JPH0610046B2 - 半導体装置の移送装置 - Google Patents
半導体装置の移送装置Info
- Publication number
- JPH0610046B2 JPH0610046B2 JP58150974A JP15097483A JPH0610046B2 JP H0610046 B2 JPH0610046 B2 JP H0610046B2 JP 58150974 A JP58150974 A JP 58150974A JP 15097483 A JP15097483 A JP 15097483A JP H0610046 B2 JPH0610046 B2 JP H0610046B2
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- JP
- Japan
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- rail
- semiconductor device
- relay
- lower chute
- chute
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
Landscapes
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Chutes (AREA)
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は外囲器にパッケージして完成された半導体装置
の移送装置に関し、特に一列で送られて来た半導体装置
を複数列に分けて移送する装置の改良に係る。
の移送装置に関し、特に一列で送られて来た半導体装置
を複数列に分けて移送する装置の改良に係る。
完成された半導体装置はオートハンドラーを備えた自動
測定装置にかけられ、電気的な特性をチェックされる。
このような自動測定装置等では、半導体装置を移送する
装置が用いられている。
測定装置にかけられ、電気的な特性をチェックされる。
このような自動測定装置等では、半導体装置を移送する
装置が用いられている。
そして自動測定装置では、例えば電気特性試験でチェッ
クされた良品と不良品とを分類する等、種々の必要性か
ら、一列に並んで送給されて来た半導体装置を複数列に
分類して移送する装置が用いられている。
クされた良品と不良品とを分類する等、種々の必要性か
ら、一列に並んで送給されて来た半導体装置を複数列に
分類して移送する装置が用いられている。
第１図は上記の目的で従来用いられている移送装置の一
例で、自動測定器から一列に並んで送給されて来る半導
体装置を特性試験の結果に応じて三列に分類して移送す
るための装置を示している。図示のように、この移送装
置では上部シュートレール１１、中継分類レール１２、
下部シュートレール１３１〜１３２が略垂直に設けられ
ている。中継分類レール１２は上部シュートレール１１
の下流に配置され、駆動ベルト１４、駆動モータ１５お
よびモータ制御回路１６により横方向に制御移動される
ようになっている。また、下部シュートレール１３１〜
１３３は中継分類レシル１２の下流に並列に配設されて
いる。上記の各レール１１，１２，１３１〜１３３に
は、夫々対応する押えレール１１′，１２′，１３１′
〜１３３′が設けられており、各レールと押えレールと
の間に移送通路が形成されている。そして、前記中継分
類レール１２と押えレール１２′との間の移送通路内に
突出し、かつ移送通路から後退し得るストッパー１７が
設けられている。
例で、自動測定器から一列に並んで送給されて来る半導
体装置を特性試験の結果に応じて三列に分類して移送す
るための装置を示している。図示のように、この移送装
置では上部シュートレール１１、中継分類レール１２、
下部シュートレール１３１〜１３２が略垂直に設けられ
ている。中継分類レール１２は上部シュートレール１１
の下流に配置され、駆動ベルト１４、駆動モータ１５お
よびモータ制御回路１６により横方向に制御移動される
ようになっている。また、下部シュートレール１３１〜
１３３は中継分類レシル１２の下流に並列に配設されて
いる。上記の各レール１１，１２，１３１〜１３３に
は、夫々対応する押えレール１１′，１２′，１３１′
〜１３３′が設けられており、各レールと押えレールと
の間に移送通路が形成されている。そして、前記中継分
類レール１２と押えレール１２′との間の移送通路内に
突出し、かつ移送通路から後退し得るストッパー１７が
設けられている。
自動測定器で特性をチェックされた半導体装置１は、外
囲器２の両側から延出されたリード３…を上部シュート
レール１１に跨がせ、外囲器２を押えレール１１′で押
えられて次々に送給されて来る。そして、中継分類レー
ル１２と押えレール１２′との間の移送通路内に落下す
ると、ストッパー１７が突出して半導体装置１を係止す
るようになっている。次いで、モータ制御回路１６が自
動測定器からの指示に従ってモータ１５を駆動させ、駆
動ベルト１４を回して中継分類レール１２，１２′を下
部シュートレール１３１〜１３３の何れかの直上に移動
させる。この移動が完了するとストッパー１７が移送通
路から後退し、係止を解かれた半導体装置は下部シュー
トレール１３１〜１３３の何れかに沿って移送される。
囲器２の両側から延出されたリード３…を上部シュート
レール１１に跨がせ、外囲器２を押えレール１１′で押
えられて次々に送給されて来る。そして、中継分類レー
ル１２と押えレール１２′との間の移送通路内に落下す
ると、ストッパー１７が突出して半導体装置１を係止す
