JPS63307762A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

Info

Publication number
JPS63307762A
JPS63307762A JP62144393A JP14439387A JPS63307762A JP S63307762 A JPS63307762 A JP S63307762A JP 62144393 A JP62144393 A JP 62144393A JP 14439387 A JP14439387 A JP 14439387A JP S63307762 A JPS63307762 A JP S63307762A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor device
film
semiconductor element
electrodes
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62144393A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2602834B2 (ja
Inventor
Shin Nakao
中尾 伸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP62144393A priority Critical patent/JP2602834B2/ja
Publication of JPS63307762A publication Critical patent/JPS63307762A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2602834B2 publication Critical patent/JP2602834B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体装置に係り、特に、そのパッケージt
l造に関するものである。
〔従来の技術〕
従来から、半導体装置の一例として、第5図および第6
図に示すようなものが知られている。この半導体装置3
0はピン・グリッド・アレイ(PGA)といわれるパフ
ケージタイプのものであって、セラミックやガラス・エ
ポキシ樹脂などからなるパッケージ本体31の内部に半
導体素子32が搭載され、金属などからなる蓋体33に
よって密封封止された構造となっている。そして、この
パッケージ本体31の裏面には複数の入出力用ピン端子
34.・・・が互いに離間して配設され、これらの内端
部およびこれと対応する半導体素子32の端子電極のそ
れぞれとは、ボンディング・ワイヤ35.・・・を介し
て電気的、かつ機械的に接続されている。また、各ピン
端子34の外端部は、パフケージ本体31を貫通して外
部に突出させられている。
そして、このPGAタイプの半導体装置30は、リード
端子34.・・・の外端部がスルーホール(図示してい
ない)に挿入されて半田付けされることによってプリン
ト配線基板36上に実装される。
また、このような半導体装置の他の例として、第7図お
よび第8図に示すようなフラット・パフケージ(FP 
)といわれるタイプの半導体装置40がある。この半導
体装置40はリードフレーム(図示していない)を使用
して製作されたものであって、半導体素子41が搭載さ
れたグイパッド42と、これの周囲に配設された複数の
入出力用リード端子43.・・・とを備えている。そし
て、半導体素子41の各端子電極と各リード端子43の
内端部とは互いにボンディング・ワイヤ44によって接
続され、エポキシ樹脂などからなるモールド本体45に
よって密封封止されている。なお、このモールド本体4
5の側面45aからは並列配置されたリード端子43゜
・・・それぞれの外端部が突出させられており、これら
の外端部は一旦下向きに屈曲されたうえで横向きに屈曲
形成されている。
そして、このFPタイプの半導体装置40は、そのリー
ド端子43.・・・の外端部がプリント配線基板46上
の配線パターン(図示していない)に半田付けされるこ
とによって基板46の表面に実装される。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、前記PGAタイプの半導体装置30において
は、そのピン端子34.・・・がパッケージ本体31の
裏面上で互いに離間して平面配置されているので、搭載
される半導体素子32の端子電極数の増加に対応してピ
ン端子34.・・・の本数が増加しても、パッケージ本
体31の平面的な外形サイズが極端に大きくなることは
ない、そのため、このタイプの半導体装置30は、他の
タイプのものよりも、その外形サイズを小型化できると
いう利点がある。
しかし、この半導体装置30をプリント配線基板36に
実装する場合には、基板36の表面に実装された半導体
装置30のピン端子34.・・・外端部が、基板36の
スルーホー ルを通過してその裏面側にまで突出してし
まうため、基板36の裏面を利用することができず、実
装密度が低下するという問題点があった。
一方、前記FPタイプの半導体装置40においては、そ
のリード端子43.・・・の外端部をプリント配線基板
46上の配線パターンに半田付けによって基板46表面
に平面付けで実装するので、基板36の表面ばかりでな
く、その裏面にも半導体装W40を実装することができ
る。ところが、このように基板46の表裏両面に実装す
ることができる利点がある反面、この半導体装置40に
おいてはリード端子43゜・・・がモールド本体45の
側面45aから突出しているため、これらのリード端子
43.・・・の本数が増加すればするほど、その平面的
な外形サイズが大型化してしまうという問題点があった
この発明は、このような従来例における問題点を解決す
るためになされたものであって、外形サイズの小型化を
図るとともに、基板の表裏両面に実装することができる
半導体装置の提供を目的としている。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る半導体装置は、半導体素子と、−面側に
複数の外部電極が互いに離間して平面配置されるととも
に、これらの外部電極と前記半導体素子の端子電極とを
互いに接続する配線リードを有するフィルムと、少なく
とも前記半導体素子およびフィルムの一部を覆う封止本
体とからなる構成を特徴とするものである。
〔作用〕
上記構成によれば、半導体装置の外部電極がフィルムの
一面側に平面配置されているので、このフィルムに搭載
される半導体素子の端子電極数増加に伴って外部電極の
数量が増加しても、その平面的な外形サイズが大型化す
ることはない、また、そればかりか、この半導体装置は
、その外部電極をプリント配線基板上の配線パターンに
接続することによって基板表面に平面付けで実装される
ので、基板の表裏両面に実装することができる。
