JPS6340042B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6340042B2 JPS6340042B2 JP25259787A JP25259787A JPS6340042B2 JP S6340042 B2 JPS6340042 B2 JP S6340042B2 JP 25259787 A JP25259787 A JP 25259787A JP 25259787 A JP25259787 A JP 25259787A JP S6340042 B2 JPS6340042 B2 JP S6340042B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric substrate
- recess
- thickness
- side end
- shear vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 28
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 14
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、複合型セラミツクフイルタの製法に
係り、とくに一枚の圧電基板に、複数のエネルギ
とじ込め型多重モードによる厚みすべり振動結合
型3端子フイルタと、該3端子フイルタ相互間を
結合する必要個数の容量とを設けた、厚みすべり
振動複合型セラミツクフイルタの製造法に関す
る。
係り、とくに一枚の圧電基板に、複数のエネルギ
とじ込め型多重モードによる厚みすべり振動結合
型3端子フイルタと、該3端子フイルタ相互間を
結合する必要個数の容量とを設けた、厚みすべり
振動複合型セラミツクフイルタの製造法に関す
る。
(従来の技術及び問題点)
従来、第1図の如く複数の3端子フイルタF1,
F2を使用した回路を構成する場合、各フイルタ
F1,F2と容量Cとは別個に作られたものを組み
合わせて接続していたので回路の小型化が困難で
あり、接続作業も複雑であつた。
F2を使用した回路を構成する場合、各フイルタ
F1,F2と容量Cとは別個に作られたものを組み
合わせて接続していたので回路の小型化が困難で
あり、接続作業も複雑であつた。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、上記の点に鑑み、小型にして製造が
容易で量産性の良好な厚みすべり振動複合型セラ
ミツクフイルタの製造法を提供しようとするもの
である。
容易で量産性の良好な厚みすべり振動複合型セラ
ミツクフイルタの製造法を提供しようとするもの
である。
本発明は、方形板状圧電基板の一方の側端面側
中央に凹部を形成し、該凹部以外の側端面部分と
該側端面部分に対向する凹部の形成されていない
他方の側端面とに分極用電極をそれぞれ設け、両
分極用電極間に電圧を印加して面方向に前記圧電
基板を分極させ、前記圧電基板中央の前記凹部底
辺近傍を未分極部分として残し、前記分極用電極
をそれぞれ除去した後、当該圧電基板の分極部分
の一方の面に一対のフイルタ電極部を、他方の面
にそれらに対向するフイルタ電極部を形成して厚
みすべり振動結合型フイルタを複数個構成し、前
記凹部底辺近傍の未分極部分の一方の面に容量電
極部を、他方の面にそれに対向する容量電極部を
形成することにより、前記厚みすべり振動結合型
フイルタ相互間を結合する必要個数の容量を構成
したことを特徴とし、これにより、従来技術の問
題点を解消している。
中央に凹部を形成し、該凹部以外の側端面部分と
該側端面部分に対向する凹部の形成されていない
他方の側端面とに分極用電極をそれぞれ設け、両
分極用電極間に電圧を印加して面方向に前記圧電
基板を分極させ、前記圧電基板中央の前記凹部底
辺近傍を未分極部分として残し、前記分極用電極
をそれぞれ除去した後、当該圧電基板の分極部分
の一方の面に一対のフイルタ電極部を、他方の面
にそれらに対向するフイルタ電極部を形成して厚
みすべり振動結合型フイルタを複数個構成し、前
記凹部底辺近傍の未分極部分の一方の面に容量電
極部を、他方の面にそれに対向する容量電極部を
形成することにより、前記厚みすべり振動結合型
フイルタ相互間を結合する必要個数の容量を構成
したことを特徴とし、これにより、従来技術の問
題点を解消している。
(作用)
本発明の厚みすべり振動複合型セラミツクフイ
ルタの製造法においては、方形板状圧電基板を分
極するにあたり、一方の側端面側中央に凹部を形
成し、該凹部には分極用電極を形成しないでおく
ことにより、前記圧電基板中央の前記凹部底辺近
