JPS63305142A - 真空連続処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプラスチック成形品たとえばＰＥＴフィルム、
天然あるいは合成繊維、また塗装鋼板などの被処理物を
連続的に真空状態で処理、たとえばプラズマ処理、蒸着
等の処理を行なう装置に関するものである。

〔従来の技術〕

この種の真空連続処理装置は、特開昭５７−３０７３３
号に記載のようにロールタイプのシール装置が一般的に
なっており、被処理物を一対のロールで圧着してシール
を行なっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、被処理物を一対のロールにて圧着しな
がらシールしている為、被処理物を結果的に圧着し、処
理後の被処理物の特性に悪影響を与えている。また、回
転するロールとケース間のシールとして、ロール軸方向
にそったリップル部材を使用しているが、被処理物に悪
影響を与えないため、油等の潤滑剤が使用できず、した
がってリップル部用あるいはロールの摩耗粉が発生し。

それが被処理物に着付するという問題があった。

それゆえ、透明導電膜等の高級被処理物には不適当であ
った。

本発明は、上記問題を解決するスリット状シール装置を
有する真空連続処理装置において、被処理物をスリット
状シール部に案内するガイドロールについてのものであ
る。ガイドロールが被処理物の張力により回転し、ガイ
ドロール自身は駆動系を有していないガイドロールを使
用した場合。

被処理物の特性上、ガイドロールを回転させる上で十分
な張力をかけることができない被処理物を搬送すれば、
ガイドロールを一回転させるのに十分な張力がなく被処
理物がガイドロール上ですベリ損傷を受ける。この為、
高級な被処理物には、不適当である。

本発明では、前記の問題を解決する２種類の駆動ガイド
ロールの提供にある。第１はガイドロールが、外部のモ
ータにより駆動される場合である。

第２は、極度に被処理物の損傷を避けねばならない高級
被処理物の搬送を目的とした場合であり、第１のガイド
ロールでは、対拠できないケースである。被処理物の搬
送起動時の各モータの慣性モーメントの差による被処理
物と駆動ガイドロールとの速度差により被処理物がガイ
ドロール上を滑り、それによる被処理物の損傷、あるい
は被処理物の搬送が定常であっても、ガイドロール製造
時の外形寸法公差により生じる被処理物と駆動ガイドロ
ールの若干の速度差によりおきる被処理物の損傷を防ぐ
ことが可能となるテンデンジ−駆動ガイドロールである
。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、真空連続処理装置にスリット状シール装置
を設けると共に被処理物の搬送速度を検出し、それから
の信号により制御手段を経て、被処理をスリット状シー
ル部に案内する駆動ガイドロールの駆動系の動作を制御
することにより達成される。さらに、損傷を極度に避け
ねばならない高級被処理物を搬送する場合、前記と同様
のロールの駆動に加えてガイドロールの駆動軸に回転自
在に支持したテンデンジ−駆動ガイドロールを前記の駆
動ガイドロールの換わりに使用することにより達成され
る。

〔作用〕

駆動ガイドロールの場合、駆動系は、被処理物の搬送の
ための駆動系と連動するように作動する。

これによって、該駆動ガイドロールは被処理物の速さに
同期して回転し、被処理物駆動ガイドロール上を滑るこ
とによる被処理物の損傷は防ぐことが可能となる。

テンデンジ−駆動ガイドロールの場合、駆動系は前記の
駆動ガイドロールと同様に作動するが被処理物搬送起動
時にモータの慣性の違いにより被処理物とガイドロール
に速度の差が生じる。これはガイドロールが駆動軸に自
在に回転することにより補正される。又、被処理物搬送
速度が定常となった後は、製造時に生じる駆動ガイドロ
ールの外形寸法公差に起因する被処理物とロールの速度
差も、ロールが駆動軸に自在に回転することにより補正
される。これらにより被処理物のテンデンジ−駆動ガイ
ドロール上の滑りはなく、被処理物の損傷は防ぐことが
可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面により説明する。

第１図及び第２図において、１はプラスチックフィルム
例えばＰＥＴフィルムのような可撓性の被処理物Ｆを真
空状態で連続的にプラズマ処理する真空処理室、２は真
空処理室１の前方側に複数個配置される予備真空室、３
は真空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空室
で、前記真空処理室内はこれに接続する真空ポンプ４に
より１０″″ａト一ル程度の真空圧力に保持するように
排気導管５を介して真空排気される。

前記予備真空室２，３は、これに接続する真空ポンプ６
により、前記真空処理室１内の真空圧力より若干高く、
かつ大気圧より段階的に減じる真空を保持するように排
気導管７を介して真空排気される。

処理される被処理物Ｆは巻出軸８より送り出され、前方
側の予備真空内の被処理物の張力を制御するガイドロー
ル９を介して前方側の予備真空室２を経て真空処理室１
へ送られ、そこでプラズマ処理される。その後、後方側
の予備真空室３を経て、後方側予備真空室内の張力を制
御するガイドロール１０を経て、巻取軸１１にて巻き取
られる。

１２は被処理物を搬送する為の駆動用ＤＣモータであり
、前記ガイドロール９および１０の張力検出により、被
処理物をしわなく搬送し、かつ搬送速度を適宜調整する
。

第３図、第４図及び第５図は前記予備真空室２及び３を
構成するシール装置の主要部を示すものであり、第４図
は第３図のＡ−Ａ断面図であり。

第５図は第３図のＢ−Ｂ断面図である。１３は上ケース
、１４は下ケース、１５は上ケース１３に案内支持され
るシールブロックであり、被処理物Ｆは下ケース１４と
シールブロック１５で形成されるスリットの間を接触し
ない搬送される。１６はハンドルであり、これを回転さ
せることにより減速機１７．歯車１８．ボールネジ１９
及びナツト２０を介してシールブロックと一体的に形成
されるコラム２１及びシールブロック１５を被処理物の
厚さに応じて上下方向に動かす。２２はＬＭガイドであ
り、シールブロック１５の上下方向の動きを案内する。

