JPS63304529A - 酸化物超伝導体薄膜の形成方法 - Google Patents
酸化物超伝導体薄膜の形成方法Info
- Publication number
- JPS63304529A JPS63304529A JP62141086A JP14108687A JPS63304529A JP S63304529 A JPS63304529 A JP S63304529A JP 62141086 A JP62141086 A JP 62141086A JP 14108687 A JP14108687 A JP 14108687A JP S63304529 A JPS63304529 A JP S63304529A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide superconductor
- thin film
- film
- superconductor thin
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 235000011837 pasties Nutrition 0.000 abstract 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属の板あるいは線などの表面に酸化物超伝導
体薄膜を形成する方法に関する。
体薄膜を形成する方法に関する。
超伝導体は、空胴共振器に利用されて少ないパワーで多
くのエネルギーを蓄積することを可能にし、また、低損
失の送電ケーブルあるいはプリント配線板の導体として
利用することも検討されている。
くのエネルギーを蓄積することを可能にし、また、低損
失の送電ケーブルあるいはプリント配線板の導体として
利用することも検討されている。
一方、アルカリ土金属、希土類元素、銅及び酸素からな
る酸化物系超伝導体は、Tcが30〜100にという優
れた特性をもつが、粉状の出発原料を成形し、これを焼
結して作るため非常に脆く、焼結後の塑性加工は不可能
であり、そのまま構造物として利用することはできない
。また、酸化物超伝導体は熱伝導率も小さいため、冷却
に特別に工夫が必要となる。このため、酸化物超伝導体
を金属基体に薄膜状にコーティングして前記のような目
的に利用することが提案されている。しかしながら、B
a−Y−Cu−0系に代表される酸化物超伝導体は焼結
の時に高温酸素雰囲気に長時間さらされる必要がある。
る酸化物系超伝導体は、Tcが30〜100にという優
れた特性をもつが、粉状の出発原料を成形し、これを焼
結して作るため非常に脆く、焼結後の塑性加工は不可能
であり、そのまま構造物として利用することはできない
。また、酸化物超伝導体は熱伝導率も小さいため、冷却
に特別に工夫が必要となる。このため、酸化物超伝導体
を金属基体に薄膜状にコーティングして前記のような目
的に利用することが提案されている。しかしながら、B
a−Y−Cu−0系に代表される酸化物超伝導体は焼結
の時に高温酸素雰囲気に長時間さらされる必要がある。
このため、基体となる金属の表面は超伝導体薄膜を通過
してきた酸素より酸化されて劣化し、良好な酸化物超伝
導体薄膜が形成されにくいという問題が生じる。
してきた酸素より酸化されて劣化し、良好な酸化物超伝
導体薄膜が形成されにくいという問題が生じる。
〔問題点を解決するための手段および作用〕即ち本発明
は、金属の表面に耐酸化処理を施したのち、この上に酸
化物超伝導体薄膜を形成することを特徴とする酸化物超
伝導体薄膜の形成方法である。
は、金属の表面に耐酸化処理を施したのち、この上に酸
化物超伝導体薄膜を形成することを特徴とする酸化物超
伝導体薄膜の形成方法である。
酸化物超伝導体薄膜はペースト状の原料を金属表面に塗
布し、これを酸素のある雰囲気中で焼結する方法により
形成される。この際、1回の塗布で厚膜にした場合には
焼結時に膜の割れが生じ易いので、ペーストの塗布膜を
薄くシて、塗布、焼結の工程を数回繰り返して膜厚を厚
くすると、超伝導体膜全体に充分な酸素が供給されて良
好な超伝導特性の膜が得られる。金属の表面にはあらか
じめ不動体化などの耐酸化処理をしであるため、酸素雰
囲気中の焼結により金属表面が劣化する恐れはない。
布し、これを酸素のある雰囲気中で焼結する方法により
形成される。この際、1回の塗布で厚膜にした場合には
焼結時に膜の割れが生じ易いので、ペーストの塗布膜を
薄くシて、塗布、焼結の工程を数回繰り返して膜厚を厚
くすると、超伝導体膜全体に充分な酸素が供給されて良
好な超伝導特性の膜が得られる。金属の表面にはあらか
じめ不動体化などの耐酸化処理をしであるため、酸素雰
囲気中の焼結により金属表面が劣化する恐れはない。
以下に本発明の実施例について説明する。
第1図は本発明の方法により形成された空洞共振器を示
し、銅板(1)からなる共振器の内面に耐酸化処理とし
てNi層(2)を3μメツキにより形成する。
し、銅板(1)からなる共振器の内面に耐酸化処理とし
てNi層(2)を3μメツキにより形成する。
