JPH0219983B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は回転運動発生機構に関し、特に圧電体
に電圧を印加して生ずる変位により回転運動を発
生させる回転運動発生機構に関する。

本発明における回転運動とは、小さな角度たと
えば１度程度の角度の間で往復する回転運動を指
す。このような回転運動を発生するために、圧電
体に電圧を印加したときに生ずる変位を利用する
ことができる。圧電体の変位を利用した回転運動
発生機構により得られる角度の変位をアームを用
いて拡大することにより、該アームの先端の往復
運動に変換すれば、該アームの長さに比例するス
トロークをもつ往復運動を得ることができる。こ
うして得られる往復運動は、圧電体リレーやスピ
ーカーなどにおいて機械的駆動源として用いられ
る。

第１図は従来の回転運動発生機構を示す斜視図
である。同図において、金属あるいはプラスチツ
クから成る取付部１の向いあつたたがいに平行な
２つの取付面に圧電体３１および３２の一端をそ
れぞれ固定して、圧電体３１および３２の他の一
端に金属あるいはプラスチツクから成る板の可動
部２を前記取付面に平行に固定し支持している。
圧電体３１および３２の一端を可動部２に固定す
る位置は、圧電体３１および３２が伸縮するとき
に可動部２に回転を与える偶力が作用するように
決めてある。圧電体３１および３２は圧電材料か
ら成る板であり、それぞれの側面に１対ずつ設け
られた電極７１および７２には導線８１および８
２を通じて電圧が印加されて、この印加電圧に応
じて圧電体３１および３２が伸縮する。

第２図ａ，ｂは第１図の構構の動作を示す側面
図である。同図ａは、圧電体３１，３２に電圧が
印加されておらず可動部２が水平に保持されてい
るときを示す。可動部２には金属のアーム６が取
り付け固定されている。第２図ｂは、圧電体３
１，３２に電圧が印加されたときを示す。印加電
圧に応じて圧電体３１，３２が伸びて、可動部２
には偶力が作用して角度θの変位を生ずる。アー
ム６は、可動部２に生じた角度θの変位を拡大し
た距離変位にするためのものである。このとき、
可動部２に固定された圧電体３１，３２の一端が
可動部２の変位に伴なつて移動するため、圧電体
３１，３２には屈曲を生ずる。このようにして、
圧電体３１，３２への電圧印加の有無に対応して
可動部２に角度の変位を発生させて、可動部２の
角度の変位をアーム６により拡大してアーム６の
先端の往復運動を得ることができる。

しかし、従来の回転運動発生機構においては、
可動部の変位に伴なつて圧電体に屈曲を生ずるた
め、圧電体に電圧を印加するときに供給される電
気エネルギーのかなりの部分が圧電体に屈曲を与
えるために消費されて、可動部において大きな角
度の変位を得ることができない。すなわち、圧電
体の屈曲に費やされるエネルギーは圧電体の厚さ
の３乗にほぼ比例するが、大きな回転運動エネル
ギーが必要な場合には、圧電体の体積を大きくせ
ねばならずこれに伴つて圧電体の厚さも大きくせ
ねばならぬため、電気エネルギーの大半が圧電体
の屈曲に費やされる。また、縦効果を利用する多
層電極を設けた圧電体は、低い電圧で大きな変位
を得るのに好適であるが、その構造では圧電体の
厚さを小さくすることは困難であるから、従来の
回転運動発生機構に用いられた場合はやはり電気
エネルギーの大半を屈曲に消費してしまう。ま
た、一般に圧電体の曲げ応力に対する強度はあま
り大きくないから、従来の回転運動発生機構にお
いて繰り返して回転運動を発生させたときに圧電
体が破損することもあり得る。以上のような理由
から、圧電体に屈曲による大きな曲げ応力を生じ
させる従来の回転運動発生機構は大きな回転運動
エネルギーを必要とする機器に適用することがで
きず、応用分野に大きな制限を受けるという欠点
がある。

