KR940000740Y1 - 핸들러의 콘택트 핑거와 디바이스 리드의 위치감지장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

핸들러의 콘택트 핑거와 디바이스 리드의 위치감지장치

제1도는 일반적인 핸들러의 사시도.

제2도는 테스터부의 개략도.

제3도는 종래의 콘택트를 나타낸 평면도.

제4도는 콘택트 핑거와 디바이스 리드가 불일치된 상태를 나타낸 평면도.

제5도는 본 고안 장치의 요부평면도.

제6도는 본 고안 장치의 회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 콘택트 핑거 2a : 디바이스 리드

3 : 센서

본 고안은 디바이스 테스터(이하 ˝핸들러˝라 함)의 콘택트 핑거와 디바이스 리드의 위치 감지장치에 관한 것으로서, 특히 콘택트 타입의 핸들러에 적당하도록 한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정에서 제조된 디바이스의 성능을 검사하여 양품과 불량품을 선별하기 위한 핸들러는 제1도에 도시한 바와 같이 디바이스를 공급하기 위한 공급부(11)와 검사를 실시하는 테스터부(12) 그리고 검사완료된 디바이스를 송출하기 위한 송출부(13)로 구성되어 있다.

따라서 슬리이브(도시는 생략함)에 적재된 디바이스를 별도의 공급장치나 또는 수동으로 공급부(11)로 투입하면 디바이스가 이송트랙을 따라 테스터부(12)로 이송되어 제2도 및 제3도와 같이 디바이스의 선단이 릴리스핀(14)에 제어되므로 디바이스리드가 콘택트 핑거와 접속된다.

이에 따라 메인 씨스템에서 디바이스의 성능을 판별하여 CPU에 신호를 보내면 디바이스(15)를 제어하고 있던 릴리이스레버(14)를 해제시키게 되므로 선별된 디바이스가 송출트랙(16)을 따라 적재함에 적재된 빈슬리이브내에 삽입되어 진다.

상기한 바와 같은 핸들러에서 종래에는 제2도 및 제3도에 도시한 바와 같이 콘택트의 설치부위에 육안으로 콘택트를 식별하기 위한 투시창을 형성하여 콘택트의 핑거(17)에 디바이스의 리드(15a)가 정확히 일치되도록 접속하는지를 식별하도록 되어 있다.

그러나 이러한 종래의 핸들러에서는 제4도에 도시한 바와 같이 콘택트 핑거 (170)와 디바이스의 리드(15a)가 상호 어긋나게 접속하더라도 이를 감지하는 장치가 없어 양품의 디바이스를 잘못 판정하게 되므로 디바이스의 수율 감소를 초래하였을 뿐 아니라 작업자가 투시창을 통해 콘택트 핑거와 디바이스 리드의 일치 상태를 주기적으로 점검하여야 되었으므로 작업이 번거로운 결점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와 같은 결점을 감안하여 안출한 것으로서, 콘택트 핑거와 디바이스 리드가 상호 불일치하게 접속된 상태를 감지하여 기기의 작동을 중단시키므로 디바이스의 수율감소를 미연에 방지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 콘택트 핑거와 디바이스 리드가 상호 접속됨에 따라 메인 씨스템에서 디바이스의 성능을 판별하도록 된 것에 있어서, 콘택트 핑거와 양단 내측으로 상호 대응되게 한쌍의 센서를 설치하여 센서가 콘택트핑거와 디바이스 리드의 일치상태를 감지할 수 있도록 한 핸들러의 콘택트 핑거와 디바이스 리드의 위치 감지 장치가 제공된다.

이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제5도 및 제6도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제5도는 본 고안 장치의 요부평면도이고 제6도는 회로도로서, 본 고안은 콘택트 핑거(1)의 양단 내측으로 상호 대응되게 한쌍의 센서(3)가 설치되어 있어 디바이스(2)가 공급되어 리드(2a)가 콘택트 핑거(1)에 접속됨에 따라 센서(3)가 콘택트 핑거(1)와 리드(2a)가 접속상태를 감지하여 제4도와 같이 상호 불일치할 경우에는 오어게이트(4)와 비교기(5)를 통해 CPU2 보오드로 전송되므로 별도의 램프나 부자를 이용하여 작업자가 이를 식별하도록 되어 있다.

이와 같이 구성된 본 고안은 콘택트 핑거(1)에 디바이스의 리드(2a)가 상호 불일치되게 접속하면 센서(3)가 이를 즉시 감지하여 제6도에 도시한 바와같이 오어게이트(4)를 통해 비교기(5)에 하이레벨을 인가시키게 되므로 기기의 작동을 중단시킴과 동시에 작업자에게 알리도록 되어 있으므로 콘택트 핑거(1)와 디바이스 리드(2a)의 상호 불일치 상태로 검사를 하는 것을 미연에 방지할 수 있게 되고, 이에 따라 디바이스의 수율을 향상시킬 수 있게 되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 콘택트 핑거(1)와 디바이스 리드(2a)가 상호 접속됨에 따라 메인 씨스템에서 디바이스의 성능을 판별하도록 된 것에 있어서, 콘택트 핑거(1)의 양단 내측으로 상호 대응되게 한쌍의 센서(3)를 설치하여 센서(3)가 콘택트 핑거(1)와 디바이스 리드(2a)의 일치 상태를 감지할 수 있도록 함을 특징으로 하는 핸들러의 콘택트 핑거와 디바이스 리드의 위치 감지장치.