一方、Y−Ba−Cu−0系セラミツクス超伝導粉末を
エチルセルローズ10wt%、ブチルカルピトール90
−t%からなる有機質ビヒワル中に分散させた導電性ペ
ーストを作製した。この導電性ペーストを前記共振器内
面のNiメッキ層上に塗布し、これを酸素気流中で60
0’CXIhr、有機ビヒワルの飛散処理をした後95
0°CX6hr、酸素雰囲気中で焼結し、厚さ50μの
酸化物超伝導体層(3)を形成した。以上のようにして
形成された空胴共振器の形状は、内径が約81胴、空胴
部長さが約35mであり、その性能はTc95に、Q値
8X107である。
エチルセルローズ10wt%、ブチルカルピトール90
−t%からなる有機質ビヒワル中に分散させた導電性ペ
ーストを作製した。この導電性ペーストを前記共振器内
面のNiメッキ層上に塗布し、これを酸素気流中で60
0’CXIhr、有機ビヒワルの飛散処理をした後95
0°CX6hr、酸素雰囲気中で焼結し、厚さ50μの
酸化物超伝導体層(3)を形成した。以上のようにして
形成された空胴共振器の形状は、内径が約81胴、空胴
部長さが約35mであり、その性能はTc95に、Q値
8X107である。
第2図は本発明の他の実施例を示すものである。
直径1■の鉄線(4)の表面に不動態層(5)を形成し
、その上に実施例1で用いた同一のペーストを塗布し、
実施例1と同一条件で焼結を行った。この塗布・焼結の
工程を7回繰り返し酸化物超伝導体層(6)の厚さを0
.5 mmとした。以上のようにして製作した超伝導体
のTcは93K、77Kにおいて外部磁場のない場合の
Icは60Aであった。
、その上に実施例1で用いた同一のペーストを塗布し、
実施例1と同一条件で焼結を行った。この塗布・焼結の
工程を7回繰り返し酸化物超伝導体層(6)の厚さを0
.5 mmとした。以上のようにして製作した超伝導体
のTcは93K、77Kにおいて外部磁場のない場合の
Icは60Aであった。
本発明の方法によれば前記実施例の形状に限定されるこ
となく、曲面状の金属表面に酸化物超伝導体薄膜を形成
することができる。
となく、曲面状の金属表面に酸化物超伝導体薄膜を形成
することができる。
〔発明の効果]
以上説明したように本発明の酸化物超伝導体薄膜の形成
方法は、金属の表面に耐酸化処理を施したのち、この上
に酸化物超伝導体薄膜を形成するため、超伝導体の焼結
時に金属の表面が酸化して基材としての機能を失うこと
を防止することができるという工業上価れた効果がある
。
方法は、金属の表面に耐酸化処理を施したのち、この上
に酸化物超伝導体薄膜を形成するため、超伝導体の焼結
時に金属の表面が酸化して基材としての機能を失うこと
を防止することができるという工業上価れた効果がある
。
第1図は本発明にかかる方法により形成された超伝導空
胴共振器の断面図、第2図は本発明にかかる方法により
形成された超伝導線の断面図である。 1・・・銅板、 2・・・Ni層、 3.6・・・酸化
物超伝導体層、 4・・・鉄線、 5・・・不動態層。 オ 11] ヤλ負
胴共振器の断面図、第2図は本発明にかかる方法により
形成された超伝導線の断面図である。 1・・・銅板、 2・・・Ni層、 3.6・・・酸化
物超伝導体層、 4・・・鉄線、 5・・・不動態層。 オ 11] ヤλ負
Claims (3)
- (1)金属の表面に酸化物超伝導体薄膜を形成する方法
において、金属の表面に耐酸化処理を施したのち、この
上に酸化物超伝導体薄膜を形成することを特徴とする酸
化物超伝導体薄膜の形成方法。 - (2)前記耐酸化処理が不働態化処理であることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の酸化物超伝導体薄膜
の形成方法。 - (3)前記酸化物超伝導体薄膜が、金属表面上にペース
ト状態材料の塗布・焼結の工程を少なくとも1回以上行
うことにより形成することを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の酸化物超伝導体薄膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62141086A JPS63304529A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 酸化物超伝導体薄膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62141086A JPS63304529A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 酸化物超伝導体薄膜の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63304529A true JPS63304529A (ja) | 1988-12-12 |
Family
