JP4901597B2 - 振動型アクチュエータ - Google Patents
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Description
前記移動子に形成された穴の内周面に雌ねじ部が形成され、前記駆動子の外側に前記雌ねじ部に嵌合する雄嵌合部が設けられており、
前記振動軸を変形させて前記駆動子に周回運動を発生させる加振手段が設けられており、前記駆動子の周回運動によって前記移動子が回転させられ、前記移動子が雌ねじ部の軸方向へ移動させられることを特徴とするものである。
2 振動軸
2a,2b,2c,2d 取付け平面
3 駆動子
4 移動子
4a 中心穴
5 固定台
6,7,8,9 圧電素子
6a,6b,7a,7b,8a,8b,9a,9b 電極
11 絶縁部材
13 雄嵌合部(雄ねじ部)
14 雌ねじ部
20 駆動回路
Claims (5)
- 固定部に支持されている振動軸と、この振動軸に固定された駆動子と、前記駆動子の外側に挿通された筒形状の移動子とを有し、
前記移動子に形成された穴の内周面に雌ねじ部が形成され、前記駆動子の外側に前記雌ねじ部に嵌合する雄嵌合部が設けられており、
前記振動軸を変形させて前記駆動子に周回運動を発生させる加振手段が設けられており、前記駆動子の周回運動によって前記移動子が回転させられ、前記移動子が雌ねじ部の軸方向へ移動させられることを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記加振手段には、振動軸に対して異なる方向へ撓み振動を生じさせる複数の圧電素子が設けられており、異なる方向への撓み振動の位相が相違するようにそれぞれの圧電素子が駆動されて、前記駆動子が周回運動させられる請求項1記載の振動型アクチュエータ。
- 前記加振手段から前記振動軸に対して、振動軸を含む振動系の固有振動数に相当する周波数の加振力が与えられる請求項1または2記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動軸は、一端が支持され、他端が自由端である請求項1ないし3のいずれかに記載の振動型アクチュエータ。
- 前記駆動子は、前記振動軸の撓み振動の節と節との中間に固定されている請求項1ないし4のいずれかに記載の振動型アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007156117A JP4901597B2 (ja) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | 振動型アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007156117A JP4901597B2 (ja) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | 振動型アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008312308A JP2008312308A (ja) | 2008-12-25 |
JP4901597B2 true JP4901597B2 (ja) | 2012-03-21 |
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ID=40239397
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007156117A Expired - Fee Related JP4901597B2 (ja) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | 振動型アクチュエータ |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4901597B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101731424B1 (ko) * | 2010-10-27 | 2017-05-02 | 삼성전자주식회사 | 진동 액추에이터 조립체 |
JP2015198522A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 株式会社ダイセル | アクチュエータ用弾性体及びアクチュエータ |
CN107143630A (zh) * | 2017-07-25 | 2017-09-08 | 顺德职业技术学院 | 新型超声螺杆 |
CN109980989B (zh) * | 2019-04-09 | 2020-04-24 | 哈尔滨工业大学 | 一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2729827B2 (ja) * | 1989-03-06 | 1998-03-18 | 株式会社トーキン | 超音波モータ |
FR2805679B1 (fr) * | 2000-02-25 | 2002-05-31 | Meritor Light Vehicle Sys Ltd | Actionneur a deplacement lineaire perfectionne |
KR101177139B1 (ko) * | 2003-09-08 | 2012-08-24 | 뉴 스케일 테크놀로지스 인코포레이티드 | 초음파 리드 나사 모터 |
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2007
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008312308A (ja) | 2008-12-25 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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