〔実施例〕 以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明の一実施例に係る半導体装置をその裏面
側から見た一部切欠斜視図であり、第2図は第1図の■
−■線に沿う断面図である。これらの図における符号1
0は半導体装置であって、この半導体装置10は、半導
体素子1)と、この半導体素子1)が搭載されるフィル
ム12と、少なくとも半導体素子1)およびフィルム1
2の一部を覆う封止本体13とを備えている。
半導体素子1)には複数の端子電極(図示していない)
が配設され、各端子電極上には金などからなるバンプ1
4が電解メッキ法などによってそれぞれ形成されている
フィルム12は、その外形がほぼ矩形状に形成されたポ
リイミドやガラス・エポキシ樹脂などからなるものであ
って、その中央位置には外形と同一形状の中空部12a
が形成されている。そして、このフィルム12の一面(
図では、裏面)には銅などからなる所定数の配線リード
15.・・・が被着形成されており、互いに離間して平
面配置された配線リード15.・・・それぞれの外端部
15a上には外部電極16が一体的に形成されている。
また、各配線り一ド15の内端部15bは前記中空部1
2aの内縁から内方に突出させられ、各内端部15bと
前記半導体素子1)の各端子電極とはバンプ14を介し
ての熱圧着などによって互いに接続されている。
このことにより、フィルム12上に搭載された半導体素
子1)の各端子電極とフィルム12に形成された外部電
極16.・・・のそれぞれとは、フィルム12の裏面に
形成された配線リード15.・・・を介して電気的に接
続されたことになる。
そして、フィルム121)面に配設された外部電極16
、・・・の周囲には、配線リード15.・・・を覆って
保護する所定厚みのソルダレジスト層17が高分子樹脂
材料などによって形成されている。また、半導体素子1
)とフィルム12の中空部12aの周囲とは、エポキシ
樹脂などからなる封止本体13によって密封封止され、
外部環境の影響による損傷から保護されている。なお、
この封止本体13による密封封止範囲については、第2
図に示す上記範囲に限定されるものではなく、例えば、
他の実施例として示す第3図のように、フィルム12の
表面側を全面的に覆うとともに、その裏面側に形成され
たソルダレジスト層17をも全面的に覆うように形成し
てもよい。
ところで、上記構成の半導体装置10は、っぎのように
して製作される。
まず、半導体装1)個に対応する一単位長さごとに前記
中空部12aが形成された長尺状のフィルムキャリア(
図示していない)を用意し、このフィルムキャリアの一
面、例えば、裏面全面に接着剤を介して銅箔を被着する
。そして、このm箔の不要部分をエツチングで除去する
ことによって所定数ごとの配線リード15.・・・を形
成し、これらの外端部15a、・・・上に外部電極16
.・・・をそれぞれ形成する。つぎに、配線リード15
.・・・の内端部15b3・・・と半導体素子1)の端
子電極とを接続し、これらの周囲をトランスフ1モール
ド法などで形成される封止本体13によって覆い、密封
封止する。そののち、長尺状のフィルムキャリア上で並
列し、連続体として製作された半導体装置を1個ずつフ
ィルムキャリアから打ち抜くことによって、それぞれ単
体の半導体装置10とする。
このように、本発明の半導体装置は一旦連続体として製
作されたうえで分離されるので量産性の向上を図ること
ができるばかりでなく、例えば、第4図に示すように、
フィルム12上に複数(図では、2つ)の半導体素子1
).・・・が搭載された半導体装置10を製作すること
も容易にできる。なお、このような場合における半導体
素子1).・・・間の相互接続配線については、フィル
ム12に形成された配線リード15.・・・によって行
うことができることはいうまでもない。
なお、以上の説明においては、ポリイミドやガラス・エ
ポキシ樹脂などからなるフィルム12に配線リード15
.・・・を形成するものとして説明しているが、このフ
ィルム12はセラミックなどよりも価格が安く、しかも
、微細なパターンを形成することができる。したがって
、従来例よりも配線密度が高い半導体装210をより低
価格で構成することができるという利点がある。
つぎに、この半導体装置10の基板実装につき、第2図
に基づいて説明する。
図における符号20は半導体装置10が実装されるプリ
ント配線基板であって、その表面には図示していない配
線パターンが形成されている。そして、これらの配線パ
ターンの所定個所には予め半田などからなるバンプ21
.・・・がスクリーン印刷法によヮて形成され、それぞ
れ加熱処理によって球状化されている。したがって、半
導体装置10をプリント配線基板20上に載置し、バン
プ21.・・・を介してそれぞれ対応する半導体装置1
0の外部電極16.・・・と配線パターンとを接合する
ことによって実装される。なお、上記のバンプ21.・
・・は半導体装置lOの外部電極16.・・・に形成さ
れていてもよく、また、半導体装置10およびプリント
配線基板20の双方に形成されていてもよいことはいう
までもない。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明の半導体装置は、半導体
素子の端子電極と接続される配線リードを有するフィル
ムを備え、しかも、このフィルムの一面側、すなわち、
裏面側には配線リードを介して前記端子電極とそれぞれ
接続された外部電極が互いに離間して平面配置されてい
る。したがって、この半導体装置においては、半導体素
子の端子電極数増加に伴って外部電極の数量が増加する
ことになっても、従来のFPタイプ半導体装置のように
、平面的な外形サイズが大きくなることがなく、その外
形サイズの小型化を図ることができる。
しかも、この半導体装置の実装にあたっては、その外部
電極が平面配置されているので、これらをプリント配線
基板上の配線パターンに接続することによって基板表面
に平面付けで実装することができる。そのため、従来の
PGAタイプ半導体装置のように、ピン端子が基板の裏
面側にまで突出することがなく、半導体装置を基板の表
裏両面に実装することができるので、基板のスペースを
有効に利用して実装密度を大幅に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図は本発明の実施例に係り、第1図は
本発明の一実施例に係る半導体装置をその裏面側から見
た一部切欠斜視図、第2図は第1図の■−■線に沿う断
面図であり、第3図および第4図はそれぞれ半導体装置
の他の実施例を示す断面図である。 また、第5図ないし第8図は従来例を示し、第5図はP
GAタイプ半導体装置の上面側斜視図、第6図は第5図
のVl−Vl線に沿う断面図であり、第7図はFPタイ
プ半導体装置の上面側斜視図、第8図は第7図の■−■