ID=15283880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62141086A Pending JPS63304529A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 酸化物超伝導体薄膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63304529A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63307620A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-15 | Fujikura Ltd | 超電導導体の製造方法 |
JPS6459712A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-07 | Sumitomo Electric Industries | Superconductor material |
JPS6472409A (en) * | 1987-09-12 | 1989-03-17 | Univ Tokai | Superconducting material |
JPH01151111A (ja) * | 1987-12-08 | 1989-06-13 | Fujikura Ltd | 酸化物系超電導膜の製造方法 |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP62141086A patent/JPS63304529A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63307620A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-15 | Fujikura Ltd | 超電導導体の製造方法 |
JPS6459712A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-07 | Sumitomo Electric Industries | Superconductor material |
JPS6472409A (en) * | 1987-09-12 | 1989-03-17 | Univ Tokai | Superconducting material |
JPH01151111A (ja) * | 1987-12-08 | 1989-06-13 | Fujikura Ltd | 酸化物系超電導膜の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR940009871B1 (ko) | 초전도성 산화물과 초전도성 산화물-금속 합성물 및 그 제법 | |
US4992415A (en) | Method for fabricating ceramic superconductors | |
JPS63304529A (ja) | 酸化物超伝導体薄膜の形成方法 | |
JP2904998B2 (ja) | 金属製導体と接続された、セラミック製高温超電導材料より成る固体物体並びにその製造方法 | |
JP3143932B2 (ja) | 超電導線の製造方法 | |
JP3623868B2 (ja) | 高耐久性酸化物超電導体及びその製造方法 | |
JP2583901B2 (ja) | 超電導電気回路 | |
US6387525B1 (en) | Self insulating substrate tape | |
JPS63301420A (ja) | 酸化物超伝導線 | |
JP3149170B2 (ja) | ビスマス系酸化物超電導体の製造方法 | |
JP2905493B2 (ja) | 酸化物高温超伝導体の製造方法 | |
JP2595274B2 (ja) | 酸化物系超電導体層の形成方法 | |
JPS63248021A (ja) | 酸化物系超電導体の製造方法 | |
KR930008460B1 (ko) | 고온 초전도 테이프의 제조방법 | |
JP3612856B2 (ja) | 酸化物超電導材の製造方法 | |
JP2555089B2 (ja) | 超電導導体の製造方法 | |
JPS63276820A (ja) | 酸化物超伝導体の製造方法 | |
JPH01292871A (ja) | 電極層付酸化物超電導成形体の製造方法 | |
JPS63225410A (ja) | 化合物超電導線及びその製造方法 | |
JPH04292808A (ja) | 多芯超電導線とその加工方法 | |
JPH0518778B2 (ja) | ||
JPH01184858A (ja) | 超電導リードフレームおよびその製造方法 | |
JPS63308814A (ja) | 酸化物超伝導体の形成方法 | |
JPH01102811A (ja) | 超電導電線 | |
JPH01149308A (ja) | 超電導電気回路 |