本発明の目的は、上記の欠点を除去して、圧電
体に大きな曲げ応力を生じさせず不要な変位に消
費されるエネルギーが少なくてすみしたがつて効
率が良いかつ圧電体を１個だけ用いて回転運動を
発生させる回転運動発生機構を提供することにあ
る。

本発明の機構は、第２および第３の結合部を固
定し支持する取付部と、電極に印加される電圧に
応じて伸縮して寸法の歪を生ずる圧電体と、一部
分を前記圧電体に固定されて前記圧電体の歪を可
動部の予め定めた箇所へ伝達する第１の結合部
と、一端を前記取付部に固定され他端を前記圧電
体に固定されて前記圧電体を支持する前記第２の
結合部と、一部分を前記取付部に固定されて前記
可動部の予め定めた部分を支持する前記第３の結
合部と、前記第１の結合部を介して伝達される前
記圧電体の寸法の歪に応じて傾斜角の変位を生ず
る前記可動部とを備えている。

本発明の第１の実施態様は、前記本発明の機構
において前記第１ないし第３の結合部がそれぞれ
板状をなし、前記第１の結合部の一端は前記圧電
体の一端にまた前記第２の結合部の一端は前記圧
電体の他の一端に固定され、前記第１および第２
の結合部の板面は同じ向きであり前記第１および
第３の結合部の板面はほぼ直角をなしかつ前記圧
電体の寸法が前記第１の結合部の板面にほぼ沿つ
て前記可動部へ伝達されて前記第１の結合部の前
記板面とほぼ平行な軸のまわりに回転モーメント
を生じさせるようにしたものである。

本発明の第２の実施態様は、前記本発明の機構
において前記第１ないし第３の結合部がそれぞれ
板状をなし、前記第１の結合部の一端は前記圧電
体の一端にまた前記第２の結合部の一端は前記圧
電体の他の一端に固定され、前記第１および第２
の結合部の板面は同じ向きであり前記第１および
第３の結合部の板面はほぼ平行でありかつ前記圧
電体の寸法の歪が前記第１の結合部の板面にほぼ
沿つて前記可動部へ伝達されて前記第１の結合部
の前記板面とほぼ平行な軸のまわりに回転モーメ
ントを生じさせるようにしたものである。

本発明の第３の実施態様は、前記本発明の機構
において前記第１および第２の結合部が板状をな
し、前記第３の結合部が細長い形状をなし、前記
第１の結合部の一端は前記圧電体の一端にまた前
記第２の結合部の一端は前記圧電体の他の一端に
固定され、前記第１および第２の結合部の板面は
同じ向きであり前記第１の結合部の板面と前記第
３の結合部の長さ方向の軸とがほぼ平行でありか
つ前記圧電体の寸法の歪が前記第１の結合部の前
記板面にほぼ沿つて前記可動部へ伝達されて前記
第２の結合部の前記長さ方向の軸のまわりに回転
モーメントを生じさせるようにしたものである。

本発明の第４の実施態様は、板状の前記第１な
いし第３の結合部に関するもので、板状の前記第
１ないし第３の結合部が板厚の異なる箇所を設け
て形成されたものである。

本発明の第５および第６の実施態様は、いずれ
も前記圧電体に関するもので、それぞれ前記圧電
体が複数個の電極を内部に交互に予め定めた間隔
をもつてほぼ平行に配置した圧電材料から成る部
分を備え前記複数個の電極の間において予め定め
た方向の分極処理を施したもの、および前記圧電
体が複数個の電極を内部に交互に予め定めた間隔
をもつてほぼ平行に配置した電歪材料から成る部
分を備えたものである。

本発明の第７の実施態様は、前記可動部ならび
に前記第１および第３の結合部に関するもので、
前記第１および第３の結合部と前記可動部とのう
ち少なくともいずれか２つが一体をなして形成さ
れたものである。

