JPS6329823B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はトランジスタ等の半導体素子の電気
的性能を検査し、その結果によつて選別分類する
装置に係るものである。

従来半導体素子（以下単に素子という）の選別
に際しては、一定方向に揃えられた素子を自重落
下によつて連続してシユート内に供給し、一時滞
留させた後、個別送り装置により、最先端の素子
より１個ずつ測定部に送り、ここで測子を素子の
リード線に接触させて性能検査を行ない、その測
定結果によつて選別分類していた。そして選別速
度は極限まで上げられているため、及び素子がご
く軽量で小型であるために、長時間の運転中には
想像外の現象が発生し、本来素子１個ずつ供給す
べき測定部に複数個の素子が誤つて供給されるこ
とが起る。そうすると１個の素子のリード線に接
触するべき測子は予定外の素子のリード線に当つ
て正常な測定が出来ず、かつリード線を湾曲させ
るだけでなく、測定サイクルが狂うことになる。

そこで従来は測定部に素子が複数個誤つて供給
された場合には、検出器によつてその異常を検出
して警報を発すると共に、機械全体を停止させ、
作業者がその異常を解消してから再び機械を始動
させるようにしていた。従つて従来装置において
は機械の停止による稼動率の低下を来たすと共
に、作業者が常時機械の稼動状況を監視していな
ければならず自動化・省力化の点においても充分
でなかつた。

この発明は上記のように素子が誤つて複数個測
定部に供給された場合、機械は停止することなく
検査用測子のみを素子のリード線に接触させない
ように構成し、かつ測定部に入つた素子全部を再
検査の箱に収容するようにして機械の稼動率の向
上と自動化・省力化を図つたものである。

以下図面に従つて本発明の一実施例を説明す
る。図において素子２は傾斜するシユート１の下
面の溝にリード線３を入れて、自重落下により供
給され、１個送りの第１、第２ストツパー４，５
が交互に下降、上昇することによつて１個ずつ測
定部に送られる。測定部には第３ストツパー６が
設けられて、送られてきた素子２を一時停止さ
せ、次いで測子７が前進して接触して性能検査が
行なわれる。三つの第１、第２、第３ストツパー
４，５，６及び測子７の前進・後退を簡単かつ正
確に行なうためには、狭いスペースの関係もあつ
てカム機構が使われる。すなわち、１つのカム軸
に測子７およびストツパー４，５，６を制御する
ためのそれぞれ別個のカムが取付けられており、
カム軸を回転させることによつてレバーを介して
ストツパー４，５，６は供給シユート１に対し、
また測子７は素子２のリード線３に対しそれぞれ
前進・後退するように構成されている。

測子７の先端は第４図に示すように素子２の３
本のリード線３ａ，３ｂ，３ｃのそれぞれに接触
する３本の接触針７ａ，７ｂ，７ｃから構成され
ている。接触針７ａ，７ｃはリード線３ａあるい
は３ｃが外側に広がつている場合にそれを強制的
に図示の状態に位置せしめたり、あるいは第３ス
トツパ６によつて停止された素子２の姿勢の傾き
によつてリード線３ａ，３ｂ，３ｃが接触針７
ａ，７ｂ，７ｃに正しく相対していない場合にそ
れを強制的に図示の状態に位置せしめるために先
端が広がつた形状をなしている。従つて測子７は
素子２よりも幅が広い構造となつているため素子
２が相接して連続して供給されている状態では測
定出来ず、１個送りストツパ５と測定部ストツパ
６との間に一定の間隔Ａを設ける必要がある。そ
こで何らかの原因によつて測定部に複数個の素子
が誤つて供給される場合が生ずる。

本発明において測定部の間隔Ａの間に、第２，
３図に示す素子２の複数個存在検出装置を設け
る。すなわちシユート１を挾んで発光素子８と受
光素子９を設ける。ここで発光素子８は素子２の
進行方向に平行に狭い間隔をもつて複数個並べら
れ、その光は相対する受光素子９に入る。そこで
一番下の受光素子だけが遮断され、他の受光素子
に光が入つていれば正常状態、他の受光素子も遮
断されていればＡの間に複数個の素子が入つてい
ることが検知される。そしてこのとき異状信号が
発信される。

