JPS63282022A - ワ−ク搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば薄膜トランジスタ等の電子回路素子を
形成するための角形ガラス基板等のワークをローダ部か
ら所定の作業系を通してアンローダ部まで搬送するワー
ク搬送装置に関し、特にワ−り搬送経路の途中において
ワークの前後の向きを反転させて搬送するようにしたワ
ーク搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種のワーク搬送装置は、第５図に示すように
、ローダ部１のカートリッジ２からその内部に積層収納
された薄板矩形状のワーク３、例えば角形ガラス基板等
を順次取り出し、矢印Ａ方向に搬送してプリアライメン
ト機構４でワーク３を位置決めした後、図示省略の搬送
アームで矢印Ｂ方向に所定の作業系５、例えば露光装置
へ搬送し、この作業系５で所要の加工処理、例えば紫外
線を照射して電子回路のパターンが焼き付けられたワー
ク３をそのまま矢印Ｃ方向にアンローダ部６のカートリ
ッジ７まで搬送し、その内部に順次積層して収納するよ
うになっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このような従来のワーク搬送装置においては次
のような問題点があった。すなわち、第６函に示すよう
に、ローダ部１のカートリッジ２内には、ワーク３がそ
の基準辺８を一定方向に向けて積層収納されており、該
ワーク３はその向きのまま矢印Ａ、Ｂと搬送されて作業
系５へ進み、この作業系５で所要の加工処理が行われた
後も同じ向きで矢印Ｃ方向へ搬送され、そのままアンロ
ーダ部６のカートリッジ７内に順次収納される。

その後、第二工程へ進むときには、上記アンローダ部６
のカートリッジ７を破線矢印りのようにその向きを反転
させた状態で、第二工程のローダ部１′ヘセットする。

従って、第一工程のローダ部１のカートリッジ２内に積
層収納されたワーク３の基準辺８の向きと、第二工程の
ローダ部１′のカートリッジ２′内に積層収納されたワ
ーク３の基準辺８の向きとは、互いに入れ換わって反対
向きとなってしまうものであった。これでは、第二工程
以下でワーク３に対して順次所要の加工処理を施して、
電子回路素子を形成することはできな％Ｎ。

そこで、従来は、第一工程の加工処理が終了した後に第
二工程へ進める際に、アンローダ部６のカートリッジ７
内に積層収納されたワーク３をいちいち抜き出し、該ワ
ーク３の向きを反転させ、上記カートリッジ７に対する
ワーク３の基準辺８の相対位置関係がローダ部１のカー
トリッジ２内に収納されたワーク３と同一方向となるよ
うに入れ換えなければならなかった。従って、アンロー
ダ部６において、上記ワーク３を抜き出して向きを入れ
換える特別の作業が必要となるものであった。このこと
から、第一工程、第二工程等の各作業工程における処理
時間が長くなり、製品製造のスルーブツトが低下するも
のであった。また、上記ワーク３の入れ換え作業時に、
該ワーク３を汚染したり、あるいは損傷、破損すること
があり、製品としての電子回路素子の歩留まり及び信頼
性が低下することがあった。

そこで、本発明は、このような問題点を解決することが
できるワーク搬送装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記Φ問題点を解決する本発明の手段は、ローダ部のカ
ートリッジからその内部に積層収納された薄板矩形状の
ワークを順次取り出し、所定の作業系に搬送し、この作
業系で所要の加工処理が行われたワークをアンローダ部
のカートリッジまで搬送しその内部に順次積層して収納
するワーク搬送装置において、上記ローダ部とアンロー
ダ部との間にてワーク搬送経路の途中に、ワークの搬送
方向に対してワーク自体を１８０度回転させ該ワークの
前後の向きを入れ換える反転搬送部を設けたワーク搬送
装置によってなされる。

〔作　用〕

このように構成されたワーク搬送装置は、ワーク搬送経
路の途中に設けられた反転機構部により、ワークの搬送
方向に対してワーク自体を１８０度回転させ、そのワー
クの前後の向きを入れ換える。

これにより、アンローダ部のカートリッジに収納される
ワークは、その基準辺の相対位置関係が、ローダ部のカ
ートリッジに収納されたワークと同一方向とさ九る。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明によるワーク搬送装置を示す系統図であ
る。このワーク搬送装置は、例えば薄膜トランジスタ等
の電子回路素子を形成するための薄板矩形状のワークを
ローダ部から所定の作業系を通してアンローダ部まで搬
送するもので、ローダ部１と、プリアライメント機構４
と、作業系５と、アンローダ部６とを有している。