次に図面を参照して本発明を詳細に説明する。

第３図は本発明の第１の実施態様の一例を示す
斜視図である。金属あるいはプラスチツクから成
る取付部１１はたがいに直角に交わる２つの取付
面を有し、第１の取付面には第２の結合部５１の
一端がまた第２の取付面には第３の結合部６１の
一端が、それぞれ固定されている。第２の結合部
５１の他の一端には圧電体３の一端が固定されて
おり、また圧電体３の他の一端には第１の結合部
４１を介して可動部２１が取り付けられている。
可動部２１の端部には、第３の結合部６１の端部
が固定されている。可動部２１と第１ないし第３
の結合部４１，５１，６１とは、それぞれ金属あ
るいはプラスチツクから成る板である。圧電体３
は圧電材料あるいは電歪材料から成り、その向い
あう２つの側面に設けた一対の電極７に導線８を
通して電圧が印加されて、この印加電圧に応じて
圧電体３が伸縮する。可動部２１はその板面が取
付部１１の第１の取付面にほぼ平行となるように
保持され、第１の結合部４１はその板面が可動部
２１の１つの板面に直角にまた第３の結合部６１
はその板面が可動部２１の板面に平行となるよう
に保持されている。したがつて、第１および第３
の結合部４１および６１は板面がたがいにほぼ直
角をなして可動部２１を支持している。また第２
の結合部５１は、その板面が第１の結合部４１の
板面と同じ向きで圧電体３を支持している。第４
図ａ，ｂは第３図の機構の動作を示す側面図であ
る。同図ａは、圧電体３に電圧が印加されておら
ず可動部２１が取付部１１の第１の取付面に平行
に保持されているときを示す。第４図ｂは、圧電
体３に電圧が印加されこれに応じて圧電体３が矢
印Ａで示す方向に伸びたときを示す。圧電体３の
伸びによつて生じた寸法の歪は第１の結合部４１
の板面にほぼ沿つて可動部２１に伝達されるが、
可動部２１の一端は弾性をもつ第３の結合部６１
により取付部１１の第２の取付面に支持されてい
るので、可動部２１に伝達された歪によつて第１
の結合部４１の板面に平行な軸のまわりに回転モ
ーメントを生ずる。この回転モーメントにより可
動部２１には角度の変位を生じ、これに伴つて第
１ないし第３の結合部４１，５１，６１には屈曲
を生ずるから圧電体３に生ずる曲げ応力は従来よ
り少なくなる。また従来の機構において圧電体が
屈曲する場合と比較すると、第１ないし第３の結
合部４１，５１，６１では、その板厚が小さいか
ら、屈曲のために消費されるエネルギーは少なく
てすむ。第２図ａ，ｂに示した場合と同様に可動
部２１にアームを取付けて固定すれば、可動部２
１に生じた角度の変位を拡大してアームの先端の
往復運動を得ることができる。

本発明の第１の実施態様は、可動部の一部分が
板状の第３の結合部を介して取付部に支持されて
おり、かつ可動部への回転力は板状の第１の結合
部の板面にほぼ沿つて第３の結合部の板面にほぼ
直角をなす方向に作用するから、横振れの少ない
安定な回転運動を得ることができるという特長を
有する。また取付部の構造が簡単であり製作し易
いという特長がある。

第５図は本発明の第２の実施態様について第１
の例を示す斜視図である。金属あるいはプラスチ
ツクから成る取付部１２はたがいに平行でかつ同
じ側を向いた２つの取付面を有し、第１の取付面
には第２の取付部５２の一端が、また第２の取付
面には第３の結合部６２の一端がそれぞれ固定さ
れている。第２の取付部５２の他の一端には圧電
体３の一端が固定されており、また圧電体３の他
の一端には第１の結合部４２を介して可動部２２
が取り付けられている。可動部２２の第１の結合
部４２の一端が固定された側の面には、第３の結
合部６２の一端が固定されている。可動部２２と
第１ないし第３の結合部４２，５２，６２とは、
それぞれ金属あるいはプラスチツクから成る板で
ある。第１および第３の結合部４２および６２の
板面はほぼ平行であり、第１および第２の結合部
４２および５２の板面は同じ向きとなつている。
圧電体３の側面に設けられた一対の電極７には導
線８を通して電圧が印加されて、この印加電圧に
応じて圧電体３が伸縮する。第６図ａ，ｂは第５
図の機構の動作を示す側面図である。同図ａは、
圧電体３に電圧が印加されておらず可動部２２が
取付部１２の第１の取付面に平行に保持されてい
るときを示す。第６図ｂは、圧電体３に電圧が印
加されて圧電体３が矢印Ｂの方向に伸びたときを
示す。圧電体３の伸びによつて生じた寸法の歪は
第１の結合部４２の板面にほぼ沿つて可動部２２
へ伝達されて、第１の結合部４２の板面に平行な
軸のまわりに回転モーメントを生じさせ可動部２
２に角度の変位を生じさせる。

