JPS6330015A - 弾性表面波遅延装置 - Google Patents
弾性表面波遅延装置Info
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- JPS6330015A JPS6330015A JP17150486A JP17150486A JPS6330015A JP S6330015 A JPS6330015 A JP S6330015A JP 17150486 A JP17150486 A JP 17150486A JP 17150486 A JP17150486 A JP 17150486A JP S6330015 A JPS6330015 A JP S6330015A
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- JP
- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- delay device
- substrate
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- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、１基板面上の弾性表面波伝搬路な折り返して
延ばし、更にこのような基・板を複数枚積み重ねた、小
面・積で長い遅延時間が得られる弾性表面波遅延装置に
関する。
延ばし、更にこのような基・板を複数枚積み重ねた、小
面・積で長い遅延時間が得られる弾性表面波遅延装置に
関する。
従来既に、弾性表面波を隣接する伝搬路へ折り返させる
ことの出来ろマルチストリップカプラを用いてチップ面
積を小さくした弾性表面波遅延装置について、エレクト
ロニクス・レターズ、１９７２年、第８章、第８〜９頁
にマーシャルによって論じられている（ Ｆ、 Ｇ、
Ｍａｒｓｈａｌｌ 、 ” Ｒｅｆｌｅｃｔｉｎｇ Ｔ
ｒａｃｋ−ｃｈａｎｇｅｒ ： Ｎｅｗ Ａｃｏｕｓｔ
ｉｃ −５ｕｒｆａｃｅ −Ｗａｖｅ Ｃｏｍｐｏｎｅ
ｎｔｆｏｒ Ｆｏｌｄｉｎｇ Ｌｏｎｇ Ｄｅｌａｙ
Ｌｉｎｅｓ ｏｎｔｏ Ｓｍａｌｌ ５ｕｂｓｔｒａ−
ｔｅｓ″、 Ｅｌｅｃｔｒｏｎ、 Ｌｅｔｔ、 、 １
９７２ 、８ 、 ｐｐ、 ８−９ ）。この手法は、
弾性表面波を隣接する伝搬路へ折り返すことによって伝
搬路長を延伸させ、遅延時間を長く出来る利点を有して
いた。
ことの出来ろマルチストリップカプラを用いてチップ面
積を小さくした弾性表面波遅延装置について、エレクト
ロニクス・レターズ、１９７２年、第８章、第８〜９頁
にマーシャルによって論じられている（ Ｆ、 Ｇ、
Ｍａｒｓｈａｌｌ 、 ” Ｒｅｆｌｅｃｔｉｎｇ Ｔ
ｒａｃｋ−ｃｈａｎｇｅｒ ： Ｎｅｗ Ａｃｏｕｓｔ
ｉｃ −５ｕｒｆａｃｅ −Ｗａｖｅ Ｃｏｍｐｏｎｅ
ｎｔｆｏｒ Ｆｏｌｄｉｎｇ Ｌｏｎｇ Ｄｅｌａｙ
Ｌｉｎｅｓ ｏｎｔｏ Ｓｍａｌｌ ５ｕｂｓｔｒａ−
ｔｅｓ″、 Ｅｌｅｃｔｒｏｎ、 Ｌｅｔｔ、 、 １
９７２ 、８ 、 ｐｐ、 ８−９ ）。この手法は、
弾性表面波を隣接する伝搬路へ折り返すことによって伝
搬路長を延伸させ、遅延時間を長く出来る利点を有して
いた。
しかし、上記従来の技術は、如何に弾性表面波を折り返
し伝搬させても、−表面における伝搬距離にはチップサ
イズによる限界があり、−層長い遅延時間を得ることは
出来なかった。
し伝搬させても、−表面における伝搬距離にはチップサ
イズによる限界があり、−層長い遅延時間を得ることは
出来なかった。
本発明は、上記従来の技術では、遅延時間にチップサイ
ズによる限界があるという問題点を解決し、−層遅延時
間を延伸した弾性表面波遅延装置を提供することを目的
とする。
ズによる限界があるという問題点を解決し、−層遅延時
間を延伸した弾性表面波遅延装置を提供することを目的
とする。
上記問題点を解決するために本発明においては、弾性表
面波基板として、複数の基板を面に直角な方向に積み重
ねたものを用い、更に、積層した各隣接基板面上の弾性
表面波伝搬路の間を、階段状に曲げて又は傾斜させて隣
接基板面にまたがって形成したマルチストリップカプラ
で結合することとした。
面波基板として、複数の基板を面に直角な方向に積み重
ねたものを用い、更に、積層した各隣接基板面上の弾性
表面波伝搬路の間を、階段状に曲げて又は傾斜させて隣
接基板面にまたがって形成したマルチストリップカプラ
で結合することとした。