上記ローダ部１は、これから所要の加工処理をすべきワ
ークを供給するもので、−側方が開口したカートリッジ
２を有し、その内部には薄板矩形状のワーク３、例えば
角形ガラス基板が上下方向に所定のピッチで積層収納さ
れている。上記ローダ部１の次には、プリアライメント
機構４が設けられている。このプリアライメント機構４
は、上記ローダ部１のカートリッジ２から取り出された
ワーク３を一定方向にそろえて位置決めするもので、ワ
ーク３の基準辺を利用して位置決めするようになってい
る。上記プリアライメント機構４の次には、作業系５が
設けられている。この作業系５は、上記プリアライメン
ト機構４で位置決めされ、図示省略の搬送アームにより
搬送されたワーク３に対して所要の加工処理を行うもの
で、例えば角形ガラス基板からなるワーク３に紫外線等
を照射して所要の電子回路のパターンを焼き付ける露光
装置である。上記作業系５の後方には、アンローダ部６
が設けられている。このアンローダ部６は、上記作業系
５により所要の加工処理が行われた後のワーク３を収納
するもので、−側方が開口したカートリッジ７を有し、
その内部にワーク３が上下方向に所定のピッチで積層収
納されるようになっている。

ここで、本発明においては、上記ローダ部１とアンロー
ダ部６との間にてワーク搬送経路の途中、例えば作業系
５の次に反転搬送部９が設けられている。この反転搬送
部９は、ワーク３の搬送方向に対してワーク３自体を１
８０度回紙回転て該ワーク３の前後の向きを入れ換える
もので、その具体的な構造の一例は第２図及び第３図に
示すようになっている。すなわち、第２図において、矢
印Ｃのように作業系５から送られてくるワーク３を受は
取ると共に矢印りのようにアンローダ部６ヘワーク３を
送り出す搬送ベルト１０．１０と、この搬送ベルト１０
で搬送する途中で上記ワーク３の向きを１８０度回紙回
転る反転部１１とを有して成る。上記搬送ベルト１０．
１０は、第２図に示すように、適宜の間隔をあけて水平
方向に張設された二本の支軸１２ａ、１２ｂと一本の駆
動軸１２Ｃのそれぞれの両端部に回転可能に取り付けら
れたプーリ１３，１３．・・・に平行に掛は回されてい
る。そして、一端側の駆動軸１２ｃの近傍には、駆動モ
ータ１４が設けられており、この駆動モータ１４の回転
軸に取り付けられたプーリ１５と、上記駆動軸１２ｃの
端部に取り付けられたプーリ１３の外側に二重に取り付
けられた駆動プーリ１６との間に、第３図に示すように
タイミングベルト１７が掛は回され、上記駆動モータ１
４を回転駆動することによりプーリ１５とタイミングベ
ルト１７と駆動プーリ１６とを介して回転駆動力が伝達
され、上記搬送ベルト１０．１０が第３図において矢印
Ｅ、Ｆ方向に回転するようになっている。

上記反転部１１は、第２図に示すように、例えば中央の
支軸１２ｂと一端側の駆動軸１２ｃとの間にて上下方向
に設けられている。第３図において、ベース１８の上面
の中央部付近には駆動シリンダ１９が設けられている。

この駆動シリンダ１９は、後述のチャック２３を上昇ま
たは下降させるもので、上下方向に伸びるロッド２０を
矢印Ｇ方向に伸長させたり、矢印Ｈ方向に収縮させるよ
うになっている。上記ロッド２０の上端部には、継手２
１を介して上下軸２２が取り付けられ、この上下軸２２
の上端には円盤状のチャック２３が固定されている。こ
のチャック２３は、その上面にワーク３を真空吸着する
もので、該チャック２３の上面には皿状の凹所２４が形
成されると共に、上記上下軸２２の軸心部には上記凹所
２４と連通する吸引孔２５がその全長にわたって穿設さ
れている。そして、上記吸引孔２５の下端は、継手２１
の側面に設けられた吸引用の口金２６に連絡されており
、図示省略の真空ポンプ等によりホースを介して矢印Ｊ
方向に真空吸引するようになっている。また、上記上下
軸２２の中間部には、駆動ギア２７が固着されており、
この駆動ギア２７は、取付板２８の下面側に設けられた
駆動モータ２９の回転軸に取り付けられたギア３０と噛
み合っている。従って、上記駆動モータ２９を回転駆動
すると、上記ギア３０及び駆動ギア２７を介して回転駆
動力が伝達され、チャック２３が第２図において例えば
矢印に方向に回転する。さらに、上記上下軸２２の中間
部にて駆動ギア２７の上方には、位置検出円板３１が固
着されており、この位置検出円板３１の円周上の対向位
置には、第２図に示すように回転角度検出センサ３２ａ
、３２ｂが設けられている。上記位置検出円板３１は、
チャック２３が１８０度回紙回転かどうかを検出するた
めの位置信号を与えるもので、その円周上で１８０度離
九九対向位置にスリットが形成されている。そして、上
記回転角度検出センサ３２ａ、３２ｂは、例えば投光部
と受光部とを組み合わせた透過形の光センサからなり、
その投光部と受光部との間で上記位置検出円板３１が回
転し、スリットが位置して光が透過したのを検出するこ
とにより、上記チャック２３が１８０度回転したのを検
出するようになっている。

