JPS63308955A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS63308955A JPS63308955A JP62146595A JP14659587A JPS63308955A JP S63308955 A JPS63308955 A JP S63308955A JP 62146595 A JP62146595 A JP 62146595A JP 14659587 A JP14659587 A JP 14659587A JP S63308955 A JPS63308955 A JP S63308955A
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- JP
- Japan
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- image pickup
- pickup device
- glass
- case
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体による撮像素子に貼、付けて用いられる
フィルタを有する固体撮像装置に関する。
フィルタを有する固体撮像装置に関する。
最近のＬＳＩ技術の進歩は、メモリ、マイクロプロセッ
サ等の汎用デバイスの容量の増大、と・ント数の増加、
性能向上分可能にして来ているが、従来サチコン等の撮
像管によって実現されていた画像入力デバイスの分野に
も固体化を進められている。ＣＣＤ （Ｃｈａｒｇｅ−
Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ）を中心とするこれ等
の撮像デバイスは、光入力である事及び信号がアナログ
である点から前述の汎用デバイスとはチップの製法、製
造、必要特性か異など）大量生産はかなり困難であると
されている。
サ等の汎用デバイスの容量の増大、と・ント数の増加、
性能向上分可能にして来ているが、従来サチコン等の撮
像管によって実現されていた画像入力デバイスの分野に
も固体化を進められている。ＣＣＤ （Ｃｈａｒｇｅ−
Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ）を中心とするこれ等
の撮像デバイスは、光入力である事及び信号がアナログ
である点から前述の汎用デバイスとはチップの製法、製
造、必要特性か異など）大量生産はかなり困難であると
されている。
これに加えてチップ以降の組立工程も従来のデバイスと
は大きく異なり、光学フィルタ、透明キャップなどの特
殊な資材をも必要とする。前者は、ガラス上にゼラチン
等の有機物を染色してストライプ又はドツト状に三色Ｒ
，Ｇ、Ｂを配置させたものが代表的なものであり、この
フィルタをチップ上に配列された画素に対応する様に位
置合せをして貼り付けている。また、後者は、容器の気
密性を保ちながら光入力を可能にするために、通常のＬ
ＳＩで用いられるセラミック、樹脂の替りに透明な石英
ガラス等をキャップとして用いている。
は大きく異なり、光学フィルタ、透明キャップなどの特
殊な資材をも必要とする。前者は、ガラス上にゼラチン
等の有機物を染色してストライプ又はドツト状に三色Ｒ
，Ｇ、Ｂを配置させたものが代表的なものであり、この
フィルタをチップ上に配列された画素に対応する様に位
置合せをして貼り付けている。また、後者は、容器の気
密性を保ちながら光入力を可能にするために、通常のＬ
ＳＩで用いられるセラミック、樹脂の替りに透明な石英
ガラス等をキャップとして用いている。
第３図は従来の固定撮像装置の一例の断面図である。光
電変換素子アレー２１を有する損保チップ２は、ケース
１内に実装され、このケース１に段差をつけて、染ｆ！
！、層３１を設けたフィルタ用ガラス３が取付けられ、
このガラス３の上にガラスキャップ５が設けられている
。
電変換素子アレー２１を有する損保チップ２は、ケース
１内に実装され、このケース１に段差をつけて、染ｆ！
！、層３１を設けたフィルタ用ガラス３が取付けられ、
このガラス３の上にガラスキャップ５が設けられている
。
このような従来の構成において、フィルタガラス３及び
キャップ５は、アナログ入力である光が通過する経路に
存在するため、信号をゆがめる様な欠陥、すなわち内部
の歪、泡や表面のキズ、ゴミ等を含んではならず、材料
そのものが高価になると共に、撮像デバイスの組立工程
でも特別な注意を払うことが必要で、ひいてはデバイス
のコストの増大につながっていた９ 本発明の目的は、このような欠点を除き、キャップとカ
ラーフィルタとを一体化して、材料を少くすると共に、
組立工程を簡単化してコストを低減した固体撮像装置を
提供することにある。
キャップ５は、アナログ入力である光が通過する経路に
存在するため、信号をゆがめる様な欠陥、すなわち内部
の歪、泡や表面のキズ、ゴミ等を含んではならず、材料
そのものが高価になると共に、撮像デバイスの組立工程
でも特別な注意を払うことが必要で、ひいてはデバイス
のコストの増大につながっていた９ 本発明の目的は、このような欠点を除き、キャップとカ
ラーフィルタとを一体化して、材料を少くすると共に、
組立工程を簡単化してコストを低減した固体撮像装置を
提供することにある。
本発明の構成は、半導体撮像素子表面に光学フィルタを
配設して所望の光学・電気的特性を得るカラー固体撮像
装置において、前記光学フィルタのカラス蒸着膜又は染
色膜が存在する面の反対側の面が直接外気に接した構成
とすることにより、キャップガラスを不要とした事を特
徴とする。
配設して所望の光学・電気的特性を得るカラー固体撮像
装置において、前記光学フィルタのカラス蒸着膜又は染
色膜が存在する面の反対側の面が直接外気に接した構成
とすることにより、キャップガラスを不要とした事を特
徴とする。
次に図面により本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図である。本実施