傍を確実に未分極部分として残しておくことがで
きる。この際、前記凹部は未分極部分の位置を示
す識別部としても有用である。そして、その未分
極部分を用いて厚みすべり振動結合型フイルタ相
互間を結合する必要個数の容量を構成可能であ
る。このため、容量には圧電的なスプリアスを発
生することが無く、動作の安定化を図ることがで
きる。
ルタの製造法においては、方形板状圧電基板を分
極するにあたり、一方の側端面側中央に凹部を形
成し、該凹部には分極用電極を形成しないでおく
ことにより、前記圧電基板中央の前記凹部底辺近
傍を確実に未分極部分として残しておくことがで
きる。この際、前記凹部は未分極部分の位置を示
す識別部としても有用である。そして、その未分
極部分を用いて厚みすべり振動結合型フイルタ相
互間を結合する必要個数の容量を構成可能であ
る。このため、容量には圧電的なスプリアスを発
生することが無く、動作の安定化を図ることがで
きる。
(実施例)
以下、本発明に係る厚みすべり振動複合型セラ
ミツクフイルタの製造法の実施例を図面に従つて
説明する。
ミツクフイルタの製造法の実施例を図面に従つて
説明する。
第2図に示す如く、方形板状圧電基板1の一方
の側端面(表裏の幅広面に垂直な面)側の中央に
凹部2を形成し、該圧電基板1の凹部2以外の側
端面部分と該側端面部分に対向する凹部の形成さ
れていない他方の側端面とに銀等の分極用電極
3,4をそれぞれ設けておく。それから、分極用
電極3,4間に電圧を印加して図中矢印で示した
方向に圧電基板1を分極させた後、分極用電極
3,4を洗浄して除去し、第3図の如く、面方向
に分極を施した圧電基板1を得る。ここで、凹部
2の部分には電気力線が通らないので、圧電基板
1中央の凹部2の底辺近傍は全くの未分極部分5
としてきれいに残存している。
の側端面(表裏の幅広面に垂直な面)側の中央に
凹部2を形成し、該圧電基板1の凹部2以外の側
端面部分と該側端面部分に対向する凹部の形成さ
れていない他方の側端面とに銀等の分極用電極
3,4をそれぞれ設けておく。それから、分極用
電極3,4間に電圧を印加して図中矢印で示した
方向に圧電基板1を分極させた後、分極用電極
3,4を洗浄して除去し、第3図の如く、面方向
に分極を施した圧電基板1を得る。ここで、凹部
2の部分には電気力線が通らないので、圧電基板
1中央の凹部2の底辺近傍は全くの未分極部分5
としてきれいに残存している。
さて、第4図乃至第6図に示すよう和に、凹部
2の底辺近傍の未分極部分5を除き面方向に分極
した圧電基板1の一方の面には、フイルタ電極部
10,11と容量電極部12とを接続用電極部1
3で相互に接続した第1電極14と、フイルタ電
極部15と端子部16とを接続用電極部17で接
続した第2電極18と、フイルタ電極部19と端
子部20とを接続用電極部21で接続した第3電
極22とが形成される。圧電基板1の他方の面に
は、フイルタ電極部23,24、容量電極部25
及び端子部26を接続用電極部27で相互に接続
した第4電極28が設けられる。ここで、フイル
タ電極部10,15,23は圧電基板1が面方向
に分極した部分に設けられており、これらにより
エネルギとじ込め型多重モードによる厚みすべり
振動結合型3端子フイルタF1が構成される。同
様に、フイルタ電極部11,19,24によりエ
ネルギとじ込め型多重モードによる厚みすべり振
動結合型3端子フイルタF2が構成される。また、
容量電極部12,25は圧電基板1の凹部2底辺
近傍の未分極部分5に設けられているから、これ
らにより容量Cが構成される。この結果、第1図
と同様の回路構成が一枚の圧電基板1上に形成さ
れることになる。
2の底辺近傍の未分極部分5を除き面方向に分極
した圧電基板1の一方の面には、フイルタ電極部
10,11と容量電極部12とを接続用電極部1
3で相互に接続した第1電極14と、フイルタ電
極部15と端子部16とを接続用電極部17で接
続した第2電極18と、フイルタ電極部19と端
子部20とを接続用電極部21で接続した第3電
極22とが形成される。圧電基板1の他方の面に
は、フイルタ電極部23,24、容量電極部25
及び端子部26を接続用電極部27で相互に接続
した第4電極28が設けられる。ここで、フイル
タ電極部10,15,23は圧電基板1が面方向
に分極した部分に設けられており、これらにより
エネルギとじ込め型多重モードによる厚みすべり
振動結合型3端子フイルタF1が構成される。同
様に、フイルタ電極部11,19,24によりエ
ネルギとじ込め型多重モードによる厚みすべり振
動結合型3端子フイルタF2が構成される。また、
容量電極部12,25は圧電基板1の凹部2底辺
近傍の未分極部分5に設けられているから、これ
らにより容量Cが構成される。この結果、第1図
と同様の回路構成が一枚の圧電基板1上に形成さ
れることになる。
以上の実施例によれば、複数のエネルギとじ込
め型多重モードによる厚みすべり振動結合型3端
子フイルタF1,F2とそれらを結合する容量Cと
を同一圧電基板1上に形成できるので、製品の小
型化ができ、構造を簡単にして量産性の向上を図
ることができる。また、圧電基板1の側端面中央
に凹部2を形成し、凹部2には面方向分極時に電
界をかけないようにしたので、小型の圧電基板1
を用いても該基板中央の凹部2近傍を完全な未分
極状態に残すことが可能である。従つて、その未
分極部分5に設けられた容量Cは純粋な容量とし
て働き、圧電的なスプリアスを発生することがな
く、小型化及び動作の安定化を図ることができ
る。また、凹部2は未分極部分の位置を表す標識
としても働く。さらに、厚みすべり振動複合型セ
ラミツクフイルタとしての総合特性、帯域幅、ス
プリアス等を容量Cを変化させることにより調整
でき、生産時に特性を一定にそろえることができ
る。また、フイルタと容量が一体化されるので組
立の工数が減る利点がある。
め型多重モードによる厚みすべり振動結合型3端
子フイルタF1,F2とそれらを結合する容量Cと
を同一圧電基板1上に形成できるので、製品の小
型化ができ、構造を簡単にして量産性の向上を図
ることができる。また、圧電基板1の側端面中央
に凹部2を形成し、凹部2には面方向分極時に電
界をかけないようにしたので、小型の圧電基板1
を用いても該基板中央の凹部2近傍を完全な未分
極状態に残すことが可能である。従つて、その未
分極部分5に設けられた容量Cは純粋な容量とし
て働き、圧電的なスプリアスを発生することがな
く、小型化及び動作の安定化を図ることができ
る。また、凹部2は未分極部分の位置を表す標識
としても働く。さらに、厚みすべり振動複合型セ
ラミツクフイルタとしての総合特性、帯域幅、ス
プリアス等を容量Cを変化させることにより調整
でき、生産時に特性を一定にそろえることができ
る。また、フイルタと容量が一体化されるので組
立の工数が減る利点がある。
なお、各電極は電極用金属の蒸着等によつて形
成でき、フイルタ電極部及び容量電極部の形状は
適宜変更可能である。
成でき、フイルタ電極部及び容量電極部の形状は
適宜変更可能である。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明の厚みすべり振動
複合型セラミツクフイルタの製造法は、簡単な製
造工程により製品の小型化を図ることができ、ま
た量産性の向上を図ることができる。
複合型セラミツクフイルタの製造法は、簡単な製
造工程により製品の小型化を図ることができ、ま
た量産性の向上を図ることができる。
第1図はセラミツクフイルタを応用した回路の
1例を示す回路図、第2図は本発明に係る厚みす
べり振動複合型セラミツクフイルタの製造法の実
施例にて用いる圧電基板を分極させる場合を示す
正面図、第3図は圧電基板の分極状態を示す正面
図、第4図は各電極部を形成した実施例の正面
図、第5図は同平面図、第6図は同背面図であ
る。 1……圧電基板、2……凹部、3,4……分極
用電極、5……未分極部分、10,11,15,
19,23,24……フイルタ電極部、12,2
5……容量電極部、F1,F2……3端子フイルタ、
C……容量。
1例を示す回路図、第2図は本発明に係る厚みす
べり振動複合型セラミツクフイルタの製造法の実
施例にて用いる圧電基板を分極させる場合を示す
正面図、第3図は圧電基板の分極状態を示す正面
図、第4図は各電極部を形成した実施例の正面
図、第5図は同平面図、第6図は同背面図であ
る。 1……圧電基板、2……凹部、3,4……分極
用電極、5……未分極部分、10,11,15,
19,23,24……フイルタ電極部、12,2
5……容量電極部、F1,F2……3端子フイルタ、
C……容量。
Claims (1)
- 1 方形板状圧電基板の一方の側端面側中央に凹
部を形成し、該凹部以外の側端面部分と該側端面
部分に対向する凹部の形成されていない他方の側
端面とに分極用電極をそれぞれ設け、両分極用電
極間に電圧を印加して面方向に前記圧電基板を分
極させ、前記圧電基板中央の前記凹部底辺近傍を
未分極部分として残し、前記分極用電極をそれぞ
れ除去した後、当該圧電基板の分極部分の一方の
面に一対のフイルタ電極部を、他方の面にそれら
に対向するフイルタ電極部を形成して厚みすべり
振動結合型フイルタを複数個構成し、前記凹部底
辺近傍の未分極部分の一方の面に容量電極部を、
