JPS6337746Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6337746Y2 JPS6337746Y2 JP1982058224U JP5822482U JPS6337746Y2 JP S6337746 Y2 JPS6337746 Y2 JP S6337746Y2 JP 1982058224 U JP1982058224 U JP 1982058224U JP 5822482 U JP5822482 U JP 5822482U JP S6337746 Y2 JPS6337746 Y2 JP S6337746Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- heating element
- heat
- bonding material
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は板状赤外線輻射加熱装置の改良に関す
るものである。
るものである。
従来の板状輻射加熱装置は、電熱線をらせん状
に巻いて形成した発熱体を耐熱基板の内部に全体
的に埋め込んで形成したり、あるいは耐熱基板の
表面に相互に間隔をおいて設けた多数の溝内に上
記の発熱体を埋設し、電熱線の各ターンの一部分
を耐熱セメントにより覆つて基板に接合して形成
するのが一般であつた。しかしながら、前者の形
式のものは基板を通して輻射加熱を行なうので表
面輻射率が低い。また、電熱線の使用温度を高め
ることができないので、高温度輻射加熱を行なう
ことはできなかつた。次に、後者の形式のものも
発熱体が溝内に埋設され、また発熱体の一部分が
耐熱セメントの内部に埋め込まれることになるの
で輻射効率があまり良くない。また、発熱体相互
間の間隔が広くなつて輻射加熱面の温度むらを生
ずるとともに、輻射エネルギの一部が基板に吸収
されて熱損失を生じ、単位面積当りの電力密度を
高くとることができず、十分に均一で効率の良い
輻射加熱を行なうことはできなかつた。
に巻いて形成した発熱体を耐熱基板の内部に全体
的に埋め込んで形成したり、あるいは耐熱基板の
表面に相互に間隔をおいて設けた多数の溝内に上
記の発熱体を埋設し、電熱線の各ターンの一部分
を耐熱セメントにより覆つて基板に接合して形成
するのが一般であつた。しかしながら、前者の形
式のものは基板を通して輻射加熱を行なうので表
面輻射率が低い。また、電熱線の使用温度を高め
ることができないので、高温度輻射加熱を行なう
ことはできなかつた。次に、後者の形式のものも
発熱体が溝内に埋設され、また発熱体の一部分が
耐熱セメントの内部に埋め込まれることになるの
で輻射効率があまり良くない。また、発熱体相互
間の間隔が広くなつて輻射加熱面の温度むらを生
ずるとともに、輻射エネルギの一部が基板に吸収
されて熱損失を生じ、単位面積当りの電力密度を
高くとることができず、十分に均一で効率の良い
輻射加熱を行なうことはできなかつた。
本考案は上記の欠点を改善するために、電熱線
を石英管内に収納してなる多数本の発熱体をその
径方向に近接させて並べて、耐熱基板の表面に赤
外線反射兼発熱体接合材を介して配設固着してな
る板状赤外線輻射加熱装置を提供したものであ
る。
を石英管内に収納してなる多数本の発熱体をその
径方向に近接させて並べて、耐熱基板の表面に赤
外線反射兼発熱体接合材を介して配設固着してな
る板状赤外線輻射加熱装置を提供したものであ
る。
以下、本考案の実施例を図面により詳細に説明
する。第１図において、１は例えばアルミナとシ
リカとを混合したセラミツクフアイバからなる耐
熱基板、２はこの耐熱基板の表面に被着されて後
述する発熱体を基板１に接合するとともに、該発
熱体よりの赤外線を反射する赤外線反射兼発熱体
接合材である。３は石英管、４はらせん状に巻か
れて石英管３内に収納されている電熱線であり、
石英管３及び電熱線４で発熱体５を構成してい
る。この発熱体５は石英管３の径方向に多数本が
密接して赤外線反射兼発熱体接合材２の上に並置
されて、石英管３を赤外線反射兼発熱体接合材２
により耐熱基板１に接合することにより発熱体５
が耐熱基板１に支持されている。そして、それぞ
れの電熱線４は相互に直列接続されている。４Ａ
はこの直列接続された電熱線４の両端部から引出
されたリード線である。前記の赤外線反射兼発熱
体接合材２は低輻射率を有するもので、発熱体５
より基板１の側に輻射される赤外線を良好に反射
するとともに、発熱体５を基板１に接合固着する
