JPS6328242U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6328242U JPS6328242U JP12237686U JP12237686U JPS6328242U JP S6328242 U JPS6328242 U JP S6328242U JP 12237686 U JP12237686 U JP 12237686U JP 12237686 U JP12237686 U JP 12237686U JP S6328242 U JPS6328242 U JP S6328242U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- extraction electrode
- electrode system
- arc chamber
- rings
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す要部拡大図
である。第２図は従来のイオン源を用いた薄膜製
造装置を示す概略構成図、第３図は第２図の要部
拡大図である。 １：イオン源、２：アークチヤンバ、６：引き
出し電極系、６１：正電極、６２：負電極、２１
：フランジ、３０，３１：中空状のリング。
である。第２図は従来のイオン源を用いた薄膜製
造装置を示す概略構成図、第３図は第２図の要部
拡大図である。 １：イオン源、２：アークチヤンバ、６：引き
出し電極系、６１：正電極、６２：負電極、２１
：フランジ、３０，３１：中空状のリング。
Claims (1)
- アークチヤンバ内で電子衝突により中性ガスを
電離してプラズマを発生させ、このプラズマより
イオンをイオンビームとして引き出す引き出し電
極系からなるイオン源において、前記アークチヤ
ンバのフランジの内周端部と、これに対向する前
記引き出し電極系の正電極に、それぞれ中空状の
リングを固着するとともに、これらリング内に冷
却媒体を循環せしめてなることを特徴とするイオ
ン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12237686U JPS6328242U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12237686U JPS6328242U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6328242U true JPS6328242U (ja) | 1988-02-24 |
Family
ID=31012505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12237686U Pending JPS6328242U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6328242U (ja) |
-
1986
- 1986-08-08 JP JP12237686U patent/JPS6328242U/ja active Pending