線に沿う断面図である。 10・・・半導体装置、 1)・・・半導体素子、 12・・・フィルム、 13・・・封止本体、 15・・・配線リード、 16・・・外部電極。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体素子と、 一面側に複数の外部電極が互いに離間して平面配置され
    るとともに、これらの外部電極と前記半導体素子の端子
    電極とを互いに接続する配線リードを有するフィルムと
    、 少なくとも前記半導体素子およびフィルムの一部を覆う
    封止本体と からなることを特徴とする半導体装置。
JP62144393A 1987-06-09 1987-06-09 半導体装置 Expired - Fee Related JP2602834B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62144393A JP2602834B2 (ja) 1987-06-09 1987-06-09 半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62144393A JP2602834B2 (ja) 1987-06-09 1987-06-09 半導体装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63307762A true JPS63307762A (ja) 1988-12-15
JP2602834B2 JP2602834B2 (ja) 1997-04-23

Family

ID=15361106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62144393A Expired - Fee Related JP2602834B2 (ja) 1987-06-09 1987-06-09 半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2602834B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07283336A (ja) * 1994-04-05 1995-10-27 Toppan Printing Co Ltd チップキャリア
EP0704896A3 (en) * 1994-09-22 1998-04-08 Nec Corporation Tape automated bonding type semiconductor device
WO2011036840A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 パナソニック株式会社 半導体装置、半導体実装体、および半導体装置の製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5718348A (en) * 1980-07-09 1982-01-30 Nec Corp Integrated circuit device
JPS6314455A (ja) * 1986-07-07 1988-01-21 Hitachi Maxell Ltd 半導体装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5718348A (en) * 1980-07-09 1982-01-30 Nec Corp Integrated circuit device
JPS6314455A (ja) * 1986-07-07 1988-01-21 Hitachi Maxell Ltd 半導体装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07283336A (ja) * 1994-04-05 1995-10-27 Toppan Printing Co Ltd チップキャリア
EP0704896A3 (en) * 1994-09-22 1998-04-08 Nec Corporation Tape automated bonding type semiconductor device
WO2011036840A1 (ja) * 2009-09-24 2011-03-31 パナソニック株式会社 半導体装置、半導体実装体、および半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2602834B2 (ja) 1997-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5847458A (en) Semiconductor package and device having heads coupled with insulating material
US5953589A (en) Ball grid array semiconductor package with solder balls fused on printed circuit board and method for fabricating the same
US5637828A (en) High density semiconductor package
KR19990083550A (ko) 수지밀봉형반도체장치및그제조방법,리드프레임
KR920000076B1 (ko) 반도체장치
JP2003124434A (ja) チップ間にスペーサが挿入されたマルチチップパッケージ及びその製造方法
US20050156322A1 (en) Thin semiconductor package including stacked dies
JP3138539B2 (ja) 半導体装置及びcob基板
WO2020262533A1 (ja) 電子装置および電子装置の実装構造
JPH0730059A (ja) マルチチップモジュール
JPH10284873A (ja) 半導体集積回路装置およびicカードならびにその製造に用いるリードフレーム
JP2602834B2 (ja) 半導体装置
JPH08148635A (ja) 半導体装置
JPS6352461A (ja) 半導体装置
JPS59107551A (ja) 半導体装置
JPH0517709B2 (ja)
JPH03109760A (ja) 半導体装置
JPH06216492A (ja) 電子装置
JP2737332B2 (ja) 集積回路装置
JP4484444B2 (ja) 回路装置の製造方法
JPH10150065A (ja) チップサイズパッケージ
JP3103741B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
JPH0793402B2 (ja) 半導体装置
KR200169976Y1 (ko) 반도체 패키지
JPH03102862A (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees