JPS6329823B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6329823B2 JPS6329823B2 JP3472281A JP3472281A JPS6329823B2 JP S6329823 B2 JPS6329823 B2 JP S6329823B2 JP 3472281 A JP3472281 A JP 3472281A JP 3472281 A JP3472281 A JP 3472281A JP S6329823 B2 JPS6329823 B2 JP S6329823B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stopper
- probe
- elements
- cam
- measuring section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はトランジスタ等の半導体素子の電気
的性能を検査し、その結果によつて選別分類する
装置に係るものである。
的性能を検査し、その結果によつて選別分類する
装置に係るものである。
従来半導体素子(以下単に素子という)の選別
に際しては、一定方向に揃えられた素子を自重落
下によつて連続してシユート内に供給し、一時滞
留させた後、個別送り装置により、最先端の素子
より1個ずつ測定部に送り、ここで測子を素子の
リード線に接触させて性能検査を行ない、その測
定結果によつて選別分類していた。そして選別速
度は極限まで上げられているため、及び素子がご
く軽量で小型であるために、長時間の運転中には
想像外の現象が発生し、本来素子1個ずつ供給す
べき測定部に複数個の素子が誤つて供給されるこ
とが起る。そうすると1個の素子のリード線に接
触するべき測子は予定外の素子のリード線に当つ
て正常な測定が出来ず、かつリード線を湾曲させ
るだけでなく、測定サイクルが狂うことになる。
に際しては、一定方向に揃えられた素子を自重落
下によつて連続してシユート内に供給し、一時滞
留させた後、個別送り装置により、最先端の素子
より1個ずつ測定部に送り、ここで測子を素子の
リード線に接触させて性能検査を行ない、その測
定結果によつて選別分類していた。そして選別速
度は極限まで上げられているため、及び素子がご
く軽量で小型であるために、長時間の運転中には
想像外の現象が発生し、本来素子1個ずつ供給す
べき測定部に複数個の素子が誤つて供給されるこ
とが起る。そうすると1個の素子のリード線に接
触するべき測子は予定外の素子のリード線に当つ
て正常な測定が出来ず、かつリード線を湾曲させ
るだけでなく、測定サイクルが狂うことになる。
そこで従来は測定部に素子が複数個誤つて供給
された場合には、検出器によつてその異常を検出
して警報を発すると共に、機械全体を停止させ、
作業者がその異常を解消してから再び機械を始動
させるようにしていた。従つて従来装置において
は機械の停止による稼動率の低下を来たすと共
に、作業者が常時機械の稼動状況を監視していな
ければならず自動化・省力化の点においても充分
でなかつた。
された場合には、検出器によつてその異常を検出
して警報を発すると共に、機械全体を停止させ、
作業者がその異常を解消してから再び機械を始動
させるようにしていた。従つて従来装置において
は機械の停止による稼動率の低下を来たすと共
に、作業者が常時機械の稼動状況を監視していな
ければならず自動化・省力化の点においても充分
でなかつた。
この発明は上記のように素子が誤つて複数個測
定部に供給された場合、機械は停止することなく
検査用測子のみを素子のリード線に接触させない
ように構成し、かつ測定部に入つた素子全部を再
検査の箱に収容するようにして機械の稼動率の向
上と自動化・省力化を図つたものである。
定部に供給された場合、機械は停止することなく
検査用測子のみを素子のリード線に接触させない
ように構成し、かつ測定部に入つた素子全部を再
検査の箱に収容するようにして機械の稼動率の向
上と自動化・省力化を図つたものである。
以下図面に従つて本発明の一実施例を説明す
る。図において素子2は傾斜するシユート1の下
面の溝にリード線3を入れて、自重落下により供
給され、1個送りの第1、第2ストツパー4,5
が交互に下降、上昇することによつて1個ずつ測
定部に送られる。測定部には第3ストツパー6が
設けられて、送られてきた素子2を一時停止さ
