JPH06112460A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH06112460A
JPH06112460A JP4280757A JP28075792A JPH06112460A JP H06112460 A JPH06112460 A JP H06112460A JP 4280757 A JP4280757 A JP 4280757A JP 28075792 A JP28075792 A JP 28075792A JP H06112460 A JPH06112460 A JP H06112460A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid
state image
diffraction grating
pass filter
type optical
Prior art date
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Pending
Application number
JP4280757A
Other languages
English (en)
Inventor
Michio Koyama
倫生 小山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH06112460A publication Critical patent/JPH06112460A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation

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  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回折格子型オプチカルローパスフィルタを備
えた固体撮像装置の小型化を図る。 【構成】 固体撮像素子1の表面と、透明基板4表面に
回折格子5及び配線膜6を形成した回折格子型オプチカ
ルローパスフィルタ3の表面とを、その間にスペーサ9
を介して該固体撮像素子1の各電極2と上記各配線膜6
の内側電極との位置が整合するように対向させ、該固体
撮像素子1の電極2と上記フィルタの配線膜6の内側電
極とをバンプ10を介して接続してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置、特に回
折格子型オプチカルローパスフィルタを備えた著しく小
型化が可能な固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】固体撮像素子により撮像する場合、モア
レを防止するために光路中に回折格子型オプチカルロー
パスフィルタを設ける必要がある。そして、回折格子型
オプチカルローパスフィルタの配置の態様としては、回
折格子型オプチカルローパスフィルタをレンズの反固体
撮像装置側に設ける第1の態様と、回折格子型オプチカ
ルローパスフィルタをレンズと固体撮像装置との間に設
ける第2の態様と、固体撮像装置に回折格子型オプチカ
ルローパスフィルタを内蔵させる第3の態様がある。
【0003】ビデオカメラ等に実装する場合、回折格子
型オプチカルローパスフィルタを固体撮像装置に内蔵さ
せるようにした方が組立等の面で有利であり、この態様
(即ち第3の態様)で回折格子型オプチカルローパスフ
ィルタが配置されるケースが増えている(特開昭60−
27176号公報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、固体撮像装
置に回折格子型オプチカルローパスフィルタを内蔵させ
る場合、従来においては回折格子型オプチカルローパス
フィルタと固体撮像素子とを組付けたものをパッケージ
に取り付けるようにしていたので、固体撮像装置が大型
化するのを避けられなかった。
【0005】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、回折格子型オプチカルローパスフィ
ルタを備えた固体撮像装置の小型化を図ることを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明固体撮像装置は、
固体撮像素子の表面と、透明基板表面に回折格子及び配
線膜を形成した回折格子型オプチカルローパスフィルタ
の表面とをその間にスペーサを介して該固体撮像素子の
各電極と上記各配線膜の内側電極とが整合するように対
向させ、上記固体撮像素子の電極と上記フィルタの配線
膜の内側電極とをバンプを介して接続してなることを特
徴とする。
【0007】
【作用】本発明固体撮像装置によれば、固体撮像装置を
回折格子型オプチカルローパスフィルタと固体撮像素子
とその間に介在するスペーサのみで構成でき、延いては
小型化が可能になる。
【0008】
【実施例】以下、本発明固体撮像装置を図示実施例に従
って詳細に説明する。図1及び図2は本発明固体撮像装
置の一つの実施例を示すもので、図1は断面図、図2は
上下裏返しにして示す分解斜視図である。1は固体撮像
素子、2、2、…は該固体撮像素子1の表面に形成され
た電極である。
【0009】3は回折格子型オプチカルローパスフィル
タで、ガラスからなる透明基板4の表面に例えば樹脂か
らなる回折格子膜5と、配線膜6、6、…を形成してな
る。7、7、…は配線膜6、6、…の外部端子、8、
8、…は配線膜6、6、…の内端の電極であり、該電極
8、8、…は固体撮像素子1の電極2、2、…と対応せ
しめられている。
【0010】9は固体撮像素子1の表面と回折格子型オ
プチカルローパスフィルタ3の表面との間に介在せしめ
られた口字枠状スペーサで、固体撮像素子1の表面と回
折格子型オプチカルローパスフィルタ3の表面との間隔
を所定の値(例えば50μm±5%)に保つと共に、そ
の二つの表面の平行度を高い値に保つ役割を果す。該ス
ペーサ9は固体撮像素子1の表面と回折格子型オプチカ
ルローパスフィルタ3の表面との間に接着されることな
く介在せしめられている。このようにするのは、若し接
着剤がスペーサ9と固体撮像素子1及び回折格子型オプ
チカルローパスフィルタの表面との間に介在するとその
分固体撮像素子1の表面と回折格子型オプチカルローパ
スフィルタ3の表面との間の間隔の誤差が生じ、平行度
が低くなる可能性があるためである。
【0011】10、10、…は固体撮像素子1の各電極
2、2、…と回折格子型オプチカルローパスフィルタ3
の配線膜の各電極8、8、…との間を接続する例えば金
からなるバンプである。しかして、固体撮像素子1と回
折格子型オプチカルローパスフィルタ3とはバンプ1
0、10、…を介して電極2、2、…及び回折格子型オ
プチカルローパスフィルタ3の電極8、8、…にてフェ
イスボンディングされる。
【0012】11は固体撮像素子1と回折格子型オプチ
カルローパスフィルタ3との間の部分の周辺を閉塞して
固体撮像素子1の要部を封止する例えばエポキシからな
るポッティング樹脂である。この固体撮像装置の外部端
子7、7、…は図1において2点鎖線で示すフレキシブ
ル配線基板12の配線膜13に接続される。即ち、固体
撮像素子1の各電極2は、バンプ10、回折格子型オプ
チカルローパスフィルタ3の配線膜6を介して外部端子
7にてフレキシブル配線基板10の配線膜13に接続さ
れる。
【0013】このような固体撮像装置においては、回折
格子型オプチカルローパスフィルタ3のガラスからなる
透明基板3の裏面(反回折格子側の面)と固体撮像素子
1の表面との位置関係をスペーサ9とによって正確に規
定することができるので、固体撮像装置をビデオカメラ
等のレンズ等の光学系を取付けるときは、透明基板3の
裏面を取付基準面として取付けることによって正確な取
付けができ、固体撮像装置の光学系への取付けにあたっ
て必要な位置合せが容易である。
【0014】そして、本固体撮像装置においては回折格
子型オプチカルローパスフィルタ3の透明基板4自身が
固体撮像素子2を保持するパッケージの役割を果すの
で、パッケージが不要である。従って、固体撮像装置の
小型化を可能にすることができる。
【0015】尚、本実施例においては、固体撮像素子1
の電極2、2、…及び回折格子型オプチカルローパスフ
ィルタ3の電極8、8、…の外側に口字枠状スペーサ9
が位置していた。しかしながら、電極2、2、…及び電
極8、8、…の内側に口字状スペーサ9が位置するよう
な態様でも本発明固体撮像装置を実施することができ
る。
【0016】
【発明の効果】本発明固体撮像装置は、固体撮像素子の
表面と、透明基板表面に回折格子及び配線膜を形成した
回折格子型オプチカルローパスフィルタの表面とをその
間にスペーサを介して該固体撮像素子の各電極と上記各
配線膜の内側電極とが整合するように対向させ、上記固
体撮像素子の電極と上記フィルタの配線膜の内側電極と
をバンプを介して接続してなることを特徴とする。従っ
て、本発明固体撮像装置によれば、固体撮像装置を回折
格子型オプチカルローパスフィルタと固体撮像素子とそ
の間に介在するスペーサのみで構成でき、延いては小型
化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明固体撮像装置の一つの実施例を示す断面
図である。
【図2】上記実施例を裏返しにして示す分解斜視図であ
る。
【符号の説明】
1 固体撮像素子 2 電極 3 回折格子型オプチカルローパスフィルタ 4 透明基板 5 回折格子 6 配線膜 8 電極 9 スペーサ 10 バンプ 11 封止樹脂