なお、第２図及び第３図において、符号３３は、矢印Ｃ
のように作業系５から送られてきたワーク３が上記搬送
ベルト１０．１０上にのせられたことを検出する例えば
反射形の光センサからなる位置検出センサであり、符号
３４は、搬送ベルト１ｏ、１０により送られてきたワー
ク３が反転部１１の真上に位置したことを検出する例え
ば反射形の光センサからなる位置検出センサである。ま
た、第３図において、符号３５．３６はベース１８上の
両側端部に立設された支柱である。

次に、このように構成されたワーク搬送装置の動作につ
いて、第４図を参照して説明する。まず、第４図におい
て、ローダ部１のカートリッジ２内には、ワーク３がそ
の基準辺８を一定方向に向けて積層収納されている。こ
の状態で、上記ワーク３はその向きのまま搬送ベルトや
搬送アーム等により矢印Ａ、Ｂのように搬送され、プリ
アライメント機構４を介して作業系５へ進む、この作業
系５では、所要の加工処理、例えばワーク３に紫外線等
を照射して所要の電子回路のバタ・−ンが焼き付けられ
る１次に、上記作業系５からは、上記のように加工処理
が施されたワーク３がその向きのまま搬送アーム等によ
り矢印Ｃのように送られ、反転搬送部９へのせられる。

このとき、上記ワーク３は、第２図に示すように、一方
の支軸１２ａがわにて搬送ベルト１０．１０の上面にの
せられる。このようにワーク３が位置すると、一方の位
置検出センサ３３が作業系５から送られてきたワーク３
が上記搬送ベルト１０．１０上にのせられたことを検出
する。すると、上記位置検出センサ３３から検出信号が
出力され、この検出信号の入力により第２図及び第３図
に示す駆動モータ１４が所定方向へ回転し、搬送ベルト
１０．１０が第３図において矢印Ｅ、Ｆ方向に回転する
。これにより、上記ワーク３が第２図において矢印Ｃ′
力方向搬送される。そして、該ワーク３が反転部１１の
上方まで来ると、他方の位置検出センサ３４がその一側
辺を検出して上記ワーク３が反転部１１の真上に位置し
たことを検出する。すると、上記位置検出センサ３４か
ら検出信号が出力され、この検出信号の入力により駆動
モータ１４が停止する。これにより、上記ワーク３が第
２図において反転部１１の真上に位置して停止する。

次に、上記駆動モータ１４の停止によりシーケンスを与
えられ、第３図に示す駆動シリンダ１９が作動し、その
ロッド２０が矢印Ｇ方向に伸長する。すると、上下軸２
２及びチャック２８の全体が矢印り方向へ上昇し、上記
チャック２３の上面がワーク３の下面に当接して押し上
げ、該ワーク３が搬送ベルト１０．ｔｏから持ち上げら
れる。

これと同時に、図示省略の真空ポンプ等が運転され、第
３図に示す口金２６を介して矢印Ｊ方向に真空吸引され
る。これにより、上記ワーク３がチャック２３によって
吸着保持される。この状態で、次に、第３図に示す他の
駆動モータ２９が所定方向へ回転し、上記チャック２３
が第２図において例えば矢印に方向に回転する。このと
き、上下軸２２に取り付けられた位置検出円板３１も一
緒に回転し、その円周上に形成されたスリットが回転角
度検出センサ３２ａ、３２ｂの位置に来ることにより、
１８０度回転したことが検出される。孟して、上記回転
角度検出センサ３２ａ、３２ｂから検出信号が出力され
、この検出信号の入力により上記駆動モータ２９が停止
する。これにより、上記ワーク３が第４図において矢印
に方向に１８０度回転され、該ワーク３の基準辺８が前
後の向きを入れ換えて反転される０次に、上記駆動シリ
ンダ１９が再び作動し、ロッド２０が今度は矢印Ｈ方向
に収縮する。すると、上下軸２２及びチャック２３の全
体が矢印Ｍ方向へ下降し、上記チャック２３の上面に吸
着保持されたワーク３の下面が搬送ベルト１０．１０に
当接する。このとき同時に、図示省略の真空ポンプ等の
運転が停止され、チャック２３によるワーク３の吸着が
解除される。従って、上記ワーク３は、基準辺８の前後
の向きが入れ換わった状態で上記搬送ベルト１０．１０
の上面にのせられる。