圧電体を含む弾性表面波基板上に、表面波を隣接する伝
搬路へ折り返し伝搬させるマルチストリップカプラな基
板の対向する２辺に沿って形成し、このような基板を複
数枚垂直方向に積み重ね、また、入力電極と出力電極と
は夫々異なる基板上に形成し、更に、積層した隣接基板
面上の弾性表面波伝搬路の間を、階段状に曲げて又は傾
斜させて隣接基板面にまたがって形成したマルチストリ
ップ、カブラで結合すれば、一つの基板の周辺に沿って
往復伝搬した弾性表面波は、隣接積層した基板面上の弾
性表面波伝搬路へ伝搬され、入力電極と出力電極の間の
伝搬路は積層した数だけ延伸され、チップサイズを大き
くしないで遅延時間を長くすることができる。なお、積
層した弾性表面波基板の厚さを弾性表面波の波長λ以上
にすれば、弾性表面波は、基板（圧電体）内部では距離
と共に急激に減衰するから、積層した基板面上の伝搬路
間を基板媒質内を貫通して短絡的に弾性表面波が伝搬す
る現象は起こらず、弾性表面波は基板面上の伝搬路のみ
により伝搬されることになる。
搬路へ折り返し伝搬させるマルチストリップカプラな基
板の対向する２辺に沿って形成し、このような基板を複
数枚垂直方向に積み重ね、また、入力電極と出力電極と
は夫々異なる基板上に形成し、更に、積層した隣接基板
面上の弾性表面波伝搬路の間を、階段状に曲げて又は傾
斜させて隣接基板面にまたがって形成したマルチストリ
ップ、カブラで結合すれば、一つの基板の周辺に沿って
往復伝搬した弾性表面波は、隣接積層した基板面上の弾
性表面波伝搬路へ伝搬され、入力電極と出力電極の間の
伝搬路は積層した数だけ延伸され、チップサイズを大き
くしないで遅延時間を長くすることができる。なお、積
層した弾性表面波基板の厚さを弾性表面波の波長λ以上
にすれば、弾性表面波は、基板（圧電体）内部では距離
と共に急激に減衰するから、積層した基板面上の伝搬路
間を基板媒質内を貫通して短絡的に弾性表面波が伝搬す
る現象は起こらず、弾性表面波は基板面上の伝搬路のみ
により伝搬されることになる。
第１図はカラーテレビジ目ン受信機の映像増幅段の遅延
装置に本発明な利用した実施例を模式的に示す。中心周
波数は５６．５ ＭＨｚで弾性表面波基板として５ｉＱ
２膜７，８、とＺｎＯ膜５，６を夫々積層した基板を用
い、４段構造とした。図中では簡略のため２段までを示
す。各々の膜厚は、各基板面上を伝搬する弾性表面波が
相互に影響を受けず、かつ電気機械結合係数がほぼ等し
いようにするために、第５図中の曲線ＡとＢが交わる点
の膜厚とした。第５図は電気機械結合係数と規格化膜厚
の関係を示したもので、曲線Ａは５ｉ０２膜の上に電極
指を形成したのちＺｎ０１Ｘを形成した場合を、曲線Ｂ
はＺｎＯ膜の上に電極指を形成した場合を示す。こ ４
れよりＺｎＯ膜９μ７ｎ、５ｉＱ２膜３６μｍとした。
装置に本発明な利用した実施例を模式的に示す。中心周
波数は５６．５ ＭＨｚで弾性表面波基板として５ｉＱ
２膜７，８、とＺｎＯ膜５，６を夫々積層した基板を用
い、４段構造とした。図中では簡略のため２段までを示
す。各々の膜厚は、各基板面上を伝搬する弾性表面波が
相互に影響を受けず、かつ電気機械結合係数がほぼ等し
いようにするために、第５図中の曲線ＡとＢが交わる点
の膜厚とした。第５図は電気機械結合係数と規格化膜厚
の関係を示したもので、曲線Ａは５ｉ０２膜の上に電極
指を形成したのちＺｎ０１Ｘを形成した場合を、曲線Ｂ
はＺｎＯ膜の上に電極指を形成した場合を示す。こ ４
れよりＺｎＯ膜９μ７ｎ、５ｉＱ２膜３６μｍとした。
第１段目に入力電極１及び次段以降に表面波が伝搬する
ようにマルチストリップカプラ２，３．４を形成した。
ようにマルチストリップカプラ２，３．４を形成した。
第２図は同実施例の第１段および第４段の側面図を示し
、図中ａ、ｂの面の上面図を夫々第３図、第４図に示す
。９は基板の対向する縁に沿って往復伝搬して来た表面
波を出力電極へ向けて折り返させる最後のマルチストリ
ップカプラを示し、１０は出力電極を示す。入出力電極
の開口は２０００μｍ。
、図中ａ、ｂの面の上面図を夫々第３図、第４図に示す
。９は基板の対向する縁に沿って往復伝搬して来た表面
波を出力電極へ向けて折り返させる最後のマルチストリ
ップカプラを示し、１０は出力電極を示す。入出力電極
の開口は２０００μｍ。
チップサイズは０．５ Ｘ ２０ ｒｒｒｒｌとなった
。
。
本実施例では、弾性表面波伝搬路を４段構造とすること
によりチップサイズを大きくしないで伝搬路を長くする