るようになっている。次いで、モータ制御回路１６が自
動測定器からの指示に従ってモータ１５を駆動させ、駆
動ベルト１４を回して中継分類レール１２，１２′を下
部シュートレール１３１〜１３３の何れかの直上に移動
させる。この移動が完了するとストッパー１７が移送通
路から後退し、係止を解かれた半導体装置は下部シュー
トレール１３１〜１３３の何れかに沿って移送される。
このように、第１図の従来の移送装置では、中継分類レ
ール１２の作用によって、一列で送給されて来た半導体
装置は特性チェックの結果により複数列に分類されて移
送される。
ール１２の作用によって、一列で送給されて来た半導体
装置は特性チェックの結果により複数列に分類されて移
送される。
ところが、上記従来の移送装置では、移送される半導体
装置１にリード３…の足曲り等の不良があった場合、こ
の足曲りを生じたリードが分類レール１２の継ぎ目に引
掛り、移送される半導体装置が停滞する状態とする。こ
うなると、自動測定器を始めとして全体的に関連動作す
る装置を停止させる事故状態となり、半導体装置の製造
工程および検査工程における関連装置全体の稼動率が大
幅に低下してしまうという問題があった。
装置１にリード３…の足曲り等の不良があった場合、こ
の足曲りを生じたリードが分類レール１２の継ぎ目に引
掛り、移送される半導体装置が停滞する状態とする。こ
うなると、自動測定器を始めとして全体的に関連動作す
る装置を停止させる事故状態となり、半導体装置の製造
工程および検査工程における関連装置全体の稼動率が大
幅に低下してしまうという問題があった。
本発明は上記事状に鑑みてなされたもので、一列の上部
シュートレールと複数の下部シュートレールとの間に、
該複数の下部シュートレールの端部上を制御移動される
中継分類レールを配置し、この中継分類レールの動作に
より前記上部シュート列に沿って一列で送給されて来る
半導体装置を複数の下部シュートレールに分けて移送す
る装置において、前記中継分類レールの継ぎ目で半導体
装置の引掛りを生じた場合にも、自動的にこの引掛りを
正して半導体装置を移送することができる半導体装置の
移送装置を提供するものである。
シュートレールと複数の下部シュートレールとの間に、
該複数の下部シュートレールの端部上を制御移動される
中継分類レールを配置し、この中継分類レールの動作に
より前記上部シュート列に沿って一列で送給されて来る
半導体装置を複数の下部シュートレールに分けて移送す
る装置において、前記中継分類レールの継ぎ目で半導体
装置の引掛りを生じた場合にも、自動的にこの引掛りを
正して半導体装置を移送することができる半導体装置の
移送装置を提供するものである。
本発明による半導体装置の移送装置は、重力により落下
する半導体装置を案内するように配設された一本の上部
シュートレールと、該上部シュートレールの下流側で並
列に配設された複数の下部シュートレールと、該下部シ
ュートレールおよび前記上部シュートレールの間に配設
され、下部シュートレールの上端部上を横切って移動で
きるように設けられた中継分類レールと、前記上部シュ
ートレールから送給球されて来た半導体装置を中継レー
ルの所定位置に係止するためのストッパーと、該ストッ
パーに半導体装置が係止された状態で前記中継分類レー
ルを前記何れかの下部シュートレール上端上に制御移動
させる駆動装置とを具備し、前記中継分類レールが所定
の下部シュートレール上に移動したときに前記ストッパ
ーを解除し、係止されていた半導体装置を中継分類レー
ルから下部シュートレールへシュートするように構成さ
れた半導体装置の移送装置において、半導体装置が中継
分類レールと上部および下部シュートレールとの間の継
ぎ目を通過したことを検知するセンサーを設けると共
に、所定時間内に該センサーが半導体装置の通過を検知
しないときには前記駆動装置が前記中継分類レールと正
逆方向に微小動作させるようにしたことを特徴とするも
のである。
する半導体装置を案内するように配設された一本の上部
シュートレールと、該上部シュートレールの下流側で並
列に配設された複数の下部シュートレールと、該下部シ
ュートレールおよび前記上部シュートレールの間に配設
され、下部シュートレールの上端部上を横切って移動で
きるように設けられた中継分類レールと、前記上部シュ
ートレールから送給球されて来た半導体装置を中継レー
ルの所定位置に係止するためのストッパーと、該ストッ
パーに半導体装置が係止された状態で前記中継分類レー
ルを前記何れかの下部シュートレール上端上に制御移動
させる駆動装置とを具備し、前記中継分類レールが所定
の下部シュートレール上に移動したときに前記ストッパ
ーを解除し、係止されていた半導体装置を中継分類レー
ルから下部シュートレールへシュートするように構成さ
れた半導体装置の移送装置において、半導体装置が中継
分類レールと上部および下部シュートレールとの間の継
ぎ目を通過したことを検知するセンサーを設けると共
に、所定時間内に該センサーが半導体装置の通過を検知
しないときには前記駆動装置が前記中継分類レールと正
逆方向に微小動作させるようにしたことを特徴とするも
のである。
上記本発明において、前記センサーが所定時間を経過し
ても半導体装置の通過を検知しない場合には、半導体装
置が中継分類レールの継ぎ目で引掛りを生じていること
を示している。このとき、中継分類レールを微小動作さ
せれば引掛りを正し、半導体装置を次段へシュートする
ことができる。この微小動作は、中継分類レールを制御
移動させる前記駆動装置によって行われる。
ても半導体装置の通過を検知しない場合には、半導体装
