP 56034439A JP 3443981 A JP3443981 A JP 3443981A JP S6342860 B2 JPS6342860 B2 JP S6342860B2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/074—Stacked arrangements of non-apertured devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16245—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/17—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
- H01L2224/171—Disposition
- H01L2224/1718—Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置、特に樹脂封止型半導体装
置に関するものである。
置に関するものである。
従来より半導体装置のパツケージは、その素子
の必要リード数によつてパツケージ本体外形の大
きさがほぼ決つている。つまり、リードのピツチ
が国際的にも1/10インチとか1/20インチなどに決
められている。また、このピツチを更に小さくし
たとしても、近年、半導体素子の機能向上に伴
い、リード数が増加してパツケージ本体の外形が
大きくなり、種々の問題を生じさせている。例え
ば、プラスチツクパツケージの場合では、パツケ
ージ本体が大きくなつて成型が困難になり、パツ
ケージのそりあるいは寸法誤差が大きくなる等の
問題が生じる。これはパツケージ外型の大きさば
かりでなく、実装される半導体素子の電気的特性
を悪化させる原因ともなる。また、パツケージが
大きくなることで、当然、外部回路基板に対して
も実装密度が上がらないという欠点がある。
の必要リード数によつてパツケージ本体外形の大
きさがほぼ決つている。つまり、リードのピツチ
が国際的にも1/10インチとか1/20インチなどに決
められている。また、このピツチを更に小さくし
たとしても、近年、半導体素子の機能向上に伴
い、リード数が増加してパツケージ本体の外形が
大きくなり、種々の問題を生じさせている。例え
ば、プラスチツクパツケージの場合では、パツケ
ージ本体が大きくなつて成型が困難になり、パツ
ケージのそりあるいは寸法誤差が大きくなる等の
問題が生じる。これはパツケージ外型の大きさば
かりでなく、実装される半導体素子の電気的特性
を悪化させる原因ともなる。また、パツケージが
大きくなることで、当然、外部回路基板に対して
も実装密度が上がらないという欠点がある。
本発明の目的はパツケージの厚みの増大を最小
限に止めて多機能を実現し得る半導体装置を提供
することにある。
限に止めて多機能を実現し得る半導体装置を提供
することにある。
本発明による半導体装置は、パツケージの対向
する二つの面の夫々から外部リードが複数列に導
出されかつ各列には複数の外部リードが配置され
ており、さらにパツケージは、それぞれの半導体
基板の表面に素子が形成されるとともに複数の電
極が設けられ各基板の裏面同士が接着された二つ
の半導体チツプと、絶縁フイルム上に多数の導体
層が形成されこれらによつて各チツプの電極の
夫々を対応する外部リードにそれぞれ接続する二
つのフイルムキヤリアとを封止していることを特
徴とする。
する二つの面の夫々から外部リードが複数列に導
出されかつ各列には複数の外部リードが配置され
ており、さらにパツケージは、それぞれの半導体
基板の表面に素子が形成されるとともに複数の電
極が設けられ各基板の裏面同士が接着された二つ
の半導体チツプと、絶縁フイルム上に多数の導体
層が形成されこれらによつて各チツプの電極の
夫々を対応する外部リードにそれぞれ接続する二
つのフイルムキヤリアとを封止していることを特
徴とする。
まず、第1図に示すように、半導体基板1表面
上に形成された半導体素子のボンデイングパツド
2上に、Cr−Cu−Au等の金属層3を形成してバ
ンピングを行なつた後、表面に所定形状で導体層
が施された絶縁フイルム(いわゆるフイルムキヤ
リア)を用いてインナーリード4を形成する。次
に第2図に示すように、アウターリード(すなわ
ち、外部リード)5をインナーリード4に熱圧着
法、共晶接合法等を用いて接続する。以上の工程
は、従来のフイルムキヤリアを用いたいわゆる
TAB組立方式と全く同様の方法で容易に行うこ
とができる。
上に形成された半導体素子のボンデイングパツド
2上に、Cr−Cu−Au等の金属層3を形成してバ
ンピングを行なつた後、表面に所定形状で導体層
が施された絶縁フイルム(いわゆるフイルムキヤ
リア)を用いてインナーリード4を形成する。次
に第2図に示すように、アウターリード(すなわ
ち、外部リード)5をインナーリード4に熱圧着
法、共晶接合法等を用いて接続する。以上の工程
は、従来のフイルムキヤリアを用いたいわゆる
TAB組立方式と全く同様の方法で容易に行うこ
とができる。
次に、上述によりアウターリードを形成したも
う一つの半導体素子を用意し、そしてこれらを第
3図に示すようにそれらの基板裏面が互いに向き
合うように位置させ、しかる後にプラスチツクモ
ールド形成を行なつて容器6を構成する。以上の
方法により、パツケージ6側面の突出し外部リー
ド5が同一平面上にそろうことなく引き出されて
いる。また、突出し外部リードはモールド成形
後、第4図a,bおよび第5図a,bに示すよう
に、互いに逆方向又は同方向に折り曲げることも
できる。かかる半導体装置によれば、パツケージ
6の外形が従来に比して若干大きくなるだけで、
素子の実装密度や信頼性は比躍的に向上する。
尚、2つの半導体素子は互いに接触しているが、
その場所は基板1の裏面であるために、何ら不都
合なことはない。
う一つの半導体素子を用意し、そしてこれらを第
3図に示すようにそれらの基板裏面が互いに向き
合うように位置させ、しかる後にプラスチツクモ
ールド形成を行なつて容器6を構成する。以上の