第７図は本発明の第２の実施態様について第２
の例を示す斜視図である。この例と第５図の第１
の例との違いは、取付部１３がたがいに平行でか
つ向いあつた２つの取付面を有し、可動部２３の
一方の面に第１の結合部４３の一端がまた他方の
面に第３の結合部６３の一端が固定されているこ
とである。この機構においては、第１および第３
の結合部４３および６３の間隔を小さくすること
ができるから、可動部２３に生ずる角度の変位を
大きくとり易いという利点がある。なお第２の結
合部５３の両端は、一方が取付部１３の取付面に
また他方が圧電体の一端に、それぞれ固定されて
いる。

第５図あるいは第７図に示す機構において、そ
れぞれ可動部２２あるいは２３にアームを取り付
ければ、角度の変位を拡大したアームの先端の往
復運動が得られる。

本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様と
同様に第１ないし第３の結合部が板状であるから
横振れの少ない安定な回転運動を得ることができ
るという特長をもつ。さらに、第１の実施態様で
は、可動部に第３の結合部を固定した箇所が第１
の結合部から伝達される歪によつて同じ方向に動
くため、可動部に生ずる角度の変位が若干ながら
減殺されるが、第２の実施態様にはこのような角
度の変位の減殺を生じないという特長がある。

第８図は本発明の第３の実施態様について第１
の例を示す斜視図である。金属あるいはプラスチ
ツクから成る取付部１４は、第１の取付面とこれ
に平行で同じ側を向いた２つの第２の取付面とを
有し、第１の取付面には第２の結合部５４の一端
が固定されており、第２の取付面には第３の結合
部６４の端部が固定されている。第２の結合部５
４の他の一端には圧電体３の一端が固定されてお
り、また圧電体３の他の一端には第１の結合部４
４を介して金属あるいはプラスチツクの板から成
る可動部２４が取り付けられている。第３の結合
部６４の中央部近傍は可動部２４に固定されてい
る。なお、第１および第２の結合部４４および５
４は金属あるいはプラスチツクの板であり、第３
の結合部６４は金属の細い丸棒である。導線８を
通して電極７に電圧を印加すると、圧電体３が伸
縮して生じた寸法の歪が第１の結合部４４の板面
にほぼ沿つて可動部へ伝達されて、可動部２４に
角度の変位を生ずる。第９図ａ，ｂは第８図の機
構の動作を示す側面図である。同図ａは、圧電体
３に電圧が印加されておらず可動部２４が取付部
１４の第１の取付面に平行に保持されているとき
を示す。第９図ｂは、圧電体３に電圧が印加され
て圧電体３が矢印Ｃの方向に伸びたときを示す。
圧電体３の伸びによつて生じた寸法の歪は第１の
結合部４４の板面にほぼ沿つて可動部２４に伝達
され、第３の結合部６４の長さ方向の軸のまわり
に回転モーメントを生じさせる。この回転モーメ
ントにより可動部２４には角度の変位を生じ、こ
れに伴つて第１および第２の結合部４４および５
４には屈曲を生じ、また第３の結合部６４には矢
印Ｄの方向のねじれを生ずるから、圧電体３に生
ずる曲げ応力は従来より少なくなる。従来の機構
において圧電体が屈曲する場合と比較すると、第
１および第２の結合部４４および５４の板厚が小
さくまた第３の結合部６４の直径が小さいから、
第１ないし第３の結合部４４，５４，６４の変形
のために消費されるエネルギーは少なくてすむ。
なお、第２の結合部６４として丸棒の代りに細い
角棒あるいは細長い板を用いてもよい。

