JPS63300009A - 基板搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造装置または半導体処理装置に使用
される、基板搬送機構の構造に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、半導体製造装置または半導体処理装置等で使用さ
れる。１１送の方式としては、基板１枚づつを処理部へ
ベルトコンベアーにて移動させる方式と、同様にロボッ
トハンドによる方式と基板を基板支持体上に配設し、こ
の基板支持体をレールにそって移動させる方式等が巾広
く用いられている。

本発明は、この基板を基板支持体上に配設し、基板支持
体をレールにそって移動させる方式の基板搬送機構に関
するものであります。

この方式による直進運動機構としては、回転駆動部とラ
ックピニオンとの組み合わせによるものが最も構造が簡
単で性能も良好であり、特に半導体処理装置等真空又は
減圧状態下の処理室で基板を搬送する方法として有益な
物であった。

しかし、この従来のラックピニオン方式の基板搬送機構
は、その搬送の際ラックとピニオンがたえずかみ合って
いる状態では特に問題は発生しなかったが、２つ以上の
ピニオンと１つのラックを組み合わせて搬送する場合に
、ラックの山がビニオンの山に乗り上げ、その後にずれ
て山と谷がかみ合うという現象が見られる。その際に基
板支持体に衝撃を与えるという問題が発生した。

以下第２図によりこの状態を説明する。

同図（八）に示すように、基板支持体（１）とラック（
２）は固定されており、ラック（２）は駆動回転軸に固
定された第１のピニオン（３）と嵌合し、移動する構造
となっている。

この時、このピニオン（３）は基板支持体（１）を支え
る支持体受けの役目も兼ねており、基板（４）と基板支
持体（１）からの荷重を受けている。

今基板支持体（１）を図面の左方へ移動させるとすると
、同図（Ｂ）のように基板支持体（１）に固定されたラ
ンク（２）は今まで嵌合していなかった第２のピニオン
（５）は嵌合することになる。その際ラック（２）の山
と第２のピニオン（５）の山どうしが合い、通常基板支
持体（１）が保持される高さより高くなるこの状態で続
けて移動させると、第２図（Ｃ）に示すように、う・ツ
ク（２）とピニオン（５）の山がずれ、山と谷とが正常
に嵌合することになる。その時、基板支持体（１）には
相当な機械的衝撃が加わることになる。

そのため、基板支持体（１）上の基板（４）がその搬送
の際に相当な機械的衝撃を受け、基板（４）の配置して
いる位置がずれたり、基板（４）が割れる等の問題が起
っていた。

〔発明の構成〕

本発明は、前述したような問題を解決するため、従来は
基板支持体に固定されているかまたは基板支持体に作り
込まれていたラックを多少の自由度をもって基板支持体
に連結し、さらに基板及び基板支持体よりの荷重を支え
る支持体受けを設ける構造を有する基板搬送機構であり
ます。

〔作用゛〕

本発明の構成により、前述のようにランク（２）が第２
のピニオン（５）と嵌合する際に山と山どうしがかみ合
ってもランク（２）は基板支持体（１）に対し、多少の
自由度を持つように、連結されているので、ラック（２
）のみが上方に上げられる。

次に、ラック（２）とピニオン（５）がずれて山と谷が
しっかり嵌合してもランク（２）がずれるだけである。

この時、基板支持体はピニオンとは別の支持体受けに支
えられており、ラック（２）とピニオン（５）とがしっ
かり嵌合する際に発生する機械的衝撃は、基板及び基板
支持体には加わらないものである。

以下実施例により本発明を説明する。

〔実施例〕

第１図に本発明の搬送機構の概略を示す。

同図（Ｂ）は（八）の横方向からみた図面である。

（１）は基板支持体、（４）は基板、（３）　、　（５
）はピニオンであり、これらは第２図に示した従来装置
と同様である。

この基板支持体（１）には、第１図（Ａ）における上下
方向及び第１図（Ｂ）における左右方向に多少の自由度
を有するようにランク（２）が連結部（１０）。

（１１）にて連結される。

またピニオン（３）　、　（５）は、回転駆動軸（１２
）　、　（１３）に固定されている。

さらに基板支持体（１）は、該基板支持体を所定の場所
に配置するように、支持体受けにより支えられている。

本実施例の場合は、支持体受けとしてローラー（１４）
を設け、基板（４）及び基板支持体（１）の荷重は常に
ローラー（１４）にて支えられている。

このような構造により、ラック（２）とピニオン（３）
　、　（５）は基板支持体（１）を横方向へ移動させる
際の駆動力を与える機能のみ有することになった。

次いで、この機構の動作を説明する。

今基板を左方向へ搬送する場合を考える。

基板支持体（１）は支持体受はローラー（１４）により
一定の高さに支えられている。回転駆動軸（１２）が回
転し、それに固定されている第１のピニオン（３）はラ
ック（２）と嵌合しているので、回転運動が横方向運動
に変換され、基板支持体（１）は左方向へ移動する。

次に、未だラック（２）と嵌合していない第２のピニオ
ン（５）とラック（２）とが嵌合しはじめる。

この時回転駆動軸（１２）、　（１３）の位相は合わせ
ていないので、ラック（２）の山とピニオン（５）の山
とが合ってラック（２）はビニオン（５）に乗り上げる
形となる。

しかし、ランク（２）は基板支持体（１）に対して多少
の自由度（本実施例の場合約５ｎ程度）を持って連結さ
れているので、ランク（２）が少々持ち上げられても基
板支持体（１）は、通常の位置にあり支持棒受はローラ
ー（１４）にて支えられている。

この状態でさらに左に移動しラック（２）とビニオン（
５）が正常に嵌合してもラック（２）のみが動き、基板
支持体（１）には機械的衝撃が加わらない。

このようにして、基板搬送時の機械的衝撃をな（し、基
板（４）の位置のずれ、割れ等の問題を解決できたもの
である。

本発明は、実施例に記載された内容に限定されるもので
はなく、巾広い応用を行なうことができる。特に半導体
処理装置の反応室等、複雑な機構を採用し得ない場所に
適応するものである。

〔効果〕

以上述べたように本発明によれば、基板搬送の際に基板
に衝撃を与えず、基板の位置のずれ、割れ等を防止する
ことができたものである。

また半導体処理装置の反応室に本発明機構を採用した場
合、機械的衝撃により発生する埃を防止できるので良好
な半導体処理を行なえる。

また本発明は、その構造が大変簡単であるので、安価に
優れた基板搬送機構を提供できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の機構の概略を示す。 第２図は従来の機構を示す。 １・・、・・・・・・基板支持体 ２・・・・・・・・ラック ３．５　　・・・・・・・ビニオン ４・・・・・・・・基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 駆動回転部により回転する回転軸に固定せられたピニオ
   ンと、基板支持体に連結せられたラックにより基板支持
   体を直線移動せしめる基板搬送機構において、前記ラッ
   クは基板支持体の側面に自由度を持って連結されており
   、前記基板支持体を移動させる際その移動する方向に駆
   動力を与える機能を有し、前記基板支持体は前記ピニオ
   ンとは別の支持体受けにより、所定の高さに配置されて
   いることを特徴とする基板搬送機構。