ことができ、遅延時間６０μｓという良好な結果を得た
。
によりチップサイズを大きくしないで伝搬路を長くする
ことができ、遅延時間６０μｓという良好な結果を得た
。
〔発明の効果〕
以上説明したように不発明によれば、弾性表面波を用い
た遅延線装置において、チップ面積が小さくなり、しか
も長い遅延時間を実現できろ効果が得られる。
た遅延線装置において、チップ面積が小さくなり、しか
も長い遅延時間を実現できろ効果が得られる。
第１図は本発明実施例の模式的斜視図、第２図は同実施
例の側面模式図、第３図と第４図は夫々第２図中に示す
ａ、ｂ面における上面模式図である。第夕凹噂苛姓口ど
濁ζ １・・・入力電極、 ２．３，４．９・・・マルチストリップカプラ、５ 、
６− ＺｎＯ膜、 ７ 、８−５ｉ０２膜、１０・
・・出力電極。
例の側面模式図、第３図と第４図は夫々第２図中に示す
ａ、ｂ面における上面模式図である。第夕凹噂苛姓口ど
濁ζ １・・・入力電極、 ２．３，４．９・・・マルチストリップカプラ、５ 、
６− ＺｎＯ膜、 ７ 、８−５ｉ０２膜、１０・
・・出力電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧電体を含む弾性表面波基板面上に、入力電極、出
力電極、及び弾性表面波を折り返し又は位置を変えて伝
搬することが出来るマルチストリップカプラを形成した
弾性表面波遅延装置において、基板として、複数の基板
を面に直角な方向に積み重ねたものを用い、更に、積み
重ねた隣接基板面上の弾性表面波伝搬路の間を、階段状
に曲げて又は傾斜させて隣接基板面にまたがつて形成し
たマルチストリップカプラで結合したことを特徴とする
弾性表面波遅延装置。 ２、入力電極と出力電極は夫々異なる基板面上に形成さ
れ、弾性表面波基板の厚さは少なくとも弾性表面波の１
波長以上である特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波
遅延装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17150486A JPS6330015A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | 弾性表面波遅延装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17150486A JPS6330015A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | 弾性表面波遅延装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6330015A true JPS6330015A (ja) | 1988-02-08 |
Family
ID=15924332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17150486A Pending JPS6330015A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | 弾性表面波遅延装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6330015A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10340319B2 (en) | 2008-10-16 | 2019-07-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic light-emitting device having a color filter |
-
1986
- 1986-07-23 JP JP17150486A patent/JPS6330015A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10340319B2 (en) | 2008-10-16 | 2019-07-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic light-emitting device having a color filter |
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