JPS6334635B2 - - Google Patents

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JPS6334635B2
JPS6334635B2 JP57095902A JP9590282A JPS6334635B2 JP S6334635 B2 JPS6334635 B2 JP S6334635B2 JP 57095902 A JP57095902 A JP 57095902A JP 9590282 A JP9590282 A JP 9590282A JP S6334635 B2 JPS6334635 B2 JP S6334635B2
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JP
Japan
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coupling
coupling member
piezoelectric body
displacement
members
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Application number
JP57095902A
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English (en)
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JPS58213484A (ja
Inventor
Takeshi Yano
Izumi Fukui
Takeshige Hamamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
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Publication of JPS58213484A publication Critical patent/JPS58213484A/ja
Publication of JPS6334635B2 publication Critical patent/JPS6334635B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04Constructional details
    • H02N2/043Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は差動型変位発生機構、特に電圧印加時
に生ずる圧電体の歪により偶力を発生させて機械
的な変位を得るための差動型変位発生機構に関す
る。
電圧印加時に生ずる圧電体の歪を可動部材に伝
達して機械的変位を得る場合には、てこ(レバ
ー)の原理を利用して、可動部材を回軸可能に支
持する箇所および圧電体の歪を伝達する箇所をそ
れぞれ一つずつ可動部材に設けておき、伝達され
た歪にてこ比を乗じた大きさの変位を得ることが
できる。この変位の所望値が大きくなるのに応じ
て可動部材のてこ比を大きくすると、可動部材の
長さが増大するために変位発生機構が大形にな
る。この難点を除くには、圧電体の歪が伝達され
る箇所を可動部材に二つ設けておき、歪伝達箇所
に互いに逆向きの圧電体歪をそれぞれ伝達させれ
ばよい。すなわち、可動部材に偶力を作用させる
ことにより、同じてこ比をもつ可動部材でも、前
記のごとく一箇所に圧電体歪を伝達する場合と比
べて2倍の大きさの変位が得られる。以下では、
偶力を可動部材に伝達して変位を発生させる機構
を差動型変位発生機構と呼ぶ。
差動型変位発生機構において偶力を発生させる
には、圧電体を二つ設けてそれぞれの歪を互いに
逆向きとなるよう可動部材に伝達すればよいが、
圧電体を二つ用いると機構が大形になる。従来、
圧電体を一つだけ用いる差動型変位発生機構はな
いため、差動型変位機構を小形化するのは困難で
あるという問題点がある。
本発明の目的は、上記問題点を解決し一つの圧
電体から偶力を発生でき従つて一つの圧電体を用
いて従来よりも大きな変位が得られ且つ小形な差
動型変位発生機構を提供することにある。
本発明の機構は、電極に印加される電圧に応じ
て寸法の歪を発生する圧電体と、該圧電体の一方
の端部を固定し支持する固定部材と、前記圧電体
の他方の端部に接続する第1の結合部材にそれぞ
れの一端が接続しており前記圧電体の前記寸法歪
を伝達する第2および第3の結合部材と、前記第
2の結合部材の他端と前記固定部材の第1の所定
箇所に一端を接続した第4の結合部材の他端とに
接続しており前記第2の結合部材から伝達される
前記寸法歪に応じて第1の角変位を生ずる第1の
可動部材と、前記第3の結合部材の他端と前記固
定部材の第2の所定箇所に一端を接続した第5の
結合部材の他端とに接続しており前記第3の結合
部材から伝達される前記寸法歪に応じて第2の角
変位を生ずる第2の可動部材と、前記第1の可動
