JPS63299605A - 誘電体共振器の製造方法 - Google Patents

誘電体共振器の製造方法

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JPS63299605A
JPS63299605A JP13550287A JP13550287A JPS63299605A JP S63299605 A JPS63299605 A JP S63299605A JP 13550287 A JP13550287 A JP 13550287A JP 13550287 A JP13550287 A JP 13550287A JP S63299605 A JPS63299605 A JP S63299605A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holes
dielectric block
block
dielectric
coupling
Prior art date
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Pending
Application number
JP13550287A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Nishikawa
敏夫 西川
Hiroaki Tanaka
裕明 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (al産業上の利用分野 この発明は72Mモードの誘電体共振器が複数個配列さ
れてバンドパスフィルタなどに用いられる誘電体共振器
の製造方法に関する。
(b)従来の技術 72Mモードの誘電体共振器を複数段設け、―接する共
振器同士を電磁的に結合させた従来の誘電体共振器につ
いて、その外観を第4図に、上面および縦断面を第5図
(A)、  (B)にそれぞれ示す、これらの図におい
てlは誘電体ブロックであり、この4側面には金属膜か
らなる外導体2が形成され、誘電体ブロック1の中には
所定間隔で貫通孔3・・・が形成されている。この貫通
孔3・・・の内面には金属膜からなる内導体4が形成さ
れ、誘電体ブロックl底面に形成された金属膜によって
外導体2と短絡されている。前記各内導体4、外導体2
およびその間に存在する誘電体ブロック1によって誘電
体共振器A1〜A4が構成されている。また共振器A 
I −A 4の間には共振器相互を結合するための結合
孔5・・が形成され、隣合う共振器が電磁的に結合され
ている。
(C)発明が解決しようとする問題点 このような1つの誘電体ブロックに複数の共振器と各共
振器相互を結合させるための結合孔を形成した誘電体共
振器を製造する際、従来は焼成された誘電体ブロックの
所定箇所に銀ペーストを筆塗りし、焼き付けることによ
って製造している。
第3図(A)、  (B)は金属膜を形成する前の誘電
体ブロックの上面および縦断面を表し、この誘電体ブロ
ックの貫通孔3・・・の内面、し側面および底面に対し
て銀ペーストが塗布され焼き付けられるが、すべて手作
業で行わねばならず、製造−効率が低く、また均一な金
属膜を形成することが困難であった。
この発明の口約は誘電体ブロックに対して金属膜を効率
的に所定箇所に形成できるようにし、製造コストを低減
できるようにした誘電体共振器の製造方法を提供するこ
とにある。
fcl1問題点を解決するための手段 この発明の誘電体共振器の製造方法は、複数の内導体形
成用貫通孔と電磁界結合用貫通孔が交互に配列形成され
た誘電体ブロックを用い、上記結合用貫通孔に上記誘電
体ブロックより低誘電率の充填材を充填した後、上記誘
電体ブロックの開放端面とすべき端面を除く誘電体ブロ
ック全体に無電解メッキ膜を形成することを特徴として
いる。
(e)作用 この発明の誘電体共振器の製造方法においては、誘電体
ブロックに形成された結合用貫通孔に上記誘電体ブロッ
クより低誘電率の充填材を充填した後、上記誘電体ブロ
ックの開放端面とすべき端面を除(誘電体ブロック全体
に無電解メッキを施すことによって、4側面と底面およ
び内導体形成用貫通孔の内面に金属膜が形成される。こ
のとき結合用貫通孔には充填材が充填されているため、
その内面に金属膜が形成されることがなく、しかも充填
材は誘電体ブロックより低誘電率であるため、隣接する
共振器相互が電磁的に結合する。
(f)実施例 この発明の実施例によって形成された誘電体共振器とし
て、その外観を第1図に、上面および縦断面を第2図(
A)、  (B)にそれぞれ示す。
誘電体ブロック1の4側面には金属膜からなる外導体2