例の撮像デバイス２には、ビーム状のリード２１を備え
、このリード２１はケース１に接着すると同時にケース
内部リードと接続される。この際、チップ２の厚さとケ
ース１のキャビティの製造公差を吸収するために何らか
の緩衝材が必要となる場合もある。チップと所定の間隔
を保つ様に設計されたケース１の表面に、染色層３１を
備えた透明ガラスを画素に対応してフィルタの染色部が
合致する様に目合せして、金属又は樹脂のシール材４に
より封止して取付けられている。
例の撮像デバイス２には、ビーム状のリード２１を備え
、このリード２１はケース１に接着すると同時にケース
内部リードと接続される。この際、チップ２の厚さとケ
ース１のキャビティの製造公差を吸収するために何らか
の緩衝材が必要となる場合もある。チップと所定の間隔
を保つ様に設計されたケース１の表面に、染色層３１を
備えた透明ガラスを画素に対応してフィルタの染色部が
合致する様に目合せして、金属又は樹脂のシール材４に
より封止して取付けられている。
第２図は本発明の第２の実施例の断面図である。この実
施例では、ケース１の窓部（開口部）に、フィルタ染色
層３１を備えた、透明ガラス３をあらかじめ封着してお
く。この染色層３１とチップ２の光電変換アレ一部２２
とを相対位置合わせを行なった後、バンプ４でケース内
部の導体パターン１１と電気的５機械的に接続する。最
後にエポキシ、シリコン等の樹脂でチップ及び接続部を
被う。この実施例においても、チップ２のケース］の導
電パターン部の接続部は、第１の実施例の様なビーム状
のリードでも実現出来る。さらに、チップの封止に関し
ても、金属、セラミック、樹脂による箱状のキャップで
も実現できる。
施例では、ケース１の窓部（開口部）に、フィルタ染色
層３１を備えた、透明ガラス３をあらかじめ封着してお
く。この染色層３１とチップ２の光電変換アレ一部２２
とを相対位置合わせを行なった後、バンプ４でケース内
部の導体パターン１１と電気的５機械的に接続する。最
後にエポキシ、シリコン等の樹脂でチップ及び接続部を
被う。この実施例においても、チップ２のケース］の導
電パターン部の接続部は、第１の実施例の様なビーム状
のリードでも実現出来る。さらに、チップの封止に関し
ても、金属、セラミック、樹脂による箱状のキャップで
も実現できる。
以上説明したように、本発明は固体撮像素子を収納する
容器との気密性を保ちながら、光学フィルタを光学的に
透明な「ふた（キャップ）」と合体化とすることにより
、固体撮像装置の組立工程上で作業性、経済性の点で大
きな障害となっていた特殊の部材を簡略化すると共に、
拳のコスＩ・低減に大きな効果がある。
容器との気密性を保ちながら、光学フィルタを光学的に
透明な「ふた（キャップ）」と合体化とすることにより
、固体撮像装置の組立工程上で作業性、経済性の点で大
きな障害となっていた特殊の部材を簡略化すると共に、
拳のコスＩ・低減に大きな効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図は本発
明の第２の実施例の断面図、第３図は従来の固体撮像装
置の一例の断面図である。 １・・・ケース、２・・・撮像デバイス（チップ）、３
・・・ガラス、４・・・シール材、５・・・ガラスキャ
ップ、１１・・・ケース内導電パターン、２１・・・ビ
ーム状リード、２２・・・光電変換素子アレー、３１・
・・フィルタ染色層、３２・・・遮光層、４１・・バン
ブ。 代理人 弁理士 内 原 音／ ｌ 第？図
明の第２の実施例の断面図、第３図は従来の固体撮像装
置の一例の断面図である。 １・・・ケース、２・・・撮像デバイス（チップ）、３
・・・ガラス、４・・・シール材、５・・・ガラスキャ
ップ、１１・・・ケース内導電パターン、２１・・・ビ
ーム状リード、２２・・・光電変換素子アレー、３１・
・・フィルタ染色層、３２・・・遮光層、４１・・バン
ブ。 代理人 弁理士 内 原 音／ ｌ 第？図
Claims (1)
- 半導体撮像素子表面に光学フィルタを配設して所望の光
学・電気的特性を得るカラー固体撮像装置において、前
記光学フィルタのガラス蒸着膜又は染色膜が存在する面
の反対側の面が直接外気に接した構成とすることにより
、キャップガラスを不要とした事を特徴とした固体撮像
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62146595A JPS63308955A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62146595A JPS63308955A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308955A true JPS63308955A (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=15411270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62146595A Pending JPS63308955A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308955A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100407407B1 (ko) * | 2001-11-20 | 2003-11-28 | 한국 고덴시 주식회사 | 칼라센서 |
-
1987
- 1987-06-11 JP JP62146595A patent/JPS63308955A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100407407B1 (ko) * | 2001-11-20 | 2003-11-28 | 한국 고덴시 주식회사 | 칼라센서 |
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