JPH02138843U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02138843U JPH02138843U JP4813089U JP4813089U JPH02138843U JP H02138843 U JPH02138843 U JP H02138843U JP 4813089 U JP4813089 U JP 4813089U JP 4813089 U JP4813089 U JP 4813089U JP H02138843 U JPH02138843 U JP H02138843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oven
- introduction tube
- heating source
- source
- introduction
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図は従来例の断面図である。 １……アークチヤンバー、２……蒸発源、３…
…正電極系、４……フイラメント、５……導入管
加熱用の加熱源、６……オーブン加熱用の加熱源
、７……オーブン、８……導入管。
図は従来例の断面図である。 １……アークチヤンバー、２……蒸発源、３…
…正電極系、４……フイラメント、５……導入管
加熱用の加熱源、６……オーブン加熱用の加熱源
、７……オーブン、８……導入管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 蒸発物質を収納するオーブン、前記オーブンを
加熱する加熱源および前記オーブン内で発生する
蒸気をアークチヤンバーに導く導入管とを備えた
蒸発源を、前記アークチヤンバーの外部に有する
イオン源において、 前記導入管の内部に、前記導入管を加熱するた
めの加熱源を設置してなる、 イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4813089U JPH02138843U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4813089U JPH02138843U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138843U true JPH02138843U (ja) | 1990-11-20 |
Family
ID=31564669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4813089U Pending JPH02138843U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138843U (ja) |
-
1989
- 1989-04-24 JP JP4813089U patent/JPH02138843U/ja active Pending