JPS6269364U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6269364U JPS6269364U JP16157285U JP16157285U JPS6269364U JP S6269364 U JPS6269364 U JP S6269364U JP 16157285 U JP16157285 U JP 16157285U JP 16157285 U JP16157285 U JP 16157285U JP S6269364 U JPS6269364 U JP S6269364U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steam
- source
- pipe
- ions
- arc chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 5
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るイオン注入装
置の概略説明図、第２図は従来のイオン注入装置
の概略説明図である。 １……イオン源、２，２ａ，２ｂ……蒸気ソー
ス（オーブンアツセンブリ）、３……アークチヤ
ンバ、１３……ウエハ、１４……蒸気ソース（ボ
ンベ）。
置の概略説明図、第２図は従来のイオン注入装置
の概略説明図である。 １……イオン源、２，２ａ，２ｂ……蒸気ソー
ス（オーブンアツセンブリ）、３……アークチヤ
ンバ、１３……ウエハ、１４……蒸気ソース（ボ
ンベ）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 イオン源内部のアークチヤンバ内で蒸気より発
生させたイオンを引出し、不要イオンを分離して
目的イオンのみをウエハに注入する装置において
、 上記イオン源の外部に蒸気ソースを少なくとも
２基設け、各蒸気ソースと上記アークチヤンバと
をパイプで接続すると共に、該パイプの途中に弁
を設けたことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16157285U JPS6269364U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16157285U JPS6269364U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6269364U true JPS6269364U (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=31088006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16157285U Pending JPS6269364U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6269364U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540535A (ja) * | 2006-06-12 | 2009-11-19 | セムイクウィップ・インコーポレーテッド | イオン源および蒸発装置とともに用いられる蒸気運搬システム |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP16157285U patent/JPS6269364U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540535A (ja) * | 2006-06-12 | 2009-11-19 | セムイクウィップ・インコーポレーテッド | イオン源および蒸発装置とともに用いられる蒸気運搬システム |