JPS6044409A - 半導体装置の移送装置 - Google Patents
半導体装置の移送装置Info
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- JPS6044409A JPS6044409A JP58150974A JP15097483A JPS6044409A JP S6044409 A JPS6044409 A JP S6044409A JP 58150974 A JP58150974 A JP 58150974A JP 15097483 A JP15097483 A JP 15097483A JP S6044409 A JPS6044409 A JP S6044409A
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- Japan
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- semiconductor device
- chute
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- rails
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は外囲器にパッケージして完成された半導体装置
の移送装置に関し、特に−列で送られて来た半導体装置
を複数列に分けて移送する装置の改良に係る。
の移送装置に関し、特に−列で送られて来た半導体装置
を複数列に分けて移送する装置の改良に係る。
完成された半導体装置はオートハンドシーを備えた自動
測定装置Ｋかけられ、電気的な特性をチェックされる。
測定装置Ｋかけられ、電気的な特性をチェックされる。
このような自動測定装置等では、半導体装置を移送する
装置が用いられている。
装置が用いられている。
そして自動測定装置では、例えば電気特性試験でチェッ
クされた良品と不良品とを分類する等、種々の必要性か
ら、−列に並んで送給されて来た半導体装置を複数列に
分類して移送する装置が用いられている。
クされた良品と不良品とを分類する等、種々の必要性か
ら、−列に並んで送給されて来た半導体装置を複数列に
分類して移送する装置が用いられている。
第１図は上記の目的で従来用いられている移送装置の一
例で、自動測定器から一列に並んで送給されて来る半導
体装置を特性試験の結果に応じて三列に分類しで移送す
るための装置を示している。図示のように、この移送装
置では上部シュートレール１１、中継分類レーＡ７１２
、下部シュートレール１３１〜１３３が略垂直に設けら
れている。中継分類レール１２は上部シュートレール１
１の下流に配置され、駆動ベルト１４、駆動モータ１５
およびモータ制御回路１６により横方向に制御移動され
るようになっている。また、下部シュートレール１３１
〜１３３は中継分類レジ／Ｉ／１２の下流に並列に配設
されている。上記の各レール１１．１２゜１３１〜１３
３には、夫々対応する押えレール１１’、１２’、１３
１’〜１３３′が設けられており、各レールと押えレー
ルとの間に移送通路が形成されている。そして、前記中
継分頑レール１２と押えレール１２′との間の移送通路
内に突出し、かつ移送通路から後退し得るストツノや−
１７が設けられている。
例で、自動測定器から一列に並んで送給されて来る半導
体装置を特性試験の結果に応じて三列に分類しで移送す
るための装置を示している。図示のように、この移送装
置では上部シュートレール１１、中継分類レーＡ７１２
、下部シュートレール１３１〜１３３が略垂直に設けら
れている。中継分類レール１２は上部シュートレール１
１の下流に配置され、駆動ベルト１４、駆動モータ１５
およびモータ制御回路１６により横方向に制御移動され
るようになっている。また、下部シュートレール１３１
〜１３３は中継分類レジ／Ｉ／１２の下流に並列に配設
されている。上記の各レール１１．１２゜１３１〜１３
３には、夫々対応する押えレール１１’、１２’、１３
１’〜１３３′が設けられており、各レールと押えレー
ルとの間に移送通路が形成されている。そして、前記中
継分頑レール１２と押えレール１２′との間の移送通路
内に突出し、かつ移送通路から後退し得るストツノや−
１７が設けられている。
自動測定器で特性をチェックされた半導体装置工は、外
囲器２０両側から延出されたリード３・・・を上部シュ
ートレール１ノに跨がせ、外囲器２を押えレール１１′
で押えられて次々に送給されて来る。そして、中継分類
レール１２と押えレール１２／との間の移送通路内に落
下すると、ストッパー１７が突出して半導体装置１を係
止するようになっている。次いで、モータ制御回路１６
が自動測定器からの指示に従ってモータ１６を駆動させ