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固体撮像素子と、 透明基板の表面に回折格子及び配線膜を形成してなる回
    折格子型オプチカルローパスフィルタと、 からなり、 上記固体撮像素子の表面と回折格子型オプチカルローパ
    スフィルタの表面とをその間にスペーサを介して該固体
    撮像素子の各電極と上記各配線膜の内側電極とが整合す
    るように対向させ、 上記固体撮像素子の電極と上記フィルタの配線膜の内側
    電極とをバンプを介して接続してなることを特徴とする
    固体撮像装置
JP4280757A 1992-09-25 1992-09-25 固体撮像装置 Pending JPH06112460A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998020560A1 (fr) * 1996-11-05 1998-05-14 Kureha Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Materiau plastique pour fermer un boitier d'element de prise de vue a semi-conducteur, et procede de fabrication associe
JP2001308302A (ja) * 2000-04-27 2001-11-02 Mitsubishi Electric Corp 撮像装置および撮像装置搭載製品ならびに撮像装置製造方法
KR100494044B1 (ko) * 2001-02-02 2005-06-13 샤프 가부시키가이샤 촬상장치 및 그의 제조방법
JP2006032561A (ja) * 2004-07-14 2006-02-02 Sony Corp 半導体イメージセンサ・モジュール
JP2007019563A (ja) * 2001-06-15 2007-01-25 Ricoh Co Ltd 半導体装置、画像読取ユニット及び画像形成装置

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