JPH08330381A - 製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】簡略な機構で位置ずれやジャムを防止可能な搬
送機構を備えた製造装置を提供すること。 【構成】搬送部５の搬送機構は、半導体装置を載置する
上面が半導体装置の搬送方向に傾斜している複数の固定
シュート１１と、上面が半導体装置の搬送方向に傾斜し
ており、一定間隔をおいて配列した上下動可能な複数の
上下動シュート１４とを具備し、上下動シュート１４と
固定シュート１１とは搬送方向に交互に配列し、上下動
シュート１４の上下動範囲で、上下動シュート１４の上
面が前方の固定シュート１１の上面と連続する位置と、
上下動シュート１４の上面が後方の固定シュート１１の
上面と連続する位置とを有するように構成している。 【効果】半導体装置は上下動シュートの上面と固定シュ
ートの上面とが連続した際に前方へ自重で滑りながら移
動するので、上下動を繰り返すことにより、半導体装置
を順次個別に搬送させることができる。従って、簡略な
機構で位置ずれやジャムを防止可能な搬送機構を得るこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、個別搬送機構を有する
製造装置を用いる分野に関するものであり、特に半導体
装置製造分野において、パッケージングされた半導体装
置の搬送機構を有するハンドラやマーキング装置等に利
用して有効なものである。

【０００２】

【従来の技術】パッケージングされた半導体装置、ある
いはマガジンを搬送する機構を有する半導体製造装置、
たとえば半導体装置の電気的特性を測定し、良品、不良
品を分別するハンドラや、半導体パッケージにマーキン
グするマーキング装置等では、その搬送機構は、搬送物
体の自重落下を利用した機構が多く用いられている。自
重落下機構は、搬送する部品自体の自重による落下搬送
を利用しているため、その機構自体はシンプルである。

【０００３】図５に従来のハンドラの全体概要を示す。
ハンドラ１９は、主に、マガジン２１から半導体装置を
取り出して装置内に供給する供給部２０と、装置のコン
トロールを行う制御部２２、測定部２４、分類・収納部
２５等から構成され、装置に投入される半導体装置の各
部間の搬送路は、半導体装置が自重で移動できるように
傾斜あるいは垂直に形成されている。このようなハンド
ラの自重落下搬送において、個別分離機構が必ず必要と
なっている。

【０００４】また、水平搬送においては、搬送送り機構
が必要で、一般的には、送り爪を上下左右にサイクル動
作させる必要があり、ストロークタイミングを合わせる
ために、カム等の複雑な機構が設けられている。

【０００５】尚、自重落下方式のハンドラに関しては、
例えば、「超ＬＳＩ製造・試験装置ガイドブック １９
８８年版 電子材料別冊」（工業調査会発行）第２１６
頁乃至第２２３頁等に記載されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような自重落下による搬送方式では、個別分離部での製
品バリに起因するジャム、及びシュート間の位置ずれ等
によるジャムが多発する問題がある。

【０００７】シュートずれの問題に関しては、パッケー
ジの搬送方向を変える部分が多いため、シュートの方向
を変える機構が設けられており、過負荷等によりずれが
生じてしまう。

【０００８】一方、水平搬送方式では、ジャム等の不具
合は少ないものの、パッケージ搬送の全てに個別搬送機
構が必要となるため、装置が複雑かつ大きくなり、取り
扱い、メンテナンスに負担がかかる。

【０００９】そこで本発明の目的は、簡略な機構で位置
ずれやジャムを防止可能な搬送機構を備えた製造装置を
提供することを目的とする。

【００１０】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになる
であろう。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
のとおりである。すなわち、製造物を個別に分離しなが
ら搬送する搬送機構を備えた製造装置であって、搬送機
構は、製造物を載置する上面が半導体装置の搬送方向に
傾斜している複数の固定シュートと、上面が半導体装置
の搬送方向に傾斜しており、一定間隔をおいて配列した
上下動可能な複数の上下動シュートとを具備し、上下動
シュートと固定シュートとは搬送方向に交互に配列し、
上下動シュートの上下動範囲で、上下動シュートの上面
が前方の固定シュートの上面と連続する位置と、上下動
シュートの上面が後方の固定シュートの上面と連続する
位置とを有するように構成したことを特徴とするもので
ある。

【００１２】

【作用】上下動シュートの上下動範囲で、上下動シュー
トの上面が前方の固定シュートの上面と連続する位置
と、上下動シュートの上面が後方の固定シュートの上面
と連続する位置とを有するように構成することにより、
半導体装置は上下動シュートの上面と固定シュートの上
面とが連続した際に前方へ自重で滑りながら移動するの
で、上下動を繰り返すことにより、製造物を順次個別に
搬送させることができる。従って、簡略な機構で位置ず
れやジャムを防止可能な搬送機構を得ることができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に従い説明す
る。

【００１４】図１は、本発明の搬送機構を設けた水平搬
送式のハンドラの概略を示す図である。ハンドラ１は、
各種テスタと連動して半導体装置をテストし、良品・不
良品を自動的に選別するものであり、主に、マガジン３
から半導体装置を取り出し、ハンドラ１内に投入する供
給部２と、搬送や測定のタイミングコントロール、温度
コントロール、診断、及び状態表示等を行う制御部４、
測定すべき半導体装置を搬送する搬送部、半導体装置の
電気的特性を測定する測定部６、良品・不良品を選別す
る分類部７、及び測定が完了した半導体装置を収納する
収納部から構成される。尚、測定部６は、テスタ１０の
テストヘッドと接続している。

【００１５】本発明では、搬送部５の個別搬送機構に、
半導体装置の自重を利用して水平方向に個別分離して搬
送する方式を用いている。図２に本発明の搬送機構の側
面図、図３に平面図を示す。搬送部５は、上面が搬送方
向に傾斜しており、第１の支持部材、すなわち固定され
た支持部材１２に一定間隔をおいて配列し固定されてい
る複数の固定シュート１１と、上面が半導体装置の搬送
方向に傾斜しており、支持部材１２の下方に設けられた
第２の支持部材、及び上下動を行う支持部材１５に一定
間隔をおいて配列し固定された複数の上下動シュート１
４とを具備している。固定シュート１１及び上下動シュ
ート１４の上面の大きさは、半導体装置を個別分離して
搬送するために、半導体装置のパッケージと同等かそれ
よりも若干広くしている。支持部材１２の各固定シュー
ト１１間には、図３に示すように貫通孔１２ａを設けて
おり、ここを上下動シュート１４を通すことにより、固
定シュート１１と交互に配列して、半導体装置の搬送路
を形成している。尚、シュート列の両側には、ガイド１
７を設け、半導体装置の位置ずれや落下を防止してい
る。支持部材１５の上下動は、駆動機構１６によって行
う。駆動機構１６の動作は、他の駆動機構と合わせて総
合的にハンドラ１の制御部４によってコントロールされ
ている。

【００１６】上下動シュート１４の上下動範囲には、上
下動シュート１４の上面が前方の固定シュート１１の上
面と連続する位置と、上下動シュート１４の上面が後方
の固定シュート１１の上面と連続する位置とを有するよ
うに構成している。これにより、半導体装置１８は上下
動シュート１４の上面と固定シュート１１の上面とが連
続した際に前方へ自重で滑りながら移動する。この点に
ついては、上下動シュート１４の上面と固定シュート１
１の上面とが連続する位置が上死点及び下死点となるよ
うに設定しても良い。

【００１７】次に、搬送部５の搬送機構を用いた半導体
装置の搬送方法について説明する。図４（ａ）乃至
（ｄ）は、半導体装置１８の搬送状態を示す図である。

【００１８】（ａ）まず、供給部２から供給された半導
体装置１８ａが、固定シュート１１ａの搬送方向に傾斜
した上面に載せられて滑り下りる。その時前方の上下動
シュート１４ａは上昇した状態、あるいは、下降する途
中の状態であり、半導体装置１８ａは上下動シュート１
４ａの側面に堰き止められて停止する。

【００１９】（ｂ）上下動シュート１４ａは、下降する
際に、その上面が後方の固定シュート１１ａの上面と連
続する。その時、固定シュート１１ａの上面で停止して
いた半導体装置１８ａは、その前方の上下動シュート１
４ａの上面へ自重で傾斜面を滑りながら移動し、固定シ
ュート１４ｂの側面に堰き止められて再び停止する。

【００２０】（ｃ）上下動シュート１４ａは、半導体装
置１８ａを載せたまま上死点まで上昇する。その時、既
に次の半導体装置は固定シュート１１ａに載置可能とな
っている。

【００２１】（ｄ）上下動シュート１４ａが上昇し、そ
の上面が前方の固定シュート１１ｂの上面と連続する。
その時、上下動シュート１４ａの上面で停止していた半
導体装置１８ａは、その前方の固定シュート１１ｂの上
面へ自重で傾斜面を滑りながら移動し、上下動シュート
１４ｂの側面に堰き止められて再び停止する。次の半導
体装置１８ｂは固定シュート１１ａに載せられ、その上
面を自重で滑りながら移動し、上下動シュート１４ａの
側面に堰き止められて停止する。

【００２２】このような動作を繰り返しながら、半導体
装置１８は測定部６へ次々に搬送され、測定部６におい
て電気的特性の測定を行った後、分類部７で良品・不良
品に選別されて収納部８で収納される。

【００２３】以下、本発明の作用効果について説明す
る。

【００２４】（１）上下動シュートの上下動範囲で、上
下動シュートの上面が前方の固定シュートの上面と連続
する位置と、上下動シュートの上面が後方の固定シュー
トの上面と連続する位置とを有するように構成すること
により、製造物は上下動シュートの上面と固定シュート
の上面とが連続した際に前方へ自重で滑りながら移動す
るので、上下動を繰り返すことにより、製造物を順次個
別に搬送させることができる。従って、簡略な機構で位
置ずれやジャムを防止可能な搬送機構を得ることができ
る。

【００２５】（２）固定シュートは、固定された第１の
支持部材によってその下部を支持され、上下動シュート
は、第１の支持部材の下方に設けられた第２の支持部材
によってその下部を支持されており、第２の支持部材に
は、上下動シュートを上下動させる駆動機構を接続した
ことにより、その駆動機構は上下動シュートを一元的に
動作させることができる。従って、駆動機構を極めて簡
略な機構とすることができる。

【００２６】（３）上下動シュートの上下動範囲を、上
下動シュートの上面が前方の固定シュートの上面と連続
する位置をその上下動の上死点とし、上下動シュートの
上面が後方の固定シュートの上面と連続する位置を下死
点と設定したことにより、上下動シュートの上面と固定
シュートの上面との段差を防止するので、製造物が移動
する際に、段差によって上下反転するのを防止すること
ができる。

【００２７】（４）上下動シュートの上下動範囲で、上
下動シュートの上面が前方の固定シュートの上面と連続
する位置と、上下動シュートの上面が後方の固定シュー
トの上面と連続する位置とを有するように構成した搬送
機構を半導体装置の電気的特性を測定し、良品、不良品
を分別するハンドラに設けることにより、半導体装置を
順次個別に搬送させることができる。従って、簡略な機
構で位置ずれやジャムを発生させることなく良品、不良
品を確実に分別することができる。

【００２８】以上、本発明者によって、なされた発明を
実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、上記実施例では、本発明の搬送機構をハンドラの供
給部から測定部までの搬送部に設けた例について説明し
たが、測定部から分類部まで、あるいは分類部から収納
部までの搬送機構として用いても良いことは勿論であ
る。また、ハンドラのみならず、半導体パッケージに製
品名等を表示するマーキング装置にも本発明の搬送機構
を用いても良い。

【００２９】さらに本発明は、半導体製造分野のみにか
かわらず、他の電子部品、精密機器部品、電機製品、薬
品、食品等、あらゆる製造分野において、個別に分離し
て搬送する機構を有する製造装置に用いて格別の効果を
奏するものである。

【００３０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。

【００３１】すなわち、製造物を載置する上面が製造物
の搬送方向に傾斜している複数の固定シュートと、上面
が製造物の搬送方向に傾斜しており、一定間隔をおいて
配列した上下動可能な複数の上下動シュートとを具備
し、上下動シュートと固定シュートとは搬送方向に交互
に配列し、上下動シュートの上下動範囲で、上下動シュ
ートの上面が前方の固定シュートの上面と連続する位置
と、上下動シュートの上面が後方の固定シュートの上面
と連続する位置とを有するように構成した個別搬送機構
を用いることにより、製造物は上下動シュートの上面と
固定シュートの上面とが連続した際に前方へ自重で滑り
ながら移動するので、上下動を繰り返すことにより、製
造物を順次個別に搬送させることができる。従って、簡
略な機構で位置ずれやジャムを防止可能な搬送機構を得
ることができるものである。

【００３２】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるハンドラの全体概略図
である。

【図２】本発明の一実施例であるハンドラに設けられた
搬送機構を示す側面図である。

【図３】本発明の搬送機構の平面図である。

【図４】（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の搬送機構を用い
た半導体装置の搬送状態を示す図である。

【図５】従来のハンドラの全体概略図である。

【符号の説明】

１……ハンドラ，２……供給部，３……マガジン，４…
…制御部，５……搬送部，６……測定部，７……分類
部，８……収納部，９……マガジン受け，１０……テス
タ，１１、１１ａ〜１１ｃ……固定シュート，１２……
支持部材，１３……固定材，１４、１４ａ、１４ｂ……
上下動シュート，１５……支持部材，１６……駆動機
構，１７……ガイド，１８ａ、１８ｂ……半導体装置，
１９……ハンドラ，２０……供給部，２１……マガジ
ン，２２……制御部，２３……マガジン受け，２４……
測定部，２５……分類・収納部，２６……テスタ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】製造物を個別に分離しながら搬送する搬送
   機構を備えた製造装置であって、前記搬送機構は、前記
   製造物を載置する上面が前記製造物の搬送方向に傾斜し
   ている複数の固定シュートと、上面が前記製造物の搬送
   方向に傾斜しており、一定間隔をおいて配列した上下動
   可能な複数の上下動シュートとを具備し、前記上下動シ
   ュートと前記固定シュートとは搬送方向に交互に配列
   し、前記上下動シュートの上下動範囲で、前記上下動シ
   ュートの上面が前方の固定シュートの上面と連続する位
   置と、前記上下動シュートの上面が後方の固定シュート
   の上面と連続する位置とを有するように構成したことを
   特徴とする製造装置。
2. 【請求項２】前記固定シュートは、固定された第１の支
   持部材によってその下部を支持され、前記上下動シュー
   トは、前記第１の支持部材の下方に設けられた第２の支
   持部材によってその下部を支持されており、該第２の支
   持部材には、前記上下動シュートを上下動させる駆動機
   構を接続したことを特徴とする請求項１記載の製造装
   置。
3. 【請求項３】前記上下動シュートの上下動範囲は、前記
   上下動シュートの上面が前方の固定シュートの上面と連
   続する位置をその上下動の上死点とし、前記上下動シュ
   ートの上面が後方の固定シュートの上面と連続する位置
   を下死点と設定したことを特徴とする請求項１又は２記
   載の製造装置。
4. 【請求項４】前記搬送機構は半導体装置の電気的特性を
   測定し、良品、不良品を分別するハンドラに設けられて
   いることを特徴とする請求項１又は２又は３記載の製造
   装置。