２３は０リングであり、上ケース１３とシールブロック
１５の間のシールをする。

０リング２３はシールブロック１５が上下方向に移動（
最大２１Ｈ１）にもかかｈらず上ケース１３とシールブ
ロック１５間のシールを施す為、十分な弾性体のものを
使用している。上ケース１３とシールブロック１５のサ
イドの間隙２４はシールブロック１５が滑らかに上下し
、かつ空気の漏れ量が小さくなるように、可能な範囲で
小さく　（例えば３０ミクロン）している、２５ａは被
処理物を案内する駆動ガイドロールまた、２５ｂはテン
デンジ−駆動ガイドロールであり、下ケース１４のシー
ル面と被処理物が接触しないよう、駆動ガイドロール２
５１１あるいは２５ｂの外周面の高さを下ケース１４よ
り高くしている。駆動ガイドロール２５ａの構造を第６
１ｉ！Ｊに示す、駆動ガイドロール２５ａは、ベアリン
グハウジング２８及び２９により支持されたガイドロー
ル２５ａと、一体になっているシャフトを通じてＤＣモ
ータ２７により駆動される。このＤＣモータ２７は被処
理物Ｆの搬送のためのＤＣモータ１２の回転速度を検出
する検出手段を経て、制御手段によりＤＣモータ１２の
回転速度に応じて制御され、ＤＣモータ１２と連動して
回転する。これにより駆動ガイドロール２５ａは被処理
物Ｆの速さに同期して動作する。またスプロケット３０
、及びチェーン３１の動力伝達経路を介して、隣接する
駆動ガイドロールも同時に同じ速さで回転する。

第７図にテンデンジ−駆動ガイドロール２５ｂの構造を
示す、テンデンジ−駆動ガイドロール２５ｂは、シャフ
ト３２．ベアリング３３．及びロール３４より構成され
る。ロール３４はベアリング３３を介することによりシ
ャフト３２に対し自在に回転する。被処理物Ｆの搬送起
動時にはロール３４は被処理物Ｆにより回転し、被処理
物の速さが定常になった後、第６図と同様、ＤＣモータ
２７が被処理物Ｆの搬送のためのＤＣモータ１２と連動
して回転し、ベアリングハウジング２８及び２９により
支持されたシャフト３２が被処理物の速さと同じ周速で
動作する。さらにロール３４は被処理物Ｆの速さで回転
することがら。

テンデンジ−駆動ガイドロール２５ｂは、被処理物Ｆと
同期して動作する。又、第６図の場合と同様にスプロケ
ット３０及びチェーン３１の動力伝達経路を介して隣接
するテンデンジ−駆動ガイドロールも同じように回転す
る。

この駆動ガイドロール２５ａ、及びテンデンジ−駆動ガ
イドロール２５ｂの位置は１通常の使用では被処理物Ｆ
と下ケース１４の間隔が０　、１　ａｍになるように決
定しており、また被処理物Ｆとシールブロック１５の間
隔も０．１−腸となるようにシールブロック１５の位置
を決定している。張力付与用ロール２６は、被処理物の
ガイドローラ２５ａあるいは２５ｂに対する巻き付は角
度を大きくし、シール部分で被処理物が振動し、壁面に
接触するのを防止している。予備真空室２あるいは３は
互いに相対するシール装置で構成されており、排気導管
７を介して真空ポンプ６で排気される。

〔発明の効果〕

本発明によれば、駆動ガイドロールが被処理物の速さに
同期して動作することにより、駆動ガイドロールと接触
し、被処理物の接触面にかかる。

被処理物搬送方向の剪断応力が小さくなるから、駆動ガ
イドロールによる被処理物の損傷は防ぐことができる。

又、テンデンジ−駆動ガイドロールにより、処理物搬送
起動時の、被処理物と駆動ガイドロール外周面での速度
差を補正でき、さらに、被処理物搬送速度が定常となっ
た後、駆動ガイドロール製造時′に生じる公差に起因す
る駆動ガイドロールと被処理物の速度差を補正できる。

これにより、ガイドロール上の被処理物のすべりはなく
、被処理物の損傷は防がれる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係る連続処理装置の実施例の説明図で第
１図は連続処理装置の縦断面図、第２図は第１図の平面
図、第３図はシール装置の継断面図、第４図は第３図の
Ａ−Ａ断面図、第５図は第３図のＢ−Ｂ断面図、第６図
及び第７図は駆動ガイドロール詳細図である。 Ｆ・・・被処理物、１３・・・上ケース、１４・・・下
ケース、１５・・・シールブロック、２５ａ・・・駆動
ガイドロール、２５ｂ・・・テンデンジ−駆動ガイドロ
ール。 ２６・・・張力付与用ロール。 、′

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空処理室の前後方側にそれぞれ少なくとも１個の
   予備真空室を配置してなる真空連続処理装置において、
   前記予備真空室は被処理物を搬送すると共に真空処理室
   を処理室外からシールするスリット状のシール装置を有
   し、当該シール装置の前後もしくは一方に被処理物を案
   内するガイドロールを設け、当該ガイドロールの周速を
   被処理物の速度に同期するようにしたことを特徴とする
   真空連続処理装置。 ２、前記ガイドロールを駆動するようにしたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の真空連続処理装置。 ３、前記ガイドロールを駆動軸に回転自在に支持したこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空連続処
   理装置。