置が中継分類レールの継ぎ目で引掛りを生じていること
を示している。このとき、中継分類レールを微小動作さ
せれば引掛りを正し、半導体装置を次段へシュートする
ことができる。この微小動作は、中継分類レールを制御
移動させる前記駆動装置によって行われる。
第２図は本発明の一実施例になる移送装置の斜視図であ
る。
る。
図示のように、この実施例では中継分類レール１２の上
端部分を半導体装置１が通過したことを検知するための
光電センサー２１，２１′と、下部シュートレール１３
１〜１３３の上端部を半導体装置が通過したことを検知
するための光電センサー２２，２２′が設けられてい
る。これらの光電センサーはモーター制御回路１６に接
続されている。そして、モーター制御回路１６には予め
設定された所定の時間間隔を過ぎても光電センサー２
１，２１′，２２，２２′が半導体装置の通過を検知し
ないときには、駆動モータ１５に対して中継分類レール
１２を正逆方向に微小動作させる信号を発生するように
なっている。その他の構成は第１図で説明した従来の装
置と同様であり、同一部分には同じ参照番号を付してあ
る。
端部分を半導体装置１が通過したことを検知するための
光電センサー２１，２１′と、下部シュートレール１３
１〜１３３の上端部を半導体装置が通過したことを検知
するための光電センサー２２，２２′が設けられてい
る。これらの光電センサーはモーター制御回路１６に接
続されている。そして、モーター制御回路１６には予め
設定された所定の時間間隔を過ぎても光電センサー２
１，２１′，２２，２２′が半導体装置の通過を検知し
ないときには、駆動モータ１５に対して中継分類レール
１２を正逆方向に微小動作させる信号を発生するように
なっている。その他の構成は第１図で説明した従来の装
置と同様であり、同一部分には同じ参照番号を付してあ
る。
上記実施例の移送装置により半導体装置１を移送する
際、光電センサー２１，２１′および２２，２２′が夫
々所定の間隔で半導体装置１の通過を検知している間
は、半導体装置１は中継分類レール１２の上下端部継目
において引掛りを生じていないことになる。従って、こ
のときには第１図で説明したようにして半導体装置の移
送が行なわれる。一方、光電センサー２１，２１′また
は２２，２２′の何かが、所定の時間間隔内に半導体装
置の通過を検知しないときには、半導体装置１が中継分
類レール１２の継ぎ目で引掛りを生じていることにな
る。このときには、モーター制御回路１６が引掛りを判
断し、モータ１５に引掛り解除動作を指示する。即ち、
モータ１５は駆動ベルト１４を介して中継分類レール１
２を正逆方向に微小動作させることにより、引掛りを生
じている半導体装置１をレール１２または１３１〜１３
３に沿って落下させる。
際、光電センサー２１，２１′および２２，２２′が夫
々所定の間隔で半導体装置１の通過を検知している間
は、半導体装置１は中継分類レール１２の上下端部継目
において引掛りを生じていないことになる。従って、こ
のときには第１図で説明したようにして半導体装置の移
送が行なわれる。一方、光電センサー２１，２１′また
は２２，２２′の何かが、所定の時間間隔内に半導体装
置の通過を検知しないときには、半導体装置１が中継分
類レール１２の継ぎ目で引掛りを生じていることにな
る。このときには、モーター制御回路１６が引掛りを判
断し、モータ１５に引掛り解除動作を指示する。即ち、
モータ１５は駆動ベルト１４を介して中継分類レール１
２を正逆方向に微小動作させることにより、引掛りを生
じている半導体装置１をレール１２または１３１〜１３
３に沿って落下させる。
こうして、上記実施例の移送装置によれば、例え半導体
装置１が中継分類レール１２の継ぎ目で引掛りを生じた
としも、自動的にこれを検出して引掛りを正すことがで
きる。
装置１が中継分類レール１２の継ぎ目で引掛りを生じた
としも、自動的にこれを検出して引掛りを正すことがで
きる。
従って、従来の移送装置の場合のように一度引掛りが発
生すると長期間に亘って関連する種種の装置全体が停止
してしまい、稼動率が著しく低下するような事態を防止
することができる。
生すると長期間に亘って関連する種種の装置全体が停止
してしまい、稼動率が著しく低下するような事態を防止
することができる。
なお、本発明による半導体装置の移送装置は、自動測定
器での特性チェック結果に応じてこれを分類する用途に
限らず、一列で送給されて来る半導体装置を複数例で移
送する必要のある総ての場合に使用し得るものである。
器での特性チェック結果に応じてこれを分類する用途に
限らず、一列で送給されて来る半導体装置を複数例で移
送する必要のある総ての場合に使用し得るものである。
以上詳述したように、本発明による半導体装置の移送装
置では、上部シュートレールに沿って一列で送給されて
来た半導体装置を中継分類レールの動作により複数の下
部シュートレールに分けて移送する際、中継分類レール
の継ぎ目で半導体装置の引掛りを生じた場合にも自動的
にこの引掛りを修復し、装置が長時間停止するのを防止
できる等、顕著な効果が得られるものである。
置では、上部シュートレールに沿って一列で送給されて
来た半導体装置を中継分類レールの動作により複数の下
部シュートレールに分けて移送する際、中継分類レール
の継ぎ目で半導体装置の引掛りを生じた場合にも自動的
にこの引掛りを修復し、装置が長時間停止するのを防止
できる等、顕著な効果が得られるものである。
第１図は従来用いられている半導体装置の移送装置を示
す斜視図、第２図は本発明の一実施例になる半導体装置