、駆動ベルト１４を回して中継分類レール１２．１２’
を下部シュートレール１３１〜１３３の何れかの直上に
移動させる。
囲器２０両側から延出されたリード３・・・を上部シュ
ートレール１ノに跨がせ、外囲器２を押えレール１１′
で押えられて次々に送給されて来る。そして、中継分類
レール１２と押えレール１２／との間の移送通路内に落
下すると、ストッパー１７が突出して半導体装置１を係
止するようになっている。次いで、モータ制御回路１６
が自動測定器からの指示に従ってモータ１６を駆動させ
、駆動ベルト１４を回して中継分類レール１２．１２’
を下部シュートレール１３１〜１３３の何れかの直上に
移動させる。
この移動が完了するとストッパー１７が移送通路から後
退し、係止を解かれた半導体装置は下部シュートレール
１３１〜１３３のイｉｌＪれかに沿って移送される。
退し、係止を解かれた半導体装置は下部シュートレール
１３１〜１３３のイｉｌＪれかに沿って移送される。
このように、第１図の従来の移送装置では、中継分類レ
ール１２０作用によって１、−列で送給されて来た半導
体装置は特性チェ、りの結果により複数列に分類されて
移送される。
ール１２０作用によって１、−列で送給されて来た半導
体装置は特性チェ、りの結果により複数列に分類されて
移送される。
ところが、上記従来の移送装置では、移送される半導体
装置１にリード３・・・の足曲り等の不良があった場合
、この足曲りを生じたリードが分類レール１２の継ぎ目
に引掛り、移送される半導体装置が停滞する状態となる
。こ５なると、自動測定器を始めとして全体的に関連動
作する装置を停止させる事故状態となり、半導体装置の
製造工程および検査工程における関連装置全体の稼動率
が太幅に低下してしまうという問題があった。
装置１にリード３・・・の足曲り等の不良があった場合
、この足曲りを生じたリードが分類レール１２の継ぎ目
に引掛り、移送される半導体装置が停滞する状態となる
。こ５なると、自動測定器を始めとして全体的に関連動
作する装置を停止させる事故状態となり、半導体装置の
製造工程および検査工程における関連装置全体の稼動率
が太幅に低下してしまうという問題があった。
本発明は上記事状に鑑みてなされたもので、−列の上部
シュートレールと複数の下部シュートレールとの間に、
該複数の下部シュートレールの端部上を制御移動される
中継分類レールを配置し、この中継分類レールの動作に
より前記上部シュート列に沿って一列で送給されて来る
半導体装置を複数の下部シュートレールに分けて移送す
る装置において、前記中継分類レールの継ぎ目で半導体
装置の引掛りを生じた場合にも、自動的にこの引掛りを
正して半導体装置を移送することができる半導体装置の
移送装置を提供するものである。
シュートレールと複数の下部シュートレールとの間に、
該複数の下部シュートレールの端部上を制御移動される
中継分類レールを配置し、この中継分類レールの動作に
より前記上部シュート列に沿って一列で送給されて来る
半導体装置を複数の下部シュートレールに分けて移送す
る装置において、前記中継分類レールの継ぎ目で半導体
装置の引掛りを生じた場合にも、自動的にこの引掛りを
正して半導体装置を移送することができる半導体装置の
移送装置を提供するものである。
本発明による半導体装置の移送装置は、重力により落下
する半導体装置を案内するように配設された一本の上部
シュートレールと、該上部シュートレールの下流側で並
列に配設された複数の下部シュートレールと、該下部シ
ュートレールおよび前記上部シュートレールの間に配設
され、下部シュートレールの上端部上を横切って移動で
きるように設けられた中継分類ｔ／−ルと、前記上部シ
ュートレールから送給されて来た半導体装置を中継レー
ルの所定位置に係止するためのストッパーと、該ストツ
ノ＋−に半導体装置が係止された状態で前記中継分類レ
ールを前記側れかの下部シュートレール上端上に制御移
動させる駆動装置とを具備し、前記中継分類レールが所
定の下部シュートレール上に移動したときに前記ストッ
パーを解除し、係止されていた半導体装置を中継分類レ
ールから下部シュートレールヘシュートするように構成
された半導体装置の移送装置において、半導体装置が中
継分類レールと上部および下部シュートレールとの間の
継ぎ目を通過したことを検知するセンサーを設けると共
に、所定時間内に該センサーが半導体装置の通過を検知
しないときには前記駆動装置が前記中継分類レールを正
逆方向に微小動作させるようにしたことを特徴とするも
のである。
する半導体装置を案内するように配設された一本の上部
シュートレールと、該上部シュートレールの下流側で並
列に配設された複数の下部シュートレールと、該下部シ
ュートレールおよび前記上部シュートレールの間に配設
され、下部シュートレールの上端部上を横切って移動で
きるように設けられた中継分類ｔ／−ルと、前記上部シ
ュートレールから送給されて来た半導体装置を中継レー
ルの所定位置に係止するためのストッパーと、該ストツ
ノ＋−に半導体装置が係止された状態で前記中継分類レ
ールを前記側れかの下部シュートレール上端上に制御移
動させる駆動装置とを具備し、前記中継分類レールが所
定の下部シュートレール上に移動したときに前記ストッ
パーを解除し、係止されていた半導体装置を中継分類レ
ールから下部シュートレールヘシュートするように構成
された半導体装置の移送装置において、半導体装置が中
継分類レールと上部および下部シュートレールとの間の
継ぎ目を通過したことを検知するセンサーを設けると共
に、所定時間内に該センサーが半導体装置の通過を検知
しないときには前記駆動装置が前記中継分類レールを正
逆方向に微小動作させるようにしたことを特徴とするも
のである。
上記本発明において、前記センサーが所定時間を経過し
ても半導体装置の通過を検知しない場合には、半導体装
置が中継分類レールの継ぎ目で引掛りを生じていること
を示している。このとき、中継分類レールを微振動させ
れば引掛りを正し、半導体装置を次段ヘシュートするこ
とができる。
ても半導体装置の通過を検知しない場合には、半導体装
置が中継分類レールの継ぎ目で引掛りを生じていること
を示している。このとき、中継分類レールを微振動させ
れば引掛りを正し、半導体装置を次段ヘシュートするこ
とができる。
第２図は本発明の一実施例になる移送装置の斜視図であ
る。
る。
図示のように、この実施例では中継分類レール１２の上
端部分を半導体装直重が通過したことを検知するための
光電センサー２１．２１’と、下部シュートレール１３
１〜１３３の上端部を半導体装置が通過したことを検知
するための光電センサー２２．２２’が設けられている
。これらの光電センサーはモーター制御回路１６に接続
されている。そして、モーター制御回路１６には予め設
定された所定の時間間隔を過ぎても光電センサー２１．
２１’、２２．２２’が半導体装置の通過を検知しない
ときには、駆動モータ１５に対して中継分類レール１２
を正逆方向に微小動作させる信号を発生するようになっ
ている。その他の構成は第１図で説明した従来の装置と
同様であり、同一部分には同じ参照番号を付しである。
端部分を半導体装直重が通過したことを検知するための
光電センサー２１．２１’と、下部シュートレール１３
１〜１３３の上端部を半導体装置が通過したことを検知
するための光電センサー２２．２２’が設けられている
。これらの光電センサーはモーター制御回路１６に接続
されている。そして、モーター制御回路１６には予め設
定された所定の時間間隔を過ぎても光電センサー２１．
２１’、２２．２２’が半導体装置の通過を検知しない
ときには、駆動モータ１５に対して中継分類レール１２
を正逆方向に微小動作させる信号を発生するようになっ
ている。その他の構成は第１図で説明した従来の装置と
同様であり、同一部分には同じ参照番号を付しである。
上記実施例の移送装置により半導体装置１を移送する際
、光電センサー２１．２１’および２２．２２’が夫々
所定の間隔で半導体装置１の通過を検知している間は、
半導体装置ユは中継分類レール１２の上下端部継目にお
いて引掛りを生じていないことになる。従って、このと
きには第１図で説明したようにして半導体装置の移送が
行なわれる。一方、光電センサー２１゜２１／または２
２．２２’の何かが、所定の時間間隔内に半導体装置の
通過を検知しないときには、半導体装置１が中継分類レ
ール１２の継ぎ目で引掛りを生じていることになる。こ
のときには、モーター制御回路１６が引掛りを判断し、
モータ１５に引掛り解除動作を指示する。即ち、モータ
１５は駆動ベルト１４を介して中継分類レール１２を正
逆方向に微小動作させることにより、引掛りを生じてい
る半導体装置１をレール１２またはｉｓ１〜１３３に沿
って落下させる。
、光電センサー２１．２１’および２２．２２’が夫々
所定の間隔で半導体装置１の通過を検知している間は、
半導体装置ユは中継分類レール１２の上下端部継目にお
いて引掛りを生じていないことになる。従って、このと
きには第１図で説明したようにして半導体装置の移送が
行なわれる。一方、光電センサー２１゜２１／または２
２．２２’の何かが、所定の時間間隔内に半導体装置の
通過を検知しないときには、半導体装置１が中継分類レ
ール１２の継ぎ目で引掛りを生じていることになる。こ
のときには、モーター制御回路１６が引掛りを判断し、
モータ１５に引掛り解除動作を指示する。即ち、モータ
１５は駆動ベルト１４を介して中継分類レール１２を正
逆方向に微小動作させることにより、引掛りを生じてい
る半導体装置１をレール１２またはｉｓ１〜１３３に沿
って落下させる。
こうして、上記実施例の移送装置によれば、例え半導体