第１０図は本発明の第３の実施態様について第
２の例を示す斜視図である。取付部１５は、第１
の取付面とこれに直角をなす２つの第２の取付面
とを有する。第１の取付面には金属あるいはプラ
スチツクの板の第２の結合部５５の一端が固定さ
れており、第２の取付面には金属の丸棒の第３の
結合部６５の端部が固定されている。第２の取付
部５５の他の一端は圧電体３の一端に固定されて
おり、また圧電体３の他の一端には金属あるいは
プラスチツクの板の第１の結合部４５を介して金
属あるいはプラスチツクの板の可動部２５が取り
付けられている。第３の結合部６５の中央部近傍
は可動部２５に固定されている。導線８を通して
電極７に電圧が印加されると、圧電体３に伸縮を
生ずる。第１１図ａ，ｂは第１０図の機構の動作
を示す側面図である。同図ａは、圧電体３に電圧
が印加されておらず可動部２５が取付部１５の第
２の取付面に平行に保持されているときを示す。
第１１図ｂは、圧電体３に電圧が印加されて圧電
体３が矢印Ｅの方向に伸びたときを示す。圧電体
３の伸びによつて生じた寸法の歪は、第１の結合
部４５の板面にほぼ沿つて可動部２５へ伝達さ
れ、第３の結合部６５の長さ方向の軸のまわりに
回転モーメントを生じさせる。この回転モーメン
トによつて可動部２５に角度の変位を生じ、これ
に伴つて第１および第２の結合部４５および５５
には屈曲を生じ、また第３の結合部６５には矢印
Ｆの方向のねじれを生じる。第１０図の機構で
は、第１および第３の結合部４５および６５の間
隔は両者を固定する可動部２５の板厚によつて決
まり、可動部２５の角度の変位は第１の結合部４
５から伝達される寸法の歪と第１および第３の結
合部４５および６５の間隔とで決まるから、可動
部２５の板厚を予め定めた寸法にすることにより
可動部２５の角度の変位を予め定めた大きさで得
ることが容易であるという特長がある。なお、第
３の結合部６５として丸棒の代りに細い角棒ある
いは細長い板を用いてもよい。

本発明の第３の実施態様は、可動部が細長い形
状の第３の結合部によつて取付部に支持されてお
り、かつ可動部への回転力は第１の結合部の板面
にほぼ沿つて第３の結合部の長さ方向の軸に対し
てほぼ直角をなす方向に作用するから、横振れの
少ない安定な回転運動を得ることができるという
特長を有する。

第１２図ａ〜ｃは本発明に用いる板状の第１あ
るいは第２の結合部についての実施態様を示す斜
視図である。第３，５および７図に示す機構の第
１ないし第３の結合部４１〜４３，５１〜５３，
６１〜６３ならびに第８および第１０図に示す機
構の第１および第２の結合部４４〜４５，５４〜
５５は、それぞれ金属あるいはプラスチツクの板
であり、圧電体３の伸縮に伴つて屈曲しながら可
動部２１〜２５に角度の変位を発生させる。この
とき屈曲のために消費されるエネルギーを更に減
らすためには第１ないし第３の結合部の板厚を小
さくすればよいが、その板厚を小さくしすぎると
圧電体３から可動部２１〜２５への寸法の歪の伝
達が行われ難くなる。第１２図ａ〜ｃの第１ある
いは第２の結合部は、このような難点を解決する
ためのものである。同図ａおよびｂは、それぞれ
第１あるいは第２の結合部の一方および両方の面
に、可動部に固定される端面に平行な溝を設ける
ことにより、一部分に板厚の小さな箇所を形成し
たものである。同図ｃは２枚の板に薄い板を接合
することにより、一部分に板厚の小さな箇所をも
つ結合部を形成したものである。この結合部は、
金属あるいはプラスチツクを用いて成形、切削あ
るいは溶接などにより製作する。また、大きな機
械的強度を要する場合は、せんい強化金属あるい
はせんい強化プラスチツクの材料を用いて製作す
る。このような結合部を用いることにより、本発
明の機構において結合部の屈曲に消費されるエネ
ルギーが少なくかつ圧電体から可動部への寸法の
歪の伝達が良好な動作を行わせることができる。