の移送装置を示す斜視図である。 １１……上部シュートレール、１２……中継分類レー
ル、１３１〜１３３……下部シュートレール、１１′，
１２′，１３１′，１３３′……押えレール、１４……
駆動ベルト、１５……駆動モータ、１６……モータ制御
回路、１７……ストッパー、２１，２１′，２２，２
２′……光電センサー。
す斜視図、第２図は本発明の一実施例になる半導体装置
の移送装置を示す斜視図である。 １１……上部シュートレール、１２……中継分類レー
ル、１３１〜１３３……下部シュートレール、１１′，
１２′，１３１′，１３３′……押えレール、１４……
駆動ベルト、１５……駆動モータ、１６……モータ制御
回路、１７……ストッパー、２１，２１′，２２，２
２′……光電センサー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 47/64 8010−3Ｆ
Claims (1)
- 【請求項１】重力により落下する半導体装置を案内する
ように配設された一本の上部シュートレールと、該上部
シュートレールの下流側で並列に配設された複数の下部
シュートレールと、該下部シュートレールおよび前記上
部シュートレールの間に配設され、下部シュートレール
の上端部上を横切って移動できるように設けられた中継
分類レールと、前記上部シュートレールから送給されて
来た半導体装置の中継分類レールの所定位置に係止する
ためのストッパーと、該ストッパーに半導体装置が係止
された状態で前記中継分類レールを前記何れかの下部シ
ュートレール上端部上に制御移動させる駆動装置とを具
備し、前記中継分類レールが所定の下部シュートレール
上に移動したときに前記ストッパーを解除し、係止され
ていた半導体装置を中継分類レールから下部シュートレ
ールへシュートするように構成された半導体装置の移送
装置において、半導体装置が中継分類レールと上部およ
び下部シュートレールとの間の継ぎ目を通過したことを
検知するセンサーを設けると共に、所定時間内に該セン
サーが半導体装置の通過を検知しないときには、前記駆
動装置が前記中継分類レールを正逆方向に微小動作させ
るようにしたことを特徴とする半導体装置の移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150974A JPH0610046B2 (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体装置の移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58150974A JPH0610046B2 (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体装置の移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6044409A JPS6044409A (ja) | 1985-03-09 |
| JPH0610046B2 true JPH0610046B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=15508511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58150974A Expired - Lifetime JPH0610046B2 (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体装置の移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610046B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0632428B2 (ja) * | 1984-09-10 | 1994-04-27 | シチズン時計株式会社 | 電子部品の搬送装置 |
| JPS61267604A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-11-27 | ミクロ コンポ−ネント テクノロジ−，インコ−ポレイテイド | 集積回路装置搬送用シヤトル |
| JPS6279109A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-11 | Sanwa Electron Kk | Ｉｃ等チツプ類の振分機構 |
| JPH0423847Y2 (ja) * | 1989-05-17 | 1992-06-04 | ||
| JP7047449B2 (ja) * | 2018-02-19 | 2022-04-05 | 日本電気株式会社 | 搬送装置、搬送方法及び搬送制御プログラム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58117403U (ja) * | 1982-02-04 | 1983-08-10 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | シユ−ト装置 |
-
1983
- 1983-08-19 JP JP58150974A patent/JPH0610046B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6044409A (ja) | 1985-03-09 |
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