せ、次いで測子7が前進して接触して性能検査が
行なわれる。三つの第1、第2、第3ストツパー
4,5,6及び測子7の前進・後退を簡単かつ正
確に行なうためには、狭いスペースの関係もあつ
てカム機構が使われる。すなわち、1つのカム軸
に測子7およびストツパー4,5,6を制御する
ためのそれぞれ別個のカムが取付けられており、
カム軸を回転させることによつてレバーを介して
ストツパー4,5,6は供給シユート1に対し、
また測子7は素子2のリード線3に対しそれぞれ
前進・後退するように構成されている。
る。図において素子2は傾斜するシユート1の下
面の溝にリード線3を入れて、自重落下により供
給され、1個送りの第1、第2ストツパー4,5
が交互に下降、上昇することによつて1個ずつ測
定部に送られる。測定部には第3ストツパー6が
設けられて、送られてきた素子2を一時停止さ
せ、次いで測子7が前進して接触して性能検査が
行なわれる。三つの第1、第2、第3ストツパー
4,5,6及び測子7の前進・後退を簡単かつ正
確に行なうためには、狭いスペースの関係もあつ
てカム機構が使われる。すなわち、1つのカム軸
に測子7およびストツパー4,5,6を制御する
ためのそれぞれ別個のカムが取付けられており、
カム軸を回転させることによつてレバーを介して
ストツパー4,5,6は供給シユート1に対し、
また測子7は素子2のリード線3に対しそれぞれ
前進・後退するように構成されている。
測子7の先端は第4図に示すように素子2の3
本のリード線3a,3b,3cのそれぞれに接触
する3本の接触針7a,7b,7cから構成され
ている。接触針7a,7cはリード線3aあるい
は3cが外側に広がつている場合にそれを強制的
に図示の状態に位置せしめたり、あるいは第3ス
トツパ6によつて停止された素子2の姿勢の傾き
によつてリード線3a,3b,3cが接触針7
a,7b,7cに正しく相対していない場合にそ
れを強制的に図示の状態に位置せしめるために先
端が広がつた形状をなしている。従つて測子7は
素子2よりも幅が広い構造となつているため素子
2が相接して連続して供給されている状態では測
定出来ず、1個送りストツパ5と測定部ストツパ
6との間に一定の間隔Aを設ける必要がある。そ
こで何らかの原因によつて測定部に複数個の素子
が誤つて供給される場合が生ずる。
本のリード線3a,3b,3cのそれぞれに接触
する3本の接触針7a,7b,7cから構成され
ている。接触針7a,7cはリード線3aあるい
は3cが外側に広がつている場合にそれを強制的
に図示の状態に位置せしめたり、あるいは第3ス
トツパ6によつて停止された素子2の姿勢の傾き
によつてリード線3a,3b,3cが接触針7
a,7b,7cに正しく相対していない場合にそ
れを強制的に図示の状態に位置せしめるために先
端が広がつた形状をなしている。従つて測子7は
素子2よりも幅が広い構造となつているため素子
2が相接して連続して供給されている状態では測
定出来ず、1個送りストツパ5と測定部ストツパ
6との間に一定の間隔Aを設ける必要がある。そ
こで何らかの原因によつて測定部に複数個の素子
が誤つて供給される場合が生ずる。
本発明において測定部の間隔Aの間に、第2,
3図に示す素子2の複数個存在検出装置を設け
る。すなわちシユート1を挾んで発光素子8と受
光素子9を設ける。ここで発光素子8は素子2の
進行方向に平行に狭い間隔をもつて複数個並べら
れ、その光は相対する受光素子9に入る。そこで
一番下の受光素子だけが遮断され、他の受光素子
に光が入つていれば正常状態、他の受光素子も遮
断されていればAの間に複数個の素子が入つてい
ることが検知される。そしてこのとき異状信号が
発信される。
3図に示す素子2の複数個存在検出装置を設け
る。すなわちシユート1を挾んで発光素子8と受
光素子9を設ける。ここで発光素子8は素子2の
進行方向に平行に狭い間隔をもつて複数個並べら
れ、その光は相対する受光素子9に入る。そこで
一番下の受光素子だけが遮断され、他の受光素子
に光が入つていれば正常状態、他の受光素子も遮
断されていればAの間に複数個の素子が入つてい
ることが検知される。そしてこのとき異状信号が
発信される。
第5図において、カム10、カムレバー11及
びその一端に取付けられた測子7の構成は従来の
方式のもので、レバー11は支点13によつて支
えられ、スプリング14によつて、カム10に押
し付けられ、カム10の回転によつて測子7は支
点13を中心として反時計方向に回転して、素子