装直重が中継分類レール１２の継ぎ目で引掛りを生じた
としても、自動的にこれを検出して引掛りを正すことが
できる。
装直重が中継分類レール１２の継ぎ目で引掛りを生じた
としても、自動的にこれを検出して引掛りを正すことが
できる。
従って、従来の移送装置の場合のように一度引掛りが発
生すると長期間に亘って関連する種種の装置全体が停止
してしまい、稼動率が著しく低下するような事態を防止
することができる。
生すると長期間に亘って関連する種種の装置全体が停止
してしまい、稼動率が著しく低下するような事態を防止
することができる。
なお、本発明による半導体装置の移送装置は、自動測定
器での特性チェック結果に応じてこれを分類する用途に
限らず、−列で送給されて来る半導体装置を複数例で移
送する必要のある総ての場合に使用し得るものである。
器での特性チェック結果に応じてこれを分類する用途に
限らず、−列で送給されて来る半導体装置を複数例で移
送する必要のある総ての場合に使用し得るものである。
以上詳述したように、本発明による半導体装置の移送装
置では、上部シュートレールに沿うて一列で送給されて
来た半導体装置を中継分磐レールの動作により複数の下
部シュートレーアに分けて移送する際、中継分類レール
の継ぎ目で半導体装置の引掛りを生じた場合にも自動的
にこの引掛りを修復し、装置が長時間停止するのを防止
できる等、顕著な効果が得られるものである。
置では、上部シュートレールに沿うて一列で送給されて
来た半導体装置を中継分磐レールの動作により複数の下
部シュートレーアに分けて移送する際、中継分類レール
の継ぎ目で半導体装置の引掛りを生じた場合にも自動的
にこの引掛りを修復し、装置が長時間停止するのを防止
できる等、顕著な効果が得られるものである。
第１図は従来用いられている半導体装置の移送装置を示
す斜視図、第２図は本発明の一実施例になる半導体装置
の移送装置を示す斜視図である。 １１・・・上部シュートレール、１２・・・中継分類レ
ール、１３１〜１３３・・・下部シュー）１／−／ｌ／
、１１’、 ｆ ２’、 １３１’〜１３３′・・・押
えレール、１く・・・駆動ベルト、１−５・・・駆動モ
ータ、１６・・・モータ制御回路、１７・・・ストッパ
ー、２１゜２１’、２２．２２’・・・光電センサー。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図
す斜視図、第２図は本発明の一実施例になる半導体装置
の移送装置を示す斜視図である。 １１・・・上部シュートレール、１２・・・中継分類レ
ール、１３１〜１３３・・・下部シュー）１／−／ｌ／
、１１’、 ｆ ２’、 １３１’〜１３３′・・・押
えレール、１く・・・駆動ベルト、１−５・・・駆動モ
ータ、１６・・・モータ制御回路、１７・・・ストッパ
ー、２１゜２１’、２２．２２’・・・光電センサー。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図
Claims (1)
- 重力により落下する半導体装置を案内するように配設さ
れた一本の上部シュートレールと、該上部シュートレー
ルの下流側で並列に配設された複数の下部シュートレー
ルと、該下部シュートレールおよび前記上部シュートレ
ールの間に配設され、下部シュートレールの上端部上を
横切って移動できるように設けられた中継分類レールと
、前記上部シュートレールから送給されて来た半導体装
置を中継分類レールの所定位置に係止するためのストツ
ノ４？−と、該ストッパーに半導体装置が係止された状
態で前記中継分類レールを前記例れかの下部シュートレ
ール上端上に制御移動させる駆動装置とを具備し、前記
中継分類レールが所定の下部シュートレール上に移動し
たときに前記ストッパーを解除し、係止されていた半導
体装置を中継分類レールから下部シュートレールへシュ
ートするように構成された半導体装置の移送装置におい
て、半導体装置が中継分類レールと上部および下部シュ
ートレールとの間の継ぎ目を通過したことを検知するセ
ンサーを設けると共に、所定時間内に該センサーが半導
体装置の通過を検知しないときＫは前記駆動装置が前記
中継分類レールな正逆方向に微小動作させるようにした
ことを特徴とする半導体装置の移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150974A JPH0610046B2 (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体装置の移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150974A JPH0610046B2 (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体装置の移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6044409A true JPS6044409A (ja) | 1985-03-09 |