第１３図ａ，ｂは本発明に用いる圧電体３につ
いての実施態様を示す斜視図である。同図ａ，ｂ
の圧電体３はいずれも内部に電極９１および９２
をそれぞれ複数個ずつ交互に配置して設けてあ
り、電極９１を１対の電極７の一方にまた電極９
２を電極７の他の一方に接続してある。同図ａは
材料としてジルコンチタン酸鉛などの圧電材料を
用いる場合を示す。電極９１および９２の間に予
め定めた方向、たとえば矢印Ｒの方向の分極処理
を施す。分極の方向と同じ（あるいは逆の）向き
電圧を１対の電極７を介して電極９１および９２
の間に印加することにより、圧電体３には矢印Ｐ
（あるいはＱ）の方向に寸法の歪を生ずる。した
がつて印加電圧の極性を変えることにより、両方
向の寸法の歪を得ることができる。第１３図ｂは
材料としてマグネシウムニオブ酸鉛などの電歪材
料を用いる場合を示す。この場合は、電圧を電極
９１および９２の間に印加すれば、その向きによ
らず矢印Ｓの方向に寸法の歪を生ずる。この電歪
材料を用いた場合は、ヒステリシスが少ないこと
が特長である。第１３図ａ，ｂに示すように電極
９１および９２を交互に複数個ずつ配置した多層
電極を設けることにより、低い印加電圧で圧電体
３の寸法に大きな歪を発生することができる。本
発明の機構においては圧電体３が屈曲しながら動
作することはないから、上記の多層電極を設けた
縦効果型の圧電体を用いて大きな角度の変位が得
られる。

第１４〜第１６図は本発明に用いる可動部、第
１および第３の結合部について実施態様を例示す
る側面図である。可動部、第１および第３の結合
部を同じ材料で製作する場合は、それらのうちの
２つあるいは３つを一体構造で製作できる。第１
４図は第３図の機構の可動部２１と第１の結合部
４１とを一体化して可動部２６および第１の結合
部４６としたものを示し、第１５図は第５図の機
構の可動部２２と第３の結合部６２とを一体化し
て可動部２７および第３の結合部６７としたもの
を示し、また第１６図は第５図の機構の可動部２
１と第１および第３の結合部４１および６１とを
一体化して可動部２８と第１および第３の結合部
４８および６８としたものを示す。