方法により、パツケージ6側面の突出し外部リー
ド5が同一平面上にそろうことなく引き出されて
いる。また、突出し外部リードはモールド成形
後、第4図a,bおよび第5図a,bに示すよう
に、互いに逆方向又は同方向に折り曲げることも
できる。かかる半導体装置によれば、パツケージ
6の外形が従来に比して若干大きくなるだけで、
素子の実装密度や信頼性は比躍的に向上する。
尚、2つの半導体素子は互いに接触しているが、
その場所は基板1の裏面であるために、何ら不都
合なことはない。
尚、ここでは、デユアルライン型パツケージの
例を示したが、クワツド形パツケージ、シングル
ライン形等の他の半導体パツケージも同様な構造
にできる。また、リードの配置は互い違いにする
こともできる。また本実施例と同様の方法で突出
しリードを3段以上にすることもできる。
例を示したが、クワツド形パツケージ、シングル
ライン形等の他の半導体パツケージも同様な構造
にできる。また、リードの配置は互い違いにする
こともできる。また本実施例と同様の方法で突出
しリードを3段以上にすることもできる。
第1乃至第3図は本発明の第1の実施例による
半導体装置を製造順に示した断面図、第4図およ
び第5図のaとbはそれぞれ外部リードの成形状
態を示した側面図と斜視図である。 1……半導体素子が形成された半導体基板、2
……ボンデイングパツド、3……バンピングした
金属電極、4……インナーリード、5……アウタ
ーリード、6……モールド樹脂。
半導体装置を製造順に示した断面図、第4図およ
び第5図のaとbはそれぞれ外部リードの成形状
態を示した側面図と斜視図である。 1……半導体素子が形成された半導体基板、2
……ボンデイングパツド、3……バンピングした
金属電極、4……インナーリード、5……アウタ
ーリード、6……モールド樹脂。
Claims (1)
- 1 封止容器の対向する二つの面の夫々から外部
リードが複数列に導出され、かつ、各列には複数
の外部リードが配置されている半導体装置におい
て、前記封止容器は、それぞれの半導体基板の表
面に半導体素子が形成されるとともに複数の電極
が設けられ各基板の裏面同士が接着された二つの
半導体チツプと、絶縁フイルム上に複数の導体層
が形成されこれら導体層で各チツプの電極の夫々
を対応する外部リードにそれぞれ接続する二つの
フイルムキヤリアとを封止していることを特徴と
する半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56034439A JPS57148362A (en) | 1981-03-10 | 1981-03-10 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56034439A JPS57148362A (en) | 1981-03-10 | 1981-03-10 | Semiconductor device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57148362A JPS57148362A (en) | 1982-09-13 |
JPS6342860B2 true JPS6342860B2 (ja) | 1988-08-25 |
Family
ID=12414252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56034439A Granted JPS57148362A (en) | 1981-03-10 | 1981-03-10 | Semiconductor device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS57148362A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5978638U (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-28 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品接続構造 |
JPH0297050A (ja) * | 1988-10-03 | 1990-04-09 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路 |
JP2537325B2 (ja) * | 1991-11-29 | 1996-09-25 | 明 北原 | 表面実装電子部品と製法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5462778A (en) * | 1977-10-28 | 1979-05-21 | Toshiba Corp | Laminated frame for power ic |
JPS54144872A (en) * | 1978-05-04 | 1979-11-12 | Omron Tateisi Electronics Co | Electronic circuit device |
-
1981
- 1981-03-10 JP JP56034439A patent/JPS57148362A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5462778A (en) * | 1977-10-28 | 1979-05-21 | Toshiba Corp | Laminated frame for power ic |
JPS54144872A (en) * | 1978-05-04 | 1979-11-12 | Omron Tateisi Electronics Co | Electronic circuit device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57148362A (en) | 1982-09-13 |
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