| JPH0610046B2 JPH0610046B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=15508511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58150974A Expired - Lifetime JPH0610046B2 (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体装置の移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610046B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61267604A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-11-27 | ミクロ コンポ−ネント テクノロジ−，インコ−ポレイテイド | 集積回路装置搬送用シヤトル |
| JPS6279109A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-11 | Sanwa Electron Kk | Ｉｃ等チツプ類の振分機構 |
| US4732254A (en) * | 1984-09-10 | 1988-03-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | Electronic component feeder |
| JPH02147408U (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-14 | ||
| JP2019141770A (ja) * | 2018-02-19 | 2019-08-29 | 日本電気株式会社 | 搬送装置、搬送方法及び搬送制御プログラム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58117403U (ja) * | 1982-02-04 | 1983-08-10 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | シユ−ト装置 |
-
1983
- 1983-08-19 JP JP58150974A patent/JPH0610046B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58117403U (ja) * | 1982-02-04 | 1983-08-10 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | シユ−ト装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4732254A (en) * | 1984-09-10 | 1988-03-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | Electronic component feeder |
| JPS61267604A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-11-27 | ミクロ コンポ−ネント テクノロジ−，インコ−ポレイテイド | 集積回路装置搬送用シヤトル |
| JPS6279109A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-11 | Sanwa Electron Kk | Ｉｃ等チツプ類の振分機構 |
| JPH02147408U (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-14 | ||
| JPH0423847Y2 (ja) * | 1989-05-17 | 1992-06-04 | ||
| JP2019141770A (ja) * | 2018-02-19 | 2019-08-29 | 日本電気株式会社 | 搬送装置、搬送方法及び搬送制御プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610046B2 (ja) | 1994-02-09 |
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