部材の所定箇所に一端を接続した第6の結合部材
および前記第2の可動部材の所定箇所に一端を接
続した第7の結合部材のそれぞれの他端に接続し
ており前記第6および第7の結合部材を介して伝
達される前記第1および第2の角変位に応じて第
3の角変位を生ずる第3の可動部材とを備えてい
る。
次に図面を参照して本発明を詳細に説明する。
第1図および第2図はそれぞれ本発明の第1の
実施例を示す斜視図および側面図である。第1図
において、圧電体4の下端は金属の固定部材2に
固定されており、圧電体4の上端には金属からな
る第1の結合部材10が固着されている。第1の
結合部材10と一体に設けられた第2および第3
の結合部材12および14は、それぞれ第1およ
び第2の可動部材13および15の下端に接続し
ている。第1の可動部材13の下端は、第2の結
合部材12から所定の間隔をおいて設けた第4の
結合部材16を介して、固定部材2に接続してお
り、また第2の可動部材15の下端は、第3の結
合部材14から所定の間隔をおいて設けた第5の
結合部材18を介して固定部材2に接続してい
る。第1および第2の可動部材13および14の
上端には、それぞれ金属板の第6および第7の結
合部材20および22の一端が固着されており、
また第6および第7の結合部材20および22の
他端はそれぞれ金属の第3の可動部材21の所定
箇所に固着されている。圧電体4の両側面に設け
た電極5には導線6がそれぞれ接続されており、
導線6を介して駆動電圧を印加すると圧電体4に
機械的な歪を生ずる。
第2図において、圧電体4に歪を生じ矢印Aで
示す方向に伸びると、伸びの歪は第1の結合部材
10から第2および第3の結合部材12および1
4を経てそれぞれ第1および第2の可動部材13
および15に伝達される。第1および第2の可動
部材13および15はそれぞれ第4および第5の
結合部材16および18を介して固定部材2に支
持されているので、圧電体4から伝達されてくる
歪を受けて第1および第2の可動部材13および
15には回転モーメントを生じ、それぞれの上端
において矢印BおよびCの方向の変位を生ずる。
矢印BおよびCの向きの変位は互いに逆向きであ
るから、第3の可動部材21の下端部には第6お
よび第7の結合部材20および22を介して偶力
が作用し、第3の可動部材21の上端には矢印D
の向きの変位を生ずる。
以上に説明した動作において、第1および第2
の可動部材13および15はそれぞれ第4および
第5の結合部材16および18を支持箇所とする
レバーの動作を行なつて矢印BおよびCの向きの
偶力を発生させる。また第3の可動部材21は第
6および第7の結合部材20および22を介して
矢印BおよびCの向きの偶力を受けてレバーの動
作を行ない、矢印Dの向きの変位を生ずる。すな
わち、各可動部材とこれに変位を伝達するための
各結合部材とは、それぞれレバー手段を構成して
いる。
第3図a〜fは上記のレバー手段の構成例を示
す側面図である。同図a〜fのおのおのは、レバ
ー手段の一つの構成例を示す。例えば、同図aに
おけるレバーLを第2図における第1の可動部材
13とし、同様に板状の結合片P(あるいはQ)
を第4の結合部材16とし且つ板状の結合片Q
(あるいはP)を第2の結合部材12として用い
れば、結合片Pが(あるいはQ)レバーLの支軸
となり、結合片Q(あるいはP)に与えられる矢
印Eの向きの変位が、レバーLの他端に矢印F
(あるいは破線矢印G)の向きの変位として伝達
される。第2および第3の可動部材15および2
1をそれぞれ含むレバー手段も同様に構成でき
る。結合片PおよびQが板状であるから、横振れ
が少ない安定な変位伝達が行なわれる。第3図a
〜fには結合片PおよびQの板面が互いに平行な
場合あるいは直角をなす場合を示したが、両者の
板面が互いに斜交するような構成が可能なことは
明らかである。
第2図に示す機構においては、第1および第2
の可動部材13および15を含むレバー手段はい
ずれも第3図cの構成を適用したものであり、第
3の可動部材21を含むレバー手段は第3図bの
構成を適用したものである。各レバー手段の構成
を第3図a〜fに示す構成のうちから一つずつ選
定してこれらを組合せた場合に組合せの数は非常
に多くなるから、すべての組合せを列挙するのは
省略してそのうちの2例を以下に示す。
第4図および第5図はそれぞれ本発明の第2お
よび第3の実施例を示す側面図である。図面間で
対照し易くするために、同じ機能をもつ部材には
形状が異なつていても第2図と同じ参照番号を付
けてある。第4図に示す機構における第1ないし
第3の可動部材13,15および21をそれぞれ
含むレバー手段はいずれも第3図aの構成を用い
たものである。また第5図の機構では、第1およ
び第3の可動部材13および21をそれぞれ含む
二つのレバー手段はそれぞれ第3図aの構成を用
いたものであり、第2の可動部材15を含むレバ
ー手段は第3図eの構成を用いたものである。す
なわち第4図において、第1の可動部材13、第
2の結合部材12、第4の結合部材16はそれぞ
れ第3図aの構成でのレバーL、結合片Q、結合
片Pに対応し、第2の可動部材15、第3の結合
部材14、第5の結合部材18はそれぞれ第3図
aの構成でのレバーL、結合片P、結合片Qに対
応し、第3の可動部材21、第6の結合部材2
0、第7の結合部材22はそれぞれ第3図aの構
成でのレバーL、結合片P、結合片Qに対応して
いる。また第5図において、第2の可動部材1
5、第3の結合部材14、第5の結合部材18は
それぞれ第3図eのレバーL、結合片P、結合片
Qに対応し、第1および第3の可動部材13およ
び21を含む各レバー手段は第4図の場合と同一
の構成である。第4図および第5図のいずれの場
合においても、圧電体4に歪を生じ矢印Aで示す
方向に伸びると、伸びの歪は第1の結合部材10
から第2および第3の結合部材12および14を
経てそれぞれ第1および第2の可動部材13およ
び15に伝達される。第1および第2の可動部材
13および15はそれぞれ第4および第5の結合
部材16および18を介して固定部材2に支持さ
れているので、圧電体4から伝達されてくる歪を
受けて第1および第2の可動部材13および15
には回転モーメントを生じ、それぞれの左端にお
いて矢印BおよびCの方向の変位を生じる。矢印
BおよびCの向きの変位は互いに逆向きであるか
ら、第3の可動部材21の右端部には第6および
第7の結合部材20および22を介して偶力が作
用し、第3の可動部材21の左端には矢印Dの向
きの変位を生ずる。またいずれの場合にも、固定
部材2とともに第1ないし第7の結合部材10,
12,14,16,18,20および22と第1
ないし第3の可動部材13,15および21とを
一体に形成して、ユニツトの組立工数を節減して
いる。更にいずれの場合にも、第2図の場合と同
様に、固定部材2をコの字形に形成して、固定部
材2を変形し難くし圧電体4の歪のエネルギーが
固定部材2を変形させるために消費されないよう
にしている。
第6図a〜cは各結合部の板状の部分の形成例
を示す斜視図である。第2図、第3図および第4
図に示すユニツトにおいて、第2ないし第7の結
合部材12,14,16,18,20および22
はいずれも板状に形成されており、圧電体4に生
ずる歪に応じて屈曲しながら第3の可動部材21
に変位を伝達する。この屈曲のために消費される
エネルギーを更に減らすには、板厚を小さくすれ
ばよいが、板厚を小さくし過ぎると歪の伝達が行
われ難くなる。第6図a〜cには、この難点を解
決するための形成例を示す。同図aおよびbは、
それぞれ一方の板面および両方の板面に溝を設け
て板厚の小さな箇所を有するように形成したもの
を示す。同図cは、2枚の板の間に薄い板片を接
合して板厚の小さな箇所を設けたものを示す。こ
のように板厚の小さな箇所を設けることにより、
歪伝達の際の屈曲に消費されるエネルギーを少な
くし且つ良好な歪伝達動作を行なわせることがで
きる。
第7図aおよびbは本発明のユニツトに用いる
圧電体4の構成例を示す斜視図である。いずれも
圧電体4の内部に電極51および52をそれぞれ
複数個ずつ交互に平行に配置して設けてあり、電
極51を1対の電極5の一方にまた電極52を他
方に接続してある。同図aは、ジルコン・チタン
酸鉛などの圧電材料を用いる場合を示す。電極5
1および52の間に予め定めた方向、たとえば矢
印Jで示す方向の分極処理を施しておく。分極と
同じ方向(あるいは逆方向)の駆動電圧を電極5
を介して電極51および52の間に印加すれば、
圧電体4には矢印T(あるいはS)の向きの歪を
生ずる。従つて、駆動電圧の極性を選定すること
により、所望の向きの歪を発生させることができ
る。同図bはマンガン・ニオブ酸鉛などの電歪材
料を用いる場合を示し、この場合には電極51お
よび52の間に印加される駆動電圧の極性によら
ず矢印Tの向きの歪を生じ、ヒステリシスの少な
い動作を行なうという特長がある。第7図aおよ
びbに示すように複数の電極51および52を交
互に配置した多層電極を設けることにより、低い
駆動電圧で圧電体4に大きな歪を発生させること
ができる。
以上に説明したように、本発明には一つの圧電
体から偶力を発生でき従つて一つの圧電体を用い
て従来よりも大きな変位が得られ且つ小形な差動
型変位発生機構を実現できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図、第6図a〜cおよび第7図a,bは本
発明の実施例を示す斜視図、第2図、第3図a〜
f、第4図および第5図は本発明の実施例を示す
側面図である。 2……固定部材、4……圧電体、5,51,5
2……電極、6……導線、10……第1の結合部
材、12……第2の結合部材、13……第1の可
動部材、14……第3の結合部材、15……第2
の可動部材、16……第4の結合部材、18……
第5の結合部材、20……第6の結合部材、21
……第3の可動部材、22……第7の結合部材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 電極に印加される電圧に応じて寸法の歪を発
    生する圧電体と、該圧電体の一方の端部を固定し
    支持する固定部材と、前記圧電体の他方の端部に
    接続する第1の結合部材にそれぞれの一端が接続
    しており前記圧電体の前記寸法歪を伝達する第2
    および第3の結合部材と、前記第2の結合部材の
    他端と前記固定部材の第1の所定箇所に一端を接
    続した第4の結合部材の他端とに接続しており前
    記第2の結合部材から伝達される前記寸法歪に応
    じて第1の角変位を生ずる第1の可動部材と、前
    記第3の結合部材の他端と前記固定部材の第2の
    所定箇所に一端を接続した第5の結合部材の他端
    とに接続しており前記第3の結合部材から伝達さ
    れる前記寸法歪に応じて第2の角変位を生ずる第
    2の可動部材と、前記第1の可動部材の所定箇所
    に一端を接続した第6の結合部材および前記第2
    の可動部材の所定箇所に一端を接続した第7の結
    合部材のそれぞれの他端に接続しており前記第6
    および第7の結合部材を介して伝達される前記第
    1および第2の角変位に応じて第3の角変位を生
    ずる第3の可動部材とを備えたことを特徴とする
    差動型変位発生機構。 2 前記第2および第4の結合部材はそれぞれ板
    状であり両者の板面が所定の角度をなし且つ前記
    圧電体の前記寸法歪が前記第2の結合部材の板面
    にほぼ沿つて前記第1の可動部材へ伝達されて前
    記第4の結合部材の前記固定部材に接続する端辺
    とほぼ平行な軸のまわりに回転モーメントを生ず
    るようにした特許請求の範囲第1項記載の差動型
    変位発生機構。 3 前記第3および第5の結合部材はそれぞれ板
    状であり両者の板面が所定の角度をなし且つ前記
    圧電体の前記寸法歪が前記第3の結合部材の板面
    にほぼ沿つて前記第2の可動部材へ伝達されて前
    記第5の結合部材の前記固定部材に接続する端辺
    とほぼ平行な軸のまわりに回転モーメントを生ず
    るようにした特許請求の範囲第1項記載の差動型
    変位発生機構。 4 前記第6および第7の結合部材はそれぞれ板
    状であり両者の板面が所定の角度をなし且つ前記
    第1および第2の角変位がそれぞれ前記第6およ
    び第7の結合部材の板面にほぼ沿つて前記第3の
    可動部材へ伝達されて前記第6および第7の結合
    部材の前記第3の可動部材に接続する端辺にほぼ
    平行な軸のまわりに回転モーメントを生ずるよう
    にした特許請求の範囲第1項記載の差動型変位発
    生機構。 5 板状の第2ないし第7の結合部材は、板厚の
    異なる箇所を設けて形成された特許請求の範囲第
    2ないし第4項のいずれかの項記載の差動型変位
    発生機構。 6 前記固定部材は、前記圧電体の一方の端部を
    固定する第1の取付部と、該第1の取付部と一体
    をなし前記圧電体の両側にそれぞれ並行して設け
    てあり各所定箇所に前記第4および第5の結合部
    材を接続する第2および第3の取付部とを有して
    コの字形に形成された特許請求の範囲第1項記載
    の差動型変位発生機構。 7 前記圧電体は、複数個の電極を内部に交互に
    予め定めた間隔でほぼ平行に設けた圧電材料から
    なる部分を有し、複数個の前記電極の間で予め定
    めた向きの分極処理を施した特許請求の範囲第1
    項記載の差動型変位発生機構。 8 前記圧電体は、複数個の電極を内部に交互に
    予め定めた間隔でほぼ平行に設けた電歪材料から
    なる部分を有する特許請求の範囲第1項記載の差
    動型変位発生機構。 9 前記第1ないし第7の結合部材と前記第1な
    いし第3の可動部材と前記固定部材とのうちの少
    なくともいずれか2つが一体をなして形成された
    特許請求の範囲第1項記載の差動型変位発生機
    構。
JP57095902A 1982-06-04 1982-06-04 差動型変位発生機構 Granted JPS58213484A (ja)

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US5004946A (en) * 1989-07-06 1991-04-02 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Parallel four-link mechanism
US5903085A (en) * 1997-06-18 1999-05-11 Phase Metrics, Inc. Piezoelectric nanopositioner

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