他方の面にそれに対向する容量電極部を形成する
ことにより、前記厚みすべり振動結合型フイルタ
相互間を結合する必要個数の容量を構成したこと
を特徴とする厚みすべり振動複合型セラミツクフ
イルタの製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25259787A JPS6392114A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 厚みすべり振動複合型セラミックフィルタの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25259787A JPS6392114A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 厚みすべり振動複合型セラミックフィルタの製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6392114A JPS6392114A (ja) | 1988-04-22 |
JPS6340042B2 true JPS6340042B2 (ja) | 1988-08-09 |
Family
ID=17239584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25259787A Granted JPS6392114A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 厚みすべり振動複合型セラミックフィルタの製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6392114A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH032742U (ja) * | 1989-05-27 | 1991-01-11 | ||
JPH10284985A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電フィルタ |
JP3729090B2 (ja) * | 2001-06-06 | 2005-12-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電フィルタ |
-
1987
- 1987-10-08 JP JP25259787A patent/JPS6392114A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6392114A (ja) | 1988-04-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GB2418549A (en) | Upright or upstanding piezoelectric resonator | |
JPH03106209A (ja) | 圧電発振子 | |
JPS6340042B2 (ja) | ||
JPS6244587Y2 (ja) | ||
JPH08204496A (ja) | 圧電振動部品 | |
JPS5844661Y2 (ja) | セラミツクフイルタ | |
JPH05259805A (ja) | 圧電共振子 | |
JPS6123865Y2 (ja) | ||
JPS5936020Y2 (ja) | 複合型セラミックフィルタ | |
JPH084736Y2 (ja) | 複合型圧電部品 | |
JP2000341084A (ja) | 圧電共振子 | |
JPS631459Y2 (ja) | ||
JPH0641361Y2 (ja) | Tmモード誘電体共振器 | |
JPS5821857B2 (ja) | 捩り振動変換子 | |
JPS6230404A (ja) | ストリツプラインフイルタ | |
JPH0439731U (ja) | ||
JPS5936021Y2 (ja) | 複合型セラミックフィルタ | |
JPH0716122B2 (ja) | 誘電体フィルタ | |
JPH0323702Y2 (ja) | ||
JPH0353605A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
JPH0324715U (ja) | ||
JPH0228127U (ja) | ||
JPH1032458A (ja) | 圧電デバイス | |
JPH06343014A (ja) | 圧電フィルタの製造方法 | |
JPH06283959A (ja) | 圧電共振部品 |