このように複数の結合部あるいは可動部を一体
化した構造にすれば、本発明の機構を組み立てる
手間を少なくすることができる。

以上説明したように、本発明には、圧電体に生
ずる寸法の歪を受けて屈曲しながら可動部へ回転
モーメントを生じさせる第１ないし第３の結合部
を設けて圧電体に生ずる曲げ応力を減らすことに
より、圧電体を１個だけ用いて従来より大きな回
転角度が得られかつ不要な変位を生ずるために消
費されるエネルギーが少なくてすむ効率の良い回
転運動発生機構を実現できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図ａ，ｂはそれぞれ従来の回
転運動発生機構を示す斜視図および側面図、第３
図、第５図、第７図、第８図、第１０図、第１２
図ａ〜ｃおよび第１３図ａ，ｂはそれぞれ本発明
の実施態様を例示する斜視図、第４図ａ，ｂ、第
６図ａ，ｂ、第９図ａ，ｂ、第１１図ａ，ｂおよ
び第１４〜１６図はそれぞれ本発明の実施態様を
例示する側面図である。 １，１１〜１５……取付部、２，２１〜２８…
…可動部、３，３１，３２……圧電体、４１〜４
６，４８……第１の結合部、５１〜５５……第２
の結合部、６１〜６５，６７，６８……第３の結
合部、７，７１，７２，９１，９２……電極、
８，８１，８２……導線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 第２および第３の結合部を固定し支持する取
   付部と、電極に印加される電圧に応じて伸縮して
   寸法の歪を生ずる圧電体と、一部分を前記圧電体
   に固定されて前記圧電体の寸法の歪を可動部の予
   め定めた箇所へ伝達する第１の結合部と、一端を
   前記取付部に固定され他端を前記圧電体に固定さ
   れて前記圧電体を支持する前記第２の結合部と、
   一部分を前記取付部に固定されて前記可動部の予
   め定めた部分を支持する前記第３の結合部と、前
   記第１の結合部を介して伝達される前記圧電体の
   寸法の歪に応じて傾斜角の変位を生ずる前記可動
   部とを備えたことを特徴とする回転運動発生機
   構。 ２ 前記第１ないし第３の結合部がそれぞれ板状
   をなし、前記第１の結合部の一端は前記圧電体の
   一端にまた前記第２の結合部の一端は前記圧電体
   の他の一端に固定され、前記第１および第２の結
   合部の板面は同じ向きであり前記第１および第３
   の結合部の板面はほぼ直角をなしかつ前記圧電体
   の寸法が前記第１の結合部の板面にほぼ沿つて前
   記可動部へ伝達されて前記第１の結合部の前記板
   面とほぼ平行な軸のまわりに回転モーメントを生
   じさせるようにした特許請求の範囲第１項記載の
   回転運動発生機構。 ３ 前記第１ないし第３の結合部がそれぞれ板状
   をなし、前記第１の結合部の一端は前記圧電体の
   一端にまた前記第２の結合部の一端は前記圧電体
   の他の一端に固定され、前記第１および第２の結
   合部の板面は同じ向きであり前記第１および第３
   の結合部の板面はほぼ平行でありかつ前記圧電体
   の寸法の歪が前記第１の結合部の板面にほぼ沿つ
   て前記可動部へ伝達されて前記第１の結合部の前
   記板面とほぼ平行な軸のまわりに回転モーメント
   を生じさせるようにした特許請求の範囲第１項記
   載の回転運動発生機構。 ４ 前記第１および第２の結合部が板状をなし、
   前記第３の結合部が細長い形状をなし、前記第１
   の結合部の一端は前記圧電体の一端にまた前記第
   ２の結合部の一端は前記圧電体の他の一端に固定
   され、前記第１および第２の結合部の板面は同じ
   向きであり前記第１の結合部の板面と前記第３の
   結合部の長さ方向の軸とがほぼ平行でありかつ前
   記圧電体の寸法の歪が前記第１の結合部の前記板
   面にほぼ沿つて前記可動部へ伝達されて前記第２
   の結合部の前記長さ方向の軸のまわりに回転モー
   メントを生じさせるようにした特許請求の範囲第
   １項記載の回転運動発生機構。 ５ 板状の前記第１ないし第３の結合部が板厚の
   異なる箇所を設けて形成された特許請求の範囲第
   ２項ないし第４項のいずれかの項記載の回転運動
   発生機構。 ６ 前記圧電体が複数個の電極を内部に交互に予
   め定めた間隔をもつてほぼ平行に配置した圧電材
   料から成る部分を備え前記複数個の電極の間にお
   いて予め定めた方向の分極処理を施した特許請求
   の範囲第１項記載の回転運動発生機構。 ７ 前記圧電体が複数個の電極を内部に交互に予
   め定めた間隔をもつてほぼ平行に配置した電歪材
   料から成る部分を備えた特許請求の範囲第１項記
   載の回転運動発生機構。 ８ 前記第１および第３の結合部と前記可動部と
   のうち少なくともいずれか２つが一体をなして形
   成された特許請求の範囲第１項記載の回転運動発
   生機構。