JPH0745453Y2 - ダブルシャトルによるic収容機構 - Google Patents
ダブルシャトルによるic収容機構Info
- Publication number
- JPH0745453Y2 JPH0745453Y2 JP1989038171U JP3817189U JPH0745453Y2 JP H0745453 Y2 JPH0745453 Y2 JP H0745453Y2 JP 1989038171 U JP1989038171 U JP 1989038171U JP 3817189 U JP3817189 U JP 3817189U JP H0745453 Y2 JPH0745453 Y2 JP H0745453Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defective product
- defective
- storage unit
- product storage
- shuttle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この考案は、ICテスタで測定が終了したICを良品収容部
または不良品収容部に収容する場合、シャトルによる待
ち時間をなくすようにしたダブルシャトルによるIC収容
機構についてのものである。
または不良品収容部に収容する場合、シャトルによる待
ち時間をなくすようにしたダブルシャトルによるIC収容
機構についてのものである。
[従来の技術] シャトルによるIC収容機構とは、オートハンドラの試験
部で試験が終了したICを、テスト結果に応じて良品と不
良品に分けて収容するための搬送機構のことである。
部で試験が終了したICを、テスト結果に応じて良品と不
良品に分けて収容するための搬送機構のことである。
次に、第9図を参照して従来技術のシャトルによるIC収
容機構を説明する。第9図の1Aはシャトル、2Aと2Bは搬
送路、3Aと3Bは不良品収容部、4Aと4Bは良品収容部であ
る。
容機構を説明する。第9図の1Aはシャトル、2Aと2Bは搬
送路、3Aと3Bは不良品収容部、4Aと4Bは良品収容部であ
る。
不良品収容部3A・3Bは搬送路2A・2Bの下に配置され、良
品収容部4A・4Bは不良品収容部3Aの端部に連結される。
品収容部4A・4Bは不良品収容部3Aの端部に連結される。
第9図では、測定ずみのICは、搬送路2A・2Bからシャト
ル1Aに入れられる。シャトル1Aは、図示を省略したCPU
の指示を受け、ICの不良品はそのまま不良品収容部3A・
3Bに収容し、ICの良品はシャトル1Aを移動して良品収容
部4A・4Bに収容する。
ル1Aに入れられる。シャトル1Aは、図示を省略したCPU
の指示を受け、ICの不良品はそのまま不良品収容部3A・
3Bに収容し、ICの良品はシャトル1Aを移動して良品収容
部4A・4Bに収容する。
第9図は搬送路2A・2Bが2つあり、ICを2個同時に測定
できるオートハンドラのシャトル機構を例示したもので
ある。
できるオートハンドラのシャトル機構を例示したもので
ある。
次に、第10図を参照してシャトル1Aと搬送路2Aの部分拡
大図を説明する。第10図の11はストッパ、12はシリン
ダ、13はレール、14はIC、21はレールである。
大図を説明する。第10図の11はストッパ、12はシリン
ダ、13はレール、14はIC、21はレールである。
搬送路2Aとシャトル1Aは傾斜して配置され、搬送路2Aに
設けたレール21とシャトル1Aに設けたレール13とは連結
される構造になっている。
設けたレール21とシャトル1Aに設けたレール13とは連結
される構造になっている。
レール13の端部には、ストッパ11が設けられており、シ
リンダ12を駆動させると、ストッパ11がレール13上に出
たり、レール13上から引込んだりする。
リンダ12を駆動させると、ストッパ11がレール13上に出
たり、レール13上から引込んだりする。
テストが終わったIC14は搬送路2Aのレール21を落下し、
レール21に連結されたシャトル1Aのレール13を落下す
る。
レール21に連結されたシャトル1Aのレール13を落下す
る。
そして、IC14が不良品の場合は、ストッパ11を引込め
て、IC14を搬送路2A・2Bの下に配置した不良品収容部3A
・3Bに入れる。
て、IC14を搬送路2A・2Bの下に配置した不良品収容部3A
・3Bに入れる。
IC14が良品の場合は、シリンダ12を駆動してストッパ11
をレール13の上に出し、IC14をストッパ11で停止する。
をレール13の上に出し、IC14をストッパ11で停止する。
IC14がストッパ11で停止すると、シャトル1Aは第9図の
横方向に移動し、CPUで指令された良品収容部4A・4BにI
C14を入れる。
横方向に移動し、CPUで指令された良品収容部4A・4BにI
C14を入れる。
[考案が解決しようとする課題] しかし、シャトル1Aの移動時間に対して、IC14の試験時
間が短い場合、測定ずみのIC14が次々に搬送路2A・2Bに
落下してきても、シャトル1Aの移動時間に時間がかかる
と、IC14を収容部に収容するのに時間がかかるという問
題がある。
間が短い場合、測定ずみのIC14が次々に搬送路2A・2Bに
落下してきても、シャトル1Aの移動時間に時間がかかる
と、IC14を収容部に収容するのに時間がかかるという問
題がある。
例えば、シャトル1Aの移動時間が往復で1秒、試験時間
が1秒かかるとすれば、IC14は待ち時間なしで収容部に
収容される。
が1秒かかるとすれば、IC14は待ち時間なしで収容部に
収容される。
しかし、試験時間が1秒より短い場合は、その短い分だ
け収容待ちの時間が必要になる。
け収容待ちの時間が必要になる。
この考案は、第9図の従来機構にシャトルと収容部を追
加し、測定時間の短いICに対しても、待ち時間なしで収
容部にICを収容することができるIC収容機構の提供を目
的とする。
加し、測定時間の短いICに対しても、待ち時間なしで収
容部にICを収容することができるIC収容機構の提供を目
的とする。
[課題を解決するための手段] この目的を達成するため、この考案は、測定ずみのIC14
が次々に落下する搬送路2Aと、測定ずみのIC14が次々に
落下し、搬送路2Aと並列に配置される搬送路2Bと、搬送
路2Aの延長下に配置され、搬送路2Aの不良品判定のIC14
が落下する不良品収容部3Aと、搬送路2Bの延長下に配置
され、搬送路2Bの不良品判定のIC14が落下する不良品収
容部3Bと、不良品収容部3A・3Bの端部に不良品収容部3A
・3Bと並列に不良品収容部3Aと不良品収容部3Bと同じ間
隔で配置され、良品判定のIC14を収容する良品収容部4A
・4Bと、不良品収容部3A・3Bの端部に不良品収容部3A・
3Bと並列に不良品収容部3Aと不良品収容部3Bと同じ間隔
で配置され、良品判定のIC14を収容する良品収容部5A・
5Bと、搬送路2AのIC14と搬送路2BのIC14を受け取り、ど
ちらか一方または両方のIC14が不良品判定の場合は、移
動することなくそのまま不良品収容部3Aあるいは不良品
収容部3Bに収容させ、搬送路2AのIC14または搬送路2Bの
IC14が良品判定の場合は、移動して前記良品判定のIC14
を良品収容部4Aと良品収容部4Bの一方あるいは両方に収
容させるシャトル1Aと、搬送路2AのIC14と搬送路2BのIC
14を受け取り、どちらか一方または両方のIC14が不良品
判定の場合は、移動することなくそのまま不良品収容部
3Aあるいは不良品収容部3Bに収容させ、搬送路2AのIC14
または搬送路2BのIC14が良品判定の場合は、移動して前
記良品判定のIC14を良品収容部5Aと良品収容部5Bの一方
あるいは両方に収容させるシャトル1Bとを備え、シャト
ル1Aが良品収容部4A・4Bに移動したときはシャトル1Bが
搬送路2A・2B下に移動し、シャトル1Bが良品収容部5A・
5Bに移動したときはシャトル1Aが搬送路2A・2B下に移動
する。
が次々に落下する搬送路2Aと、測定ずみのIC14が次々に
落下し、搬送路2Aと並列に配置される搬送路2Bと、搬送
路2Aの延長下に配置され、搬送路2Aの不良品判定のIC14
が落下する不良品収容部3Aと、搬送路2Bの延長下に配置
され、搬送路2Bの不良品判定のIC14が落下する不良品収
容部3Bと、不良品収容部3A・3Bの端部に不良品収容部3A
・3Bと並列に不良品収容部3Aと不良品収容部3Bと同じ間
隔で配置され、良品判定のIC14を収容する良品収容部4A
・4Bと、不良品収容部3A・3Bの端部に不良品収容部3A・
3Bと並列に不良品収容部3Aと不良品収容部3Bと同じ間隔
で配置され、良品判定のIC14を収容する良品収容部5A・
5Bと、搬送路2AのIC14と搬送路2BのIC14を受け取り、ど
ちらか一方または両方のIC14が不良品判定の場合は、移
動することなくそのまま不良品収容部3Aあるいは不良品
収容部3Bに収容させ、搬送路2AのIC14または搬送路2Bの
IC14が良品判定の場合は、移動して前記良品判定のIC14
を良品収容部4Aと良品収容部4Bの一方あるいは両方に収
容させるシャトル1Aと、搬送路2AのIC14と搬送路2BのIC
14を受け取り、どちらか一方または両方のIC14が不良品
判定の場合は、移動することなくそのまま不良品収容部
3Aあるいは不良品収容部3Bに収容させ、搬送路2AのIC14
または搬送路2BのIC14が良品判定の場合は、移動して前
記良品判定のIC14を良品収容部5Aと良品収容部5Bの一方
あるいは両方に収容させるシャトル1Bとを備え、シャト
ル1Aが良品収容部4A・4Bに移動したときはシャトル1Bが
搬送路2A・2B下に移動し、シャトル1Bが良品収容部5A・
5Bに移動したときはシャトル1Aが搬送路2A・2B下に移動
する。
[作用] 前述の構成によれば、ICを収容部に搬送するシャトルを
2つにし、一方のシャトルがICを搬送している間に、も
う一方のシャトルがICを受け取りにいくようにして、た
えずシャトルを交互に動作させるようにしたので、測定
ずみのICを待ち時間なしで収容部に収容することができ
る。
2つにし、一方のシャトルがICを搬送している間に、も
う一方のシャトルがICを受け取りにいくようにして、た
えずシャトルを交互に動作させるようにしたので、測定
ずみのICを待ち時間なしで収容部に収容することができ
る。
[実施例] 次に、この考案の実施例の構成図を第1図に示す。第1
図の1Bはシャトル、5Aと5Bは良品収容部であり、その他
の部分は第9図と同じである。すなわち、第1図は第9
図に対しシャトル1Bと良品収容部5A・5Bを追加したもの
である。良品収容部5Aは不良品収容部3Bの端部に連結さ
れる。
図の1Bはシャトル、5Aと5Bは良品収容部であり、その他
の部分は第9図と同じである。すなわち、第1図は第9
図に対しシャトル1Bと良品収容部5A・5Bを追加したもの
である。良品収容部5Aは不良品収容部3Bの端部に連結さ
れる。
次に、第2図を参照して、第1図の動作を説明する。第
2図は、シャトル1A・1Bの駆動機構の部分拡大説明図で
ある。第2図の6Aと6Bはベルト、7Aと7Bはモータ、8は
ガイドレールである。
2図は、シャトル1A・1Bの駆動機構の部分拡大説明図で
ある。第2図の6Aと6Bはベルト、7Aと7Bはモータ、8は
ガイドレールである。
モータ7Aが回転すると、ベルト6Aが移動し、モータ7Bが
回転すると、ベルト6Bが移動する。シャトル1Aはベルト
6Aに連結されており、シャトル1Bはベルト6Bに連結され
ている。
回転すると、ベルト6Bが移動する。シャトル1Aはベルト
6Aに連結されており、シャトル1Bはベルト6Bに連結され
ている。
したがって、モータ7Aの回転方向を制御すると、シャト
ル1Aはガイドレール8に沿って右方向または左方向に移
動する。
ル1Aはガイドレール8に沿って右方向または左方向に移
動する。
同じように、モータ7Bの回転方向を制御すると、シャト
ル1Bはガイドレール8に沿って右方向または左方向に移
動する。
ル1Bはガイドレール8に沿って右方向または左方向に移
動する。
次に、第3図から第5図を参照して、第1図のシャトル
1A・1Bの動作を説明する。第3図はシャトル1Aが搬送路
2A・2Bの下におり、シャトル1Bが良品収容部5A・5Bの位
置にいる状態図である。
1A・1Bの動作を説明する。第3図はシャトル1Aが搬送路
2A・2Bの下におり、シャトル1Bが良品収容部5A・5Bの位
置にいる状態図である。
第4図は、シャトル1Aが良品のICを良品収容部4A・4Bに
搬送するために移動し、シャトル1Bが搬送路2A・2Bの下
にきている状態図である。
搬送するために移動し、シャトル1Bが搬送路2A・2Bの下
にきている状態図である。
すなわち、シャトル1Aが搬送路2A・2Bの下にいるとき
は、シャトル1Bは良品収容部5A・5Bの位置におり、シャ
トル1Aが良品収容部4A・4Bの位置に移動すると、シャト
ル1Bは搬送路2A・2Bの下にくる。
は、シャトル1Bは良品収容部5A・5Bの位置におり、シャ
トル1Aが良品収容部4A・4Bの位置に移動すると、シャト
ル1Bは搬送路2A・2Bの下にくる。
第5図は第3図と同じ状態であるが、第4図の状態でシ
ャトル1Bが良品のICを受け取り、良品収容部5A・5Bに移
動した状態を示す。このとき、シャトル1Aは搬送路2A・
2Bの下に移動させられる。
ャトル1Bが良品のICを受け取り、良品収容部5A・5Bに移
動した状態を示す。このとき、シャトル1Aは搬送路2A・
2Bの下に移動させられる。
いいかえると、測定ずみのIC14は、搬送路2A・2Bからシ
ャトル1Aに入り、不良品の場合にはそのまま不良品収容
部3A・3Bに収容され、良品の場合には良品収容部4A・4B
にシャトル1Aを移動させる。
ャトル1Aに入り、不良品の場合にはそのまま不良品収容
部3A・3Bに収容され、良品の場合には良品収容部4A・4B
にシャトル1Aを移動させる。
シャトル1Aが移動したら、搬送路2A・2Bのところにはシ
ャトル1Bを移動し、次の測定ずみのIC14をシャトル1Bに
入れ、不良品の場合にはそのまま不良品収容部3A・3Bに
収容し、良品の場合には良品収容部5A・5Bに収容する。
ャトル1Bを移動し、次の測定ずみのIC14をシャトル1Bに
入れ、不良品の場合にはそのまま不良品収容部3A・3Bに
収容し、良品の場合には良品収容部5A・5Bに収容する。
次に、第1図と第9図の場合の時間関係を第6図により
説明する。
説明する。
第6図アは第9図の場合の時間関係を示し、第6図イは
第1図の場合の時間関係を示す。
第1図の場合の時間関係を示す。
横軸は時間であり、斜線部分はシャトル1A・1Bの移動時
間である。
間である。
第6図アと第6図イから明らかなように、第6図アでは
3個のICを処理する間に、第6図イでは4個のICを処理
している。
3個のICを処理する間に、第6図イでは4個のICを処理
している。
次に、シャトル1Aを制御するフローチャートを第7図に
示し、シャトル1Bを制御するフローチャートを第8図に
示す。
示し、シャトル1Bを制御するフローチャートを第8図に
示す。
第1図から第8図に示したように、この考案によれば、
例えば、シャトル1A・1Bの移動時間が往復で1秒かかっ
ている状態で、試験時間が0.5秒に短縮されても、待ち
時間なしに、ICを収容部に収容することができる。
例えば、シャトル1A・1Bの移動時間が往復で1秒かかっ
ている状態で、試験時間が0.5秒に短縮されても、待ち
時間なしに、ICを収容部に収容することができる。
[考案の効果] この考案によれば、ICを収容部に搬送するシャトルを2
つにし、一方のシャトルがICを搬送している間に、もう
一方のシャトルがICを受け取りにいくようにして、たえ
ずシャトルを交互に移動させるようにしたので、測定ず
みのICを待ち時間なしで収容部に収容することができ
る。
つにし、一方のシャトルがICを搬送している間に、もう
一方のシャトルがICを受け取りにいくようにして、たえ
ずシャトルを交互に移動させるようにしたので、測定ず
みのICを待ち時間なしで収容部に収容することができ
る。
第1図はこの考案による実施例の構成図、第2図は第1
図のシャトル1A・1Bの駆動機構の部分拡大説明図、第3
図から第5図は第1図のシャトル1A・1Bの動作説明図、
第6図は第1図と第9図の時間関係説明図、第7図はシ
ャトル1Aの制御用フローチャート、第8図はシャトル1B
の制御用フローチャート、第9図は従来技術によるシャ
トル機構の構成図、第10図は第9図のシャトル1Aと搬送
路2Aの部分拡大図である。 1A・1B……シャトル、2A・2B……搬送路、3A・3B……不
良品収容部、4A・4B……良品収容部、5A・5B……良品収
容部、6A・6B……ベルト、7A・7B……モータ、8……ガ
イドレール。
図のシャトル1A・1Bの駆動機構の部分拡大説明図、第3
図から第5図は第1図のシャトル1A・1Bの動作説明図、
第6図は第1図と第9図の時間関係説明図、第7図はシ
ャトル1Aの制御用フローチャート、第8図はシャトル1B
の制御用フローチャート、第9図は従来技術によるシャ
トル機構の構成図、第10図は第9図のシャトル1Aと搬送
路2Aの部分拡大図である。 1A・1B……シャトル、2A・2B……搬送路、3A・3B……不
良品収容部、4A・4B……良品収容部、5A・5B……良品収
容部、6A・6B……ベルト、7A・7B……モータ、8……ガ
イドレール。
Claims (1)
- 【請求項1】測定ずみのIC(14)が次々に落下する第1
の搬送路(2A)と、 測定ずみのIC(14)が次々に落下し、第1の搬送路(2
A)と並列に配置される第2の搬送路(2B)と、 第1の搬送路(2A)の延長下に配置され、第1の搬送路
(2A)の不良品判定のIC(14)が落下する第1の不良品
収容部(3A)と、 第2の搬送路(2B)の延長下に配置され、第2の搬送路
(2B)の不良品判定のIC(14)が落下する第2の不良品
収容部(3B)と、 不良品収容部(3A)・(3B)の第1の端部に不良品収容
部(3A)・(3B)と並列に第1の不良品収容部(3A)と
第2の不良品収容部(3B)と同じ間隔で配置され、良品
判定のIC(14)を収容する第1と第2の良品収容部(4
A)・(4B)と、 不良品収容部(3A)・(3B)の第2の端部に不良品収容
部(3A)・(3B)と並列に第1の不良品収容部(3A)と
第2の不良品収容部(3B)と同じ間隔で配置され、良品
判定のIC(14)を収容する第3と第4の良品収容部(5
A)・(5B)と、 第1の搬送路(2A)のIC(14)と第2の搬送路(2B)の
IC(14)を受け取り、どちらか一方または両方のIC(1
4)が不良品判定の場合は、移動することなくそのまま
第1の不良品収容部(3A)あるいは第2の不良品収容部
(3B)に収容させ、第1の搬送路(2A)のIC(14)また
は第2の搬送路(2B)のIC(14)が良品判定の場合は、
移動して前記良品判定のIC(14)を第1の良品収容部
(4A)と第2の良品収容部(4B)の一方あるいは両方に
収容させる第1のシャトル(1A)と、 第1の搬送路(2A)のIC(14)と第2の搬送路(2B)の
IC(14)を受け取り、どちらか一方または両方のIC(1
4)が不良品判定の場合は、移動することなくそのまま
第1の不良品収容部(3A)あるいは第2の不良品収容部
(3B)に収容させ、第1の搬送路(2A)のIC(14)また
は第2の搬送路(2B)のIC(14)が良品判定の場合は、
移動して前記良品判定のIC(14)を第3の良品収容部
(5A)と第4の良品収容部(5B)の一方あるいは両方に
収容させる第2のシャトル(1B)とを備え、 第1のシャトル(1A)が第1と第2の良品収容部(4A)
・(4B)に移動したときは第2のシャトル(1B)が搬送
路(2A)・(2B)下に移動し、第2のシャトル(1B)が
第3と第4の良品収容部(5A)・(5B)に移動したとき
は第1のシャトル(1A)が搬送路(2A)・(2B)下に移
動することを特徴とするダブルシャトルによるIC収容機
構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989038171U JPH0745453Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | ダブルシャトルによるic収容機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989038171U JPH0745453Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | ダブルシャトルによるic収容機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02129330U JPH02129330U (ja) | 1990-10-25 |
JPH0745453Y2 true JPH0745453Y2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=31545935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989038171U Expired - Lifetime JPH0745453Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | ダブルシャトルによるic収容機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0745453Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022530896A (ja) * | 2019-06-28 | 2022-07-04 | ベイジン・ジンドン・チアンシ・テクノロジー・カンパニー・リミテッド | 仕分け装置および仕分け方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4951480B2 (ja) * | 2007-12-06 | 2012-06-13 | 株式会社テセック | オートハンドラ |
