JPS6335375B2

JPS6335375B2 -

Info

Publication number: JPS6335375B2
Application number: JP60139390A
Authority: JP
Inventors: Kyoshi Nishio
Original assignee: Nissin Kogyo Co Ltd
Current assignee: Nissin Kogyo Co Ltd
Priority date: 1985-06-26
Filing date: 1985-06-26
Publication date: 1988-07-14
Also published as: JPS61297072A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野この発明は、ウエーハを切削研磨するウエーハ
自動平面研削盤のアンローダ装置に関するもので
ある。

従来の技術ウエーハは、当該ウエーハに相当する直径に作
られた長さ数百ミリメートルの棒状の単結晶を、
ダイヤモンド・ブレードを用いて切断して作る。
そして、切り出されたウエーハは、表面をウエー
ハ自動平面研削盤で機械的に切削研磨する。とこ
ろで、通常、ウエーハ自動平面研削盤ではウエー
ハをテーブル上にバキユームチヤツクして切削研
磨する。

第６図はこの種のウエーハ自動平面研削盤の一
般的な切削システムを示す概略図で、これは入口
カセツト１から入口搬送コンベア２で搬出したウ
エーハ３を、ローダアーム４でバキユーム吸着し
てロータリテーブル５上に円周等配設したウエー
ハチヤツク６上にローデイングさせ、ここで再び
バキユーム吸着し、ロータリテーブル５の回動に
伴つて粗砥石７、仕上砥石８に順次送り込んで切
削研磨する。そして、切削研削されたウエーハ３
を、更にロータリテーブル５の回転に伴つてアン
ローダ位置に送り込み、そして、アンローダアー
ム９でアンローデイングしてウエーハ洗浄装置１
０に移送し、ここで、洗浄、水切りを行いウエー
ハ搬送装置１１ａで出口コンベア１２まで搬送
し、出口コンベア１２にて出口カセツト１３に収
納する。

第７図は第６図とは別の研削システムを示す概
略図で、これの第６図の構造と相違するのは、ウ
エーハ洗浄装置１０で洗浄した後のウエーハ３を
ウエーハ搬送反転装置１１ｂで反転し乍ら出口コ
ンベア１２に搬送する点のみである。尚、第７図
に於いて第６図と同一符号は同一構成物を示す。

発明が解決しようとする問題点ところで、従来の第６図及び第７図のいずれの
研削システムでも、ウエーハ３はウエーハ洗浄装
置１０からアンローダアーム９以外の搬送装置１
１ａ，１１ｂで搬送されている。これは、第６図
の研削システムの場合、通常、ウエーハ洗浄装置
１０で洗浄された後のウエーハ３はスピン動作で
水切りされる為、ウエーハ洗浄装置１０からウエ
ーハ３を取り出すウエーハ搬送装置１１ａのバキ
ユームパツドに塵、水等が付着してはならないか
らであり、また、第７図の研削システムの場合、
使用されるカセツトに問題があるからである。ま
た、アンローダアーム９でロータリテーブル５の
上のウエーハチヤツク６からウエーハ３をアンロ
ーデイングする時、ウエーハチヤツク６上に作用
する表面張力に対処する為、ウエーハチヤツク６
はバキユームが開放されると水を噴射してウエー
ハ３を水圧浮上させる必要がある。

そこで、従来のアンローダアーム９は、第８図
に示すように、ウエーハチヤツク６上に位置した
時、そのバキユームパツド９ａの高さはウエーハ
チヤツク６より高さH₁だけ上方に配置される構
造になつており、ウエーハ３が水圧浮上した時に
バキユーム吸着できるようになつている。更に、
アンローダアーム９にバキユーム吸着されたウエ
ーハ３は、アンローダアーム９の旋回に伴つてウ
エーハ洗浄装置１０のスピンナテーブル１０ａ上
に移送されるか、この時、ウエーハ洗浄装置１０
のスピンナテーブル１０ａはウエーハ３の旋回に
伴う干渉の危険を避ける為に高さH₂だけ下降し
た位置にあり、ウエーハ旋回後に高さH₂だけ上
昇してウエーハ３を載置する構造である。

従つて、従来のウエーハ自動平面研削盤では、
アンローダアーム９の旋回、ウエーハ洗浄装置１
０のスピンナテーブル１０ａの上下動及びウエー
ハ洗浄装置１０のスピンナテーブル１０ａから出
口コンベア１２への搬送にそれぞれ駆動部が必要
であり、かつ、それぞれの駆動部が独立している
為、駆動部が広い設置スペースを取つて装置全体
が大型となり、また、構造が非常に複雑であつ
た。

問題点を解決するための手段上記の如き問題点に鑑みてこの発明は、アンロ
ーダアームが１回の旋回動作で２つのウエーハの
搬送を同時に行うことができ、かつ、上下動作で
きるようになしたアンローダ装置を提供するもの
で、その構成はアンローダアーム上下用シリンダ
により上下移動可能な昇降部材にアンローダアー
ム旋回用モータを設け、このアンローダアーム旋
回用モータの出力軸にＬ型のアンローダアームを
設け、このアンローダアームの一端に平行リンク
機構を介してバキユームパツド並びに該バキユー
ムパツドの高さをウエーハチヤツクテーブルに対
して一定に位置決めするストツパーを設けると共
に、他端にバキユームパツドを設けたものであ
る。

作用この発明によれば、アンローダとは駆動源を別
にした搬送装置を装置する必要がなく、かつ、ウ
エーハ洗浄装置のスピンナテーブルを上下動作す
る必要がなくなるので上記問題点は解消される。

実施例第１図及び第２図はこの発明のアンローダ装置
を示す正面展開図及び平面図、第３図は上記アン
ローダ装置を適用したウエーハ自動平面研削盤の
研削システムを示す概略図である。同図に於い
て、１５はＬ型のアンローダアームで、その中間
折曲部を機台１６上に上下移動可能に設けた昇降
部材１７内のアンローダアーム旋回用モータ１８
の出力軸１８ａに連結してあり、モータ１８によ
り所定角度範囲で往復回動するようになつてい
る。このアンローダアーム１５の一端１５ａには
平行リンク１９を介してバキユームパツド取付台
２０が設けられ、この取付台２０にアンローデイ
ング用バキユームパツド２１と位置決めストツパ
ー２２が取付けられている。また、アンローダア
ーム１５の他端１５ｂには搬送用バキユームパツ
ド２３が設けられている。２４は機台１６に設け
たアンローダアーム上下用シリンダで、そのピス
トンロツド２４ａを前記昇降部材１７に連結して
あり、ピストンロツド２４ａを伸縮することによ
り、昇降部材１７及びモータ１８を介してアンロ
ーダアーム１５を上下に昇降するようになつてい
る。２５はアンローダアーム１５の一端１５ａと
平行リング１６との間に張設したリターンスプリ
ングで、その弾力は取付台２０を常時下方に弾圧
している。尚、第１図乃至第３図に於いて、第６
図及び第７図と同一符号は同一構成物を示し、そ
の説明は省略する。

以上がこの発明のアンローダ装置の構成で、次
に動作について説明する。

まず、第３図に示す状態で、アンローダアーム
１５を反時計方向に旋回してその一端１５ａをロ
ータリテーブル５上のウエーハチヤツク６の上方
に位置させると共に、他端１５ｂをウエーハ洗浄
装置１０のスピンナテーブル１０ａの上方に位置
させる。次に、この状態で、アンローダアーム上
下用シリンダ２４を作動してそのピストンロツド
２４ａを短縮し、昇降部材１７及びモータ１８を
介してアンローダアーム１５を下降する。する
と、アンローダアーム１５の一端１５ａに設けた
取付台２０は下降してその途中で第３図に示すよ
うにストツパー２２により下降動作を制限され、
バキユームパツド２１をウエーハ３の水圧浮上に
必要なスキマと同じ高さH₁だけウエーハチヤツ
ク６の上方に保持する。一方、アンローダアーム
１５の他端１５ｂに設けたバキユームパツド２３
は、そのままアンローダアーム１５の下降量と同
時に下降し、第４図に示すように、ウエーハ洗浄
装置１０のスピンナテーブル１０ａ上にウエーハ
３の吸着の両端のバキユームパツド２１及び２３
で、ロータリテーブル５上のアンローダ位置のウ
エーハチヤツク６上のウエーハ３及びウエーハ洗
浄装置１０のスピンナテーブル１０ａ上のウエー
ハ３をバキユーム吸着し、次いで、シリンダ２４
のピストンロツド２４ａを伸長してアンローダア
ーム１５を上昇してその両端に設けたバキユーム
パツド２１及び２３にバキユーム吸着したウエー
ハ３，３を上昇し、更に、モータ１８によりアン
ローダアーム１５を90゜旋回してバキユームパツ
ド２１にバキユーム吸着したウエーハ３をロータ
リテーブル５上方からウエーハ洗浄装置１０のス
ピンナテーブル１０ａ上方に移送すると共に、バ
キユームパツド２３にバキユーム吸着されたウエ
ーハ３をウエーハ洗浄装置１０のスピンナテーブ
ル１０ａ上方から出口コンベア１２上方に移送
し、この後、アンローダアーム１５を再び下降し
て夫々のウエーハ３，３をスピンナテーブル１０
ａ上及び出口コンベア１２上に夫々載置してバキ
ユーム吸着を開放する。以後は前記動作を繰り返
すことにより連続的に２つのウエーハ３の搬送を
同時にすることができる。

第５図はウエーハ３を反転させる必要のある場
合の実施例で、これはアンローダアーム１５の他
端１５ｂに、小型モータ２６にて180゜回転駆動す
る反転機構２７を介してバキユーム取付台２８を
設け、この取付台２８に搬送用バキユームパツド
２３を取付けており、ウエーハ洗浄装置１０のス
ピンナテーブル１０ａから出口コンベア１２に搬
送する途中でウエーハ３を180゜反転することがで
きる。

発明の効果以上のようにこの発明によれば、アンローダア
ームが90゜のＬ型アームであるから、１回のアン
ローダアームの旋回動作で２つのウエーハを同時
に搬送することができ、従来のようにアンローダ
とは別に駆動源を有する搬送装置を装備する必要
がなく、また、アンローダアーム自身が上下動作
可能に装備されているから、ウエーハのウエーハ
チヤツクからのアンロード時、従来のようにウエ
ーハ洗浄装置のスピンナテーブルを上下動作する
必要がなくなる。これにより、装置全体がコンパ
クトになり、また、設置スペースも小さくなる。
また、ロータリテーブル上のウエーハチヤツク上
に水圧浮上させたアンローデイング用バキユーム
パツドでウエーハをバキユーム吸着している時
に、アンローダアームを下降させても、上昇させ
ても前記バキユームパツドの高さは変らずに搬送
用バキユームパツドのみ上下動して吸着も同時に
できる。更に、ウエーハチヤツク上でのウエーハ
の水圧浮上の際、アンローダアームを平行リンク
機構を用いて下降さすことにより、機械的にスト
ツパーにてウエーハチヤツクとバキユームパツド
を正確に位置決めすることが可能となり、ウエー
ハの吸着ミスを解消することができた。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの発明に係るウエーハ自
動平面研削盤のアンローダ装置の一実施例を示す
正面展開図及び平面図、第３図は上記アンローダ
装置を適用した研削システムの概略図、第４図は
この発明の装置の動作状態を示す正面展開図、第
５図はこの発明の他の実施例を示す正面展開図、
第６図及び第７図は従来のウエーハ自動研削盤の
研削システムを示す概略図、第８図は従来のアン
ローダアームを示す正面図である。１５……アンローダアーム、１７……昇降部
材、１８……アンローダアーム旋回用モータ、１
９……平行リンク、２０……取付台、２１……ア
ンローデイング用バキユームパツド、２２……位
置決めストツパー、２３……搬送用バキユームパ
ツド、２４……アンローダアーム上下用シリン
ダ、１５……リターンスプリング。

Claims

【特許請求の範囲】

１アンローダアーム上下用シリンダにより上下
移動可能な昇降部材にアンローダアーム旋回用モ
ータを設け、このアンローダアーム旋回用モータ
の出力軸にＬ型のアンローダアームを設け、この
アンローダアームの一端に平行リンク機構を介し
てバキユームパツド並びに該バキユームパツドの
高さをウエーハチヤツクテーブルに対して一定に
位置決めするストツパーを設けると共に、他端に
バキユームパツドを設けたことを特徴とするウエ
ーハ自動平面研削盤のアンローダ装置。