第５図において、カム１０、カムレバー１１及
びその一端に取付けられた測子７の構成は従来の
方式のもので、レバー１１は支点１３によつて支
えられ、スプリング１４によつて、カム１０に押
し付けられ、カム１０の回転によつて測子７は支
点１３を中心として反時計方向に回転して、素子
２のリード線３に向つて前進・接触する。

ここで本発明においては前記の異状信号によつ
てレバー１１の運動を停止させる。すなわちレバ
ー１１の他端に近接して第４ストツパー１５を設
け、これを常時はスプリング１６によつて図の右
側に後退させておいて、レバー１１には関係ない
状態として置く。そして前記の異状信号によつて
ソレノイド１７を動作させて第４ストツパー１５
を前進させて、点線位置にし、レバー１１の反時
計方向回転を停止させる。なお測子７が後退して
いる状態ではレバー１１は一番時計方向に大きな
角度で回転している状態であるので、この状態に
おいてストツパー１５が動作すると、カム１０は
自由に回転することができる。そこで測子前進の
動作だけが省略されて、次に測定部第３ストツパ
ー６が開き、間隔Ａにある素子全部が下方へ解放
される。この解放された素子は、本願特許出願人
の出願に係る特願昭54−154782に記載された装置
によつて再検査品の箱の中に落下収容される。

ここで第３ストツパ６と測子７の運動を第２図
によつてさらに詳細に説明する。測定部末端の第
３ストツパ６が素子一個を受け止めたところで測
子７が前進して、測子がリード線に接触すると同
時に第３ストツパ６が後退し、素子は測子先端に
なじんだ方向に微移動して測定位置をとる。そし
て測定が完了した時点で測子が後退し、測定済の
素子は搬出される。これは正常状態における経過
であるが、もし測定部に複数個の素子が存在する
との信号があれば、第５図に示す機構により、測
子７の前後進機構だけがアイドルになつて、測子
７は後退状態にロツクされる。しかしこのときカ
ム軸は回転し続け、この軸に取付けられた他のカ
ムの回転により、測定部のストツパ６は上記の順
序で後退する。これにより測定部に入つている素
子は全て測定されることなく送られて、再検査品
の箱の中に収容される。ここで第５図の第４スト
ツパー１５は図の右方向に移動して、測子のロツ
クは解除されて、正常状態に復帰する。

なおカムレバー１１の停止機構は上記説明の方
式に限定するものでなく、要はレバー１１を最大
回転角の位置で固定するものであれば良い。

このようにして本発明においては思わざる事故
に対して、素子のリード線を曲げたり、測子に無
理のかかるようなトラブルなく、かつカム群は連
続して回転するので機械を連続稼動させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は素子の１個送り、並びに測定部の概要
説明図、第２，３図は複数個存在検出装置の説明
図、第４図は測子とリード線との関係説明図、第
５図はカムレバー部の説明図。 １：傾斜シユート、２：素子、３：リード線、
４，５：１個送り第１、第２ストツパ、６：測定
部第３ストツパ、７：測子、８：発光素子、９：
受光素子、１５：第４ストツパー、１７：ソレノ
イド。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ シユート内の半導体素子等を１個ずつ測定部
   に送る第１、第２のストツパ及び測定部の素子を
   停止させる第３のストツパの作動カム機構と、こ
   のカム軸に一体に取付けられたカムによつて前後
   進する測子移動機構を有する選別装置において、
   １個送りの第２ストツパと第３ストツパとの間隔
   に対して素子の複数個存在検出装置を設け、その
   検出信号によつて、測子をカムの回転にかかわり
   なく不動作状態にロツクする第４ストツパーを動
   作させ、かつ測定部の第３ストツパーを開いて放
   出された素子全部を再検査箱に収容する選別機構
   を有する半導体素子等の選別装置。