役目をするもので、本実施例では酸化亜鉛の粉粒
体をバインダとしての燐酸アルミニウムと混練し
たものを用いたが、アルミナの粉粒体を水硝子と
混練したものを用いてもよい。
する。第１図において、１は例えばアルミナとシ
リカとを混合したセラミツクフアイバからなる耐
熱基板、２はこの耐熱基板の表面に被着されて後
述する発熱体を基板１に接合するとともに、該発
熱体よりの赤外線を反射する赤外線反射兼発熱体
接合材である。３は石英管、４はらせん状に巻か
れて石英管３内に収納されている電熱線であり、
石英管３及び電熱線４で発熱体５を構成してい
る。この発熱体５は石英管３の径方向に多数本が
密接して赤外線反射兼発熱体接合材２の上に並置
されて、石英管３を赤外線反射兼発熱体接合材２
により耐熱基板１に接合することにより発熱体５
が耐熱基板１に支持されている。そして、それぞ
れの電熱線４は相互に直列接続されている。４Ａ
はこの直列接続された電熱線４の両端部から引出
されたリード線である。前記の赤外線反射兼発熱
体接合材２は低輻射率を有するもので、発熱体５
より基板１の側に輻射される赤外線を良好に反射
するとともに、発熱体５を基板１に接合固着する
役目をするもので、本実施例では酸化亜鉛の粉粒
体をバインダとしての燐酸アルミニウムと混練し
たものを用いたが、アルミナの粉粒体を水硝子と
混練したものを用いてもよい。
上記のように本考案の板状赤外線輻射加熱装置
は、電熱線を石英管の内部に収納してなる発熱体
の該石英管を赤外線反射兼発熱体接合材により耐
熱基板に接合することにより前記発熱体を耐熱基
板に支持させたので、電熱線が基板や接合材の中
に埋め込まれることがなくて輻射効率を良くする
ことができるだけでなく、また電熱線の使用温度
を高めて高温輻射加熱を行なうことができ、また
電熱線の寿命を長くすることができる。更に本考
案では、多数本の前記発熱体をその径方向に近接
させて並設したので、輻射加熱面の温度ムラを少
なくし、電力密度を高くとることができて、均一
で極めて効率の良い輻射加熱を行なうことができ
る。また本考案では、発熱体と基板の間に赤外線
反射材を介在させたので、発熱体より基板の側に
向けて輻射される輻射エネルギを被加熱物の側に
向けて反射されることができるとともに、基板か
らの熱損失を防止することができる。これによ
り、前記の電力密度を高くとり得ることと相まつ
て、加熱装置の起動速度を速めて被加熱物を急速
加熱することができる。更に、本考案では電熱線
が石英管内にあつて外気に直接露出していないの
で、石英管の両端部を耐熱剤でふさぐなどの簡単
な加工を施すだけで、電熱線の表面酸化物が脱落
飛散して周囲を汚染するのを防止できる。従つ
て、特に清浄な雰囲気中での処理が要求される半
導体部品材料の加熱にも、発熱体と被加熱物との
間にマツフルのごとき遮蔽物を設けることなく使
用することができる。また本考案の加熱装置は、
輻射加熱面が多数の石英管の連接体からなつてい
て、加熱面の摩擦低抗が極めて小さいので、加熱
面に接触面が滑らかな被加熱物保持用担体を直接
支持させながら、該担体を加熱面上で摩耗損傷が
少なく摺動進行させて、該担体上の被加熱物を加
熱するような用途にも使用できる利点がある。
は、電熱線を石英管の内部に収納してなる発熱体
の該石英管を赤外線反射兼発熱体接合材により耐
熱基板に接合することにより前記発熱体を耐熱基
板に支持させたので、電熱線が基板や接合材の中
に埋め込まれることがなくて輻射効率を良くする
ことができるだけでなく、また電熱線の使用温度
を高めて高温輻射加熱を行なうことができ、また
電熱線の寿命を長くすることができる。更に本考
案では、多数本の前記発熱体をその径方向に近接
させて並設したので、輻射加熱面の温度ムラを少
なくし、電力密度を高くとることができて、均一
で極めて効率の良い輻射加熱を行なうことができ
る。また本考案では、発熱体と基板の間に赤外線
反射材を介在させたので、発熱体より基板の側に
向けて輻射される輻射エネルギを被加熱物の側に
向けて反射されることができるとともに、基板か
らの熱損失を防止することができる。これによ
り、前記の電力密度を高くとり得ることと相まつ
て、加熱装置の起動速度を速めて被加熱物を急速
加熱することができる。更に、本考案では電熱線
が石英管内にあつて外気に直接露出していないの
で、石英管の両端部を耐熱剤でふさぐなどの簡単
な加工を施すだけで、電熱線の表面酸化物が脱落
飛散して周囲を汚染するのを防止できる。従つ