CN108971029B (zh) * | 2018-08-31 | 2024-05-24 | 深圳市三五五装备技术有限公司 | 一种smd/dip元件的全自动检测及分拣收料装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4911820U (ja) * | 1972-05-04 | 1974-01-31 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP1989038171U patent/JPH0745453Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022530896A (ja) * | 2019-06-28 | 2022-07-04 | ベイジン・ジンドン・チアンシ・テクノロジー・カンパニー・リミテッド | 仕分け装置および仕分け方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02129330U (ja) | 1990-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11391750B2 (en) | Automatic analyzer and sample-processing system | |
CN105396801B (zh) | 一种金属应变计自动检测、裁切、分选、包装系统 | |
US4853776A (en) | Fabric inspecting method and appartus for detecting flaws | |
JPH0745453Y2 (ja) | ダブルシャトルによるic収容機構 | |
KR20000038533A (ko) | 모듈외관검사설비 | |
KR100705645B1 (ko) | 반도체 소자 분류 방법 | |
JPH09211005A (ja) | 検査用検体自動搬送システム | |
JPH0244033B2 (ja) | ||
JPH0897264A (ja) | 試料検査装置における試料搬送方法及び試料搬送装置 | |
EP0096065A1 (en) | APPARATUS FOR TRANSPORTING SAMPLES. | |
JPH02141606A (ja) | 半導体装置の外観検査装置 | |
US6311886B1 (en) | Position and direction sensing system for an inspection and handling system | |
US5040660A (en) | Cop sorting and transporting system | |
CN207487972U (zh) | 一种混合型轴承振动检测机 | |
JP2725141B2 (ja) | 物品の仕分装置 | |
JPS60154834U (ja) | 検体架台の供給装置 | |
JP3316075B2 (ja) | Ic試験装置用オートハンドラ | |
JP2598713B2 (ja) | 卵の選別包装装置 | |
JPH0266474A (ja) | 半導体素子の検査方法 | |
KR100189180B1 (ko) | Ic 테스터용 분리형 핸들러 시스템 | |
JP3259497B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH053498Y2 (ja) | ||
JPH0222837A (ja) | ウエハプロービング装置 | |
JPH08330381A (ja) | 製造装置 | |
JPH0682566U (ja) | ワーク移送装置 |