次に、上記チャック２３の下降によりシーケンスを与え
られ、第２図及び第３図に示す駆動モータ１４が再び所
定方向へ回転し、搬送ベルト１０゜１０が第３図におい
て矢印Ｅ、Ｆ方向に回転する。

これにより、上記ワーク３が第２図において矢印Ｄ′方
向へ搬送される。このようにして、上記ワーク３は反転
搬送部９から矢印りのように送り出される。そして、第
４図に示すように、該ワーク３はその基準辺８が前後の
向きを反転した状態でアンローダ部６のカートリッジ７
内に順次収納される。

これで第一工程が終了し、その後第二工程へ進むときに
は、上記アンローダ部６のカートリッジ７を第４図にお
いて破線矢印Ｎで示すように、その向きを反転させた状
態で第二工程のローダ部１′へセットする。従って、第
一工程のローダ部１のカートリッジ２内に積層収納され
たワーク３の基準辺８の向きと、第二工程のローダ部１
′のカートリッジ２′内に積層収納されたワーク３の基
準辺８の向きとは、全く同じ状態となる。これにより、
第二工程においても、第一工程と全く同じワーク３の向
きで所要の加工処理を施すことができる。

なお、上記反転搬送部９は、第２図及び第３図に示すも
のに限られず、ワーク３の搬送方向に対してワーク３自
体を１８０度回転させ該ワーク３の前後の向きを入れ換
えることができるものなら、どのような構造であっても
よい、また、第１図においては、反転搬送部９は、作業
系５とアンローダ部６との間に設けたものとして示した
が、本発明はこれに限らず、例えばローダ部１とプリア
ライメント機構４との間に設けてもよい、ただし、この
場合は、作業系５におけるワーク３の位置決め状態が反
転するので、該作業系５による加工処理の位置関係を修
正する必要がある。さらに、以上の説明においては、作
業系５は電子回路のパターンを焼き付ける露光装置とし
て述べたが、本発明はこれに限らず、例えば角形ガラス
基板の塗布装置あるいは表面検査装置であってもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以上のように構成されたので、反転搬送部９に
より、ローダ部１とアンローダ部６との間にてワーク３
の搬送方向に対しワーク３自体を１８０度回転させ、該
ワーク３の前後の向きを入れ換えて搬送することができ
る。従って、ローダ部１のカートリッジ２内に基準辺８
を一定方向へ向けて積層収納されたワーク３を、その基
準辺８が前後の向きを反転した状態でアンローダ部６の
カートリッジ７内に順次収納することができる。このこ
とから、第一工程のローダ部１のカートリッジ２内に積
層収納されたワーク３の基準辺８の向きと、第二工程の
ローダ部１′のカートリッジ２′内に積層収納されたワ
ーク３の基準辺８の向きとを全く同じ状態とすることが
できる。これにより、従来のようなアンローダ部６にお
いてワーク３をいちいち抜き出し、向きを入れ換える特
別の作業を不要とすることができる。従って、第一工程
、第二工程等の各作業工程における処理時間が短縮され
、製品製造のスルーブツトを向上することができる。ま
た、上記ワーク３を入れ換える特別の作業を要しないの
で、その作業によるワーク３の汚染や損傷、破損等を除
去することができ、製品としての電子回路素子の歩留ま
り及び信頼性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるワーク搬送装置を示す系統図、第
２図及び第３図は反転搬送部の具体的な構造の一例を示
す平面図及び正面図、第４図は本発明のワーク搬送装置
の動作を示す説明図、第５図は従来のワーク搬送装置を
示す系統図、第６図はその動作を示す説明図である。 １．１′・・・ローダ部、　　２，２′・・・ローダ部
のカートリッジ、　　３・・・ワーク、　４・・・プリ
アライメント機構、　５・・・作業系、　６・・・アン
ローダ部、７・・・アンローダ部のカートリッジ、　　
８・・・ワークの基準辺、　９・・・反転搬送部、　　
１０・・・搬送ベルト、　　１１・・・反転部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ローダ部のカートリッジからその内部に積層収納された
   薄板矩形状のワークを順次取り出し、所定の作業系に搬
   送し、この作業系で所要の加工処理が行われたワークを
   アンローダ部のカートリッジまで搬送しその内部に順次
   積層して収納するワーク搬送装置において、上記ローダ
   部とアンローダ部との間にてワーク搬送経路の途中に、
   ワークの搬送方向に対してワーク自体を１８０度回転さ
   せ該ワークの前後の向きを入れ換える反転搬送部を設け
   たことを特徴とするワーク搬送装置。