2のリード線3に向つて前進・接触する。
びその一端に取付けられた測子7の構成は従来の
方式のもので、レバー11は支点13によつて支
えられ、スプリング14によつて、カム10に押
し付けられ、カム10の回転によつて測子7は支
点13を中心として反時計方向に回転して、素子
2のリード線3に向つて前進・接触する。
ここで本発明においては前記の異状信号によつ
てレバー11の運動を停止させる。すなわちレバ
ー11の他端に近接して第4ストツパー15を設
け、これを常時はスプリング16によつて図の右
側に後退させておいて、レバー11には関係ない
状態として置く。そして前記の異状信号によつて
ソレノイド17を動作させて第4ストツパー15
を前進させて、点線位置にし、レバー11の反時
計方向回転を停止させる。なお測子7が後退して
いる状態ではレバー11は一番時計方向に大きな
角度で回転している状態であるので、この状態に
おいてストツパー15が動作すると、カム10は
自由に回転することができる。そこで測子前進の
動作だけが省略されて、次に測定部第3ストツパ
ー6が開き、間隔Aにある素子全部が下方へ解放
される。この解放された素子は、本願特許出願人
の出願に係る特願昭54−154782に記載された装置
によつて再検査品の箱の中に落下収容される。
てレバー11の運動を停止させる。すなわちレバ
ー11の他端に近接して第4ストツパー15を設
け、これを常時はスプリング16によつて図の右
側に後退させておいて、レバー11には関係ない
状態として置く。そして前記の異状信号によつて
ソレノイド17を動作させて第4ストツパー15
を前進させて、点線位置にし、レバー11の反時
計方向回転を停止させる。なお測子7が後退して
いる状態ではレバー11は一番時計方向に大きな
角度で回転している状態であるので、この状態に
おいてストツパー15が動作すると、カム10は
自由に回転することができる。そこで測子前進の
動作だけが省略されて、次に測定部第3ストツパ
ー6が開き、間隔Aにある素子全部が下方へ解放
される。この解放された素子は、本願特許出願人
の出願に係る特願昭54−154782に記載された装置
によつて再検査品の箱の中に落下収容される。
ここで第3ストツパ6と測子7の運動を第2図
によつてさらに詳細に説明する。測定部末端の第
3ストツパ6が素子一個を受け止めたところで測
子7が前進して、測子がリード線に接触すると同
時に第3ストツパ6が後退し、素子は測子先端に
なじんだ方向に微移動して測定位置をとる。そし
て測定が完了した時点で測子が後退し、測定済の
素子は搬出される。これは正常状態における経過
であるが、もし測定部に複数個の素子が存在する
との信号があれば、第5図に示す機構により、測
子7の前後進機構だけがアイドルになつて、測子
7は後退状態にロツクされる。しかしこのときカ
ム軸は回転し続け、この軸に取付けられた他のカ
ムの回転により、測定部のストツパ6は上記の順
序で後退する。これにより測定部に入つている素
子は全て測定されることなく送られて、再検査品
の箱の中に収容される。ここで第5図の第4スト
ツパー15は図の右方向に移動して、測子のロツ
クは解除されて、正常状態に復帰する。
によつてさらに詳細に説明する。測定部末端の第
3ストツパ6が素子一個を受け止めたところで測
子7が前進して、測子がリード線に接触すると同
時に第3ストツパ6が後退し、素子は測子先端に
なじんだ方向に微移動して測定位置をとる。そし
て測定が完了した時点で測子が後退し、測定済の
素子は搬出される。これは正常状態における経過
であるが、もし測定部に複数個の素子が存在する
との信号があれば、第5図に示す機構により、測
子7の前後進機構だけがアイドルになつて、測子
7は後退状態にロツクされる。しかしこのときカ
ム軸は回転し続け、この軸に取付けられた他のカ
ムの回転により、測定部のストツパ6は上記の順
序で後退する。これにより測定部に入つている素
子は全て測定されることなく送られて、再検査品
の箱の中に収容される。ここで第5図の第4スト
ツパー15は図の右方向に移動して、測子のロツ
クは解除されて、正常状態に復帰する。
なおカムレバー11の停止機構は上記説明の方
式に限定するものでなく、要はレバー11を最大
回転角の位置で固定するものであれば良い。
式に限定するものでなく、要はレバー11を最大
回転角の位置で固定するものであれば良い。
このようにして本発明においては思わざる事故
に対して、素子のリード線を曲げたり、測子に無