が形成され、誘電体ブロック1の中には所定間隔で貫通
孔3・・・が形成されている。この貫通孔3・・・の内
面には金属膜からなる内導体4が形成され、誘電体ブロ
ック1底面に形成された金属膜によって外導体2と短絡
されている。
前記各内導体4、外導体2およびその間に存在する誘電
体ブロックlによって誘電体共振器Al〜A4が構成さ
れている。これらの共振r&AL−A4の間には共振器
相互を結合させるための結合部B1−83が形成されて
いる。これらの結合部は結合用貫通孔内に誘電体ブロッ
クより低誘電率の充填材6が充填されて構成されている
上記誘電体共振器は次のようにして製造する。
先ず、第3図(A)、(B)に示したように外形が直方
体状であり、内部に複数の内導体形成用貫通孔3・・・
と電磁界結合用貫通孔5・・を交互に配列形成した誘電
体ブロック1を成型した後、電磁界結合用貫通孔5・・
内に誘電体ブロックより低誘電率のセラミクス材料を充
填し、同時焼成することによって誘電体ブロックを製造
する。
このようにしてレジスト膜の塗布された複数の誘、第2
図(A)、  (B)に示すように誘電体ブロックの4
fl+!1面2、底面7および内導体形成用貫通孔3の
内面4に一体的に銀の導体膜が形成される、ここで、金
属膜4は内導体、金属膜2は外導体、金属膜7は短絡端
をそれぞれ構成する。
その後、必要に応じて開放端面に形成したメンキレジス
ト膜を剥離する。
上記実施例は電磁界結合用貫通孔に充填材を充填する場
合、誘電体ブロックと同時焼成する方法であったが、そ
の他の方法として第3図(A)。
(B)に示すように電磁界結合用貫通孔に充填材を充填
しない状態で誘電体ブロックを焼成し、その後、結合用
貫通孔5・・に合成樹脂などを充填し、乾燥固化させて
もよい、また、無電解メッキを行う際、メンキレジスト
膜を形成しないでメッキ完了後に開放端面とすべき端面
の金属膜を研削して開放端面とすることも可能である。
(a発明の効果 以上のようにこの発明によれば、電磁界結合用貫通孔の
内部に充填材を充填したことにより無電解メッキ法によ
って誘電体ブロックの必要な面に同時に金属膜を形成す
ることができる。これにより製造効率を大幅に向上させ
ることができ、製造−コストを低減することができる。
また、形成される金属膜は均一なものであるため、品質
の安定した誘電体共振器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例により製造された誘電体共振
器の外観を表す斜視図、第2図(A)。 CB)は同誘電体共振器の上面および縦断面を表す図、
第3図(A)、  (B)は製造途中における誘電体ブ
ロックの上面および縦断面を表す図、第4図は従来の方
法により製造された誘電体共振器の外観を表す斜視図、
第5図(A)、(B)はその上面および縦断面を表す図
である。 1−誘電体ブロック、 2−外導体、 3−内導体形成用貫通孔、 4−内導体、 5−電磁界結合用貫通孔、 6−充填材。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数の内導体形成用貫通孔と電磁界結合用貫通孔
    が交互に配列形成された誘電体ブロックを用い、上記結
    合用貫通孔に上記誘電体ブロックより低誘電率の充填材
    を充填した後、上記誘電体ブロックの開放端面とすべき
    端面を除く誘電体ブロック全体に無電解メッキ膜を形成
    することを特徴とする誘電体共振器の製造方法。
JP13550287A 1987-05-29 1987-05-29 誘電体共振器の製造方法 Pending JPS63299605A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6445106B1 (en) 2000-02-18 2002-09-03 Intel Corporation Micro-electromechanical structure resonator, method of making, and method of using

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6445106B1 (en) 2000-02-18 2002-09-03 Intel Corporation Micro-electromechanical structure resonator, method of making, and method of using
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