て、特に清浄な雰囲気中での処理が要求される半
導体部品材料の加熱にも、発熱体と被加熱物との
間にマツフルのごとき遮蔽物を設けることなく使
用することができる。また本考案の加熱装置は、
輻射加熱面が多数の石英管の連接体からなつてい
て、加熱面の摩擦低抗が極めて小さいので、加熱
面に接触面が滑らかな被加熱物保持用担体を直接
支持させながら、該担体を加熱面上で摩耗損傷が
少なく摺動進行させて、該担体上の被加熱物を加
熱するような用途にも使用できる利点がある。
第１図は本考案の実施例を示す斜視図、第２図
は第１図の実施例の部分断面図である。 １……耐熱基板、２……赤外線反射兼発熱体接
合材、３……石英管、４……電熱線、５……発熱
体。
は第１図の実施例の部分断面図である。 １……耐熱基板、２……赤外線反射兼発熱体接
合材、３……石英管、４……電熱線、５……発熱
体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 耐熱基板の表面に赤外線反射兼発熱体接合材
が被着され、石英管の内部に電熱線が収納され
てなる多数本の発熱体が該石英管の径方向に近
接して並んで前記赤外線反射兼発熱体接合材の
上に配設されて、前記石英管を前記赤外線反射
兼発熱体接合材により前記耐熱基板に接合する
ことにより前記各発熱体が前記耐熱基板に支持
されていることを特徴とする板状赤外線輻射加
熱装置。 (2) 前記赤外線反射兼発熱体接合材は酸化亜鉛の
粉粒体を燐酸アルミニウムと混練してなる実用
新案登録請求の範囲第１項に記載の板状赤外線
輻射加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5822482U JPS5917587U (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | 板状赤外線輻射加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5822482U JPS5917587U (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | 板状赤外線輻射加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5917587U JPS5917587U (ja) | 1984-02-02 |
| JPS6337746Y2 true JPS6337746Y2 (ja) | 1988-10-05 |
Family
ID=30188505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5822482U Granted JPS5917587U (ja) | 1982-04-21 | 1982-04-21 | 板状赤外線輻射加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917587U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012003030A1 (de) | 2012-02-17 | 2013-08-22 | Heraeus Noblelight Gmbh | Vorrichtung zur Wärmebehandlung |
| DE102015113766B4 (de) * | 2015-08-19 | 2019-07-04 | Heraeus Noblelight Gmbh | Strahlermodul sowie Verwendung des Strahlermoduls |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4989233A (ja) * | 1972-12-28 | 1974-08-26 |
-
1982
- 1982-04-21 JP JP5822482U patent/JPS5917587U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4989233A (ja) * | 1972-12-28 | 1974-08-26 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5917587U (ja) | 1984-02-02 |
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