理のかかるようなトラブルなく、かつカム群は連
続して回転するので機械を連続稼動させることが
できる。
に対して、素子のリード線を曲げたり、測子に無
理のかかるようなトラブルなく、かつカム群は連
続して回転するので機械を連続稼動させることが
できる。
第1図は素子の1個送り、並びに測定部の概要
説明図、第2,3図は複数個存在検出装置の説明
図、第4図は測子とリード線との関係説明図、第
5図はカムレバー部の説明図。 1:傾斜シユート、2:素子、3:リード線、
4,5:1個送り第1、第2ストツパ、6:測定
部第3ストツパ、7:測子、8:発光素子、9:
受光素子、15:第4ストツパー、17:ソレノ
イド。
説明図、第2,3図は複数個存在検出装置の説明
図、第4図は測子とリード線との関係説明図、第
5図はカムレバー部の説明図。 1:傾斜シユート、2:素子、3:リード線、
4,5:1個送り第1、第2ストツパ、6:測定
部第3ストツパ、7:測子、8:発光素子、9:
受光素子、15:第4ストツパー、17:ソレノ
イド。
Claims (1)
- 1 シユート内の半導体素子等を1個ずつ測定部
に送る第1、第2のストツパ及び測定部の素子を
停止させる第3のストツパの作動カム機構と、こ
のカム軸に一体に取付けられたカムによつて前後
進する測子移動機構を有する選別装置において、
1個送りの第2ストツパと第3ストツパとの間隔
に対して素子の複数個存在検出装置を設け、その
検出信号によつて、測子をカムの回転にかかわり
なく不動作状態にロツクする第4ストツパーを動
作させ、かつ測定部の第3ストツパーを開いて放
出された素子全部を再検査箱に収容する選別機構
を有する半導体素子等の選別装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3472281A JPS57149745A (en) | 1981-03-11 | 1981-03-11 | Selector for semiconductor element, etc. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3472281A JPS57149745A (en) | 1981-03-11 | 1981-03-11 | Selector for semiconductor element, etc. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57149745A JPS57149745A (en) | 1982-09-16 |
JPS6329823B2 true JPS6329823B2 (ja) | 1988-06-15 |
Family
ID=12422214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3472281A Granted JPS57149745A (en) | 1981-03-11 | 1981-03-11 | Selector for semiconductor element, etc. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS57149745A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2546611Y2 (ja) * | 1990-10-22 | 1997-09-03 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験装置 |
US6127749A (en) * | 1999-02-10 | 2000-10-03 | Nikon Corporation Of Japan | Two-dimensional electric motor |
CN104998990B (zh) * | 2015-08-13 | 2016-10-05 | 福建农林大学 | 一种采用圆柱凸轮机构的三极管引脚折弯机 |
-
1981
- 1981-03-11 JP JP3472281A patent/JPS57149745A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57